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年产40台设备，这个半导体湿法设备制造项目将落地合肥(2021-08-12)
年产40台设备，这个半导体湿法设备制造项目将落地合肥;8月10日，合肥经济技术开发区管理委员会网站发布关于对合肥至汇半导体应用技术有限公司半导体湿法设备制造项目（一期）环境......
盛美半导体湿法设备2000腔顺利交付！(2021-10-20)
盛美半导体湿法设备2000腔顺利交付！;“盛美半导体设备”官方公众号消息，10月18日盛美半导体湿法设备2000腔顺利交付！累计出货超过300台设备。
资料显示，盛美是国内集成电路湿法设备......
至纯科技拟募资不超过11亿元 用于半导体清洗设备扩产升级等(2021-08-25)
特殊工艺的制造应用，进一步加快国产替代的进程，巩固公司在国内的半导体湿法设备行业领先地位。
至纯北方半导体研发生产中心项目总投资3.31亿元，拟使用募集资金金额1.30亿元，建设地点为北京市。该项目拟在北京亦庄设立湿法设备......
电科装备45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线(2022-07-26)
化程度高，系统集成度高，覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程，实现了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni干燥等工艺。
官方资料显示，45所是国内最大的半导体湿法设备......
盛美上海湿法设备3000腔交付(2022-11-17)
盛美上海湿法设备3000腔交付;2022年11月16日，盛美上海宣布湿法设备3000腔交付，其半导体湿法设备2000腔于去年10月18日交付。
目前中国大陆能提供半导体清洗设备的企业，主要......
总投资5000万元 思恩半导体项目云签约落户江苏常熟(2022-04-08)
总投资5000万元 思恩半导体项目云签约落户江苏常熟;据常熟经开区发布消息，近日，思恩半导体湿法制程设备和微电子自动化设备项目云签约落户经开区。
消息显示，思恩半导体项目（思恩半导体科技（苏州......
签约、开工、加码、投运...国内一大批半导体项目迎最新进展！(2022-12-12)
RISC-V芯片架构总部等12个集成电路产业项目、至纯科技加码半导体湿法设备模块及零部件研发等项目、积塔碳化硅6英寸线等产业链重点项目。
总投资40亿，中欣晶圆12英寸......
至纯科技：联合中标2.76亿元长江存储公司国家存储器基地项目气体系统包(2022-08-05)
包含设计、安装和调试等服务。
公开资料显示，至纯科技成立于2000年，于2017年1月上市，公司的主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售，广泛应用于半导体......
已获批量订单，这家设备企业首批半导体全自动湿法设备成功交付(2021-07-26)
工艺环节相关。近年来为顺应产品发展路径，捷佳伟创开始向半导体设备领域延伸。
2019年，捷佳伟创全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司成立了半导体湿法工艺研究室，集合国际团队重点加强对集成电路湿法设备......
大基金二期加快投资半导体设备，投资这家公司(2021-10-19)
其他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。
△增资完成后至微科技股东信息（Source：至纯科技公告截图）
资料显示，至纯科技主要有三大业务板块：高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备......
国产替代正当时，半导体清洗设备龙头快速发展(2022-08-10)
81台，数量排名第一，中标较多厂商为北方华创、中微公司、拓荆科技、芯源微、盛美上海等。
受益于全球扩产大潮，全球半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期，我国......
盛美上海推出新型化合物半导体系列设备加强湿法工艺产品线(2022-01-27)
) 和碳化硅 (SiC) 等工艺。化合物半导体湿法工艺产品线包括涂胶设备、显影设备、光阻去胶设备、湿法蚀刻设备、清洗设备和金属电镀设备，并自动兼容平边或缺口晶圆。
盛美上海董事长王晖表示，随着......
Ema推出电容式接近传感器(2023-01-28)
Ema推出电容式接近传感器;
【导读】在许多半导体元器件的制造中，整个制程的环节紧紧相扣, 每一个步骤对于良率的生产起到一定的作用。伊小编本次专刊介绍半导体其中的清洗设备: 半导体湿法......
总投资10亿元，基侑电子半导体刻蚀设备生产项目正式签约(2023-06-21)
，是一家以生产半导体湿法蚀刻清洗相关设备的企业。
封面图片来源：拍信网......
至纯科技拟在上海投建半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目(2023-05-19)
—设备—材料”提供三位一体服务，对标国际顶尖企业打造中国品牌。
资料显示，至纯科技成立于2000年，主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备的研发、生产、销售及技术服务。其中，高纯......
普达特半导体首台设备在徐州出货(2022-06-08)
普达特半导体首台设备在徐州出货;据铜山发布消息，6月2日，普达特半导体首台设备出货仪式在徐州举行。
据悉，半导体及泛半导体湿法清洗设备研发生产项目位于徐州高新区电子信息产业园，是香......
半导体先进技术大会近800人齐聚苏州！共话泛半导体产业热需！(2023-05-30)
实现亚微米尺度的快速量检测，为行业已成熟的AI算法还鲜有成熟应用于先进封装量测，这是我们需要解答的问题。
△石维志总经理
“半导体湿法设备技术发展趋势及国产化进展”——中国......
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线(2021-07-09)
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线;7月8日，在北京亦庄创新发布会上，中电科电子装备集团有限公司发布了离子注入机、化学机械抛光设备、湿法设备等多项技术上的创新成果，为国......
至纯科技：晶圆再生项目正处于新客户陆续流片验证阶段(2022-05-10)
晶圆再生项目已正常量产供货。
至纯科技主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售;光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
封面图片来源：拍信网......
青岛市集成电路产业园两项目签约(2024-04-29)
青岛市集成电路产业园两项目签约;据青岛自贸片区消息，4月24日，合肥贝斯兰湿法设备总部研发生产基地项目正式签约；26日，科新微电子芯片设计总部项目正式签约。
合肥贝斯兰湿法设备......
盛美上海：拟7.48亿元投建高端半导体设备拓展研发项目，上半年净利同比增长164%(2022-08-09)
收入进一步提升；公司继续产品多元化的发展策略，新产品的强劲增长使收入结构多样化并扩大了市场规模。盛美上海2022年1-6月半导体清洗设备、前道半导体电镀设备和先进封装湿法设备（包含后道电镀设备）的营......
盛美半导体即将登陆科创板(2021-09-01)
年，主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等，主要应用于晶圆制造、半导体封测、半导体硅片制造领域。主要客户包括海力士、中芯国际、华虹......
国内新增晶圆代工项目；大基金二期增资；纳微半导体成功上市(2021-10-24)
订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。
纳微半导体成功上市
美东时间10月20日，GaN功率半导体厂商Navitas......
大基金2021年下半年投资转变，有的放矢，逐渐进入全面投资阶段(2021-10-21)
领域
投资至微科技 推动半导体清洗设备再生产
10月18日晚间，至纯科技公告，控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者，大基金二期增资约1亿元。至纯科技方面表示，本次引入战投主要是以扩大湿法设备......
芯源微拟定增募资10亿元 用于半导体设备扩产升级(2021-06-15)
公司产业扩张需求等。
公告指出，公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻 蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集......
晶圆厂扩产潮拉动，半导体设备企业订单充足(2022-07-08)
增长37.33%。其中，半导体制程设备新增订单金额为8.06亿元。
在半导体制程设备业务方面，至纯科技提供前道工艺设备中的湿法设备，包含湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗设备。公司2015年开始布局湿法设备......
瞄准全固态电池，曼恩斯特干法复合制膜设备“亮剑”(2024-06-24)
可以实现电极膜片成型，以及电极膜片与集流体复合的一体化功能，而且还适用于固态电解质膜片的制备。
作为锂电池湿法涂布环节的龙头企业，曼恩斯特为何涉足干法设备领域?其400型干......
第一届半导体先进封测产业技术创新大会圆满落幕！国内封测龙头企业齐聚厦门~(2023-09-27)
、精密运动控制平台和控制系统以及激光化学领域深度交叉融合，为客户提供解决方案。
《半导体湿法设备发展趋势及晶圆Paticle的管控与解决方案》——中国电子科技集团公司第四十五研究所湿法设备......
第一届半导体先进封测产业技术创新大会圆满落幕！国内封测龙头企业齐聚厦门~(2023-09-27)
光学、软件、精密运动控制平台和控制系统以及激光化学领域深度交叉融合，为客户提供解决方案。
《半导体湿法设备发展趋势及晶圆Paticle的管控与解决方案》——中国电子科技集团公司第四十五研究所湿法设备......
异质结技术再突破！太阳井与客户签订GW级铜互连设备合同！(2024-01-12)
于研发、生产异质结电池（HJT）铜制程整套解决方案，使用多种泛半导体工艺技术为HJT电池产线客户提供全新低成本铜制程Turnkey方案。在TOPCon电池湿法设备领域，也已成功开发了量产型TOPcon清洗......
异质结技术再突破！太阳井与客户签订GW级铜互连设备合同！(2024-01-11)
于研发、生产异质结电池（HJT）铜制程整套解决方案，使用多种泛半导体工艺技术为HJT电池产线客户提供全新低成本铜制程Turnkey方案。在TOPCon电池湿法设备领域，也已成功开发了量产型TOPcon清洗......
盛美上海ECP设备系列第500个电镀腔出机，交付客户(2022-08-24)
生产线，均得到了客户的高度评价。截止至2021年12月，盛美电镀设备销售额占全球集成电路电镀市场4%。
盛美上海称，作为清洗设备供应商，公司多维度布局半导体设备领域，在半导体清洗设备、前道半导体电镀设备和先进封装湿法设备......
大基金二期投资图鉴，虎年大步快跑起来(2022-03-07)
%。至微半导体此举主要是扩大湿法设备生产，成为国内湿法设备的主要供应商之一。
至微半导体是至纯科技的控股子公司，于2017年10月26日成立，主营业务为半导体湿法清洗设备的研发、生产......
北京经开区：要确立在全国集成电路全产业链的领导地位(2021-07-09)
强化集成电路制造和装备环节优势，确立北京经开区在全国集成电路全产业链发展的领导地位。
据了解，发布会上中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）发布了在离子注入机、化学机械抛光设备(CMP)、湿法设备......
盛美上海新型热原子层沉积立式炉设备将于本月底交付中国的逻辑客户(2022-09-28)
寻找愿意合作的供应商共同开发。ALD是先进节点制造中增长最快的应用之一，是本公司立式炉管系列设备的关键性新性能。得益于对整个半导体制造工艺的深刻理解和创新能力，我们能够迅速开发全新的湿法和干法设备，以满足新兴市场的需求。全新......
长江存储等企业重要供应商，达诺尔30万吨超纯电子化学品项目奠基(2021-07-19)
达诺尔科技有限公司是一家专业生产超高纯微电子化学品的中美合资企业，致力于半导体湿法工艺超高纯微电子化学品的研发、生产、销售，主要产品有PPT级超纯氨水、超纯异丙醇、超纯硫酸、超纯双氧水、超纯盐酸、超纯氢氟酸、超纯......
华海清科首台12英寸设备出机(2024-06-13)
品具有高精度、高刚性、工艺开发高灵活性等优点，可广泛应用于封装领域中的晶圆背面减薄、BG/DC倒膜等工艺。本次12英寸封装减薄贴膜一体机出机，将有助于进一步巩固和提升公司的核心竞争力。
资料显示，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备......
盛美上海：预计2023年全年营业收入36.5亿元-42.5亿元(2023-01-04)
上海在手订单合计22.62亿元；截至2022年9月30日，该公司在手订单总金额为46.44亿元，同比增长105.32%。
产品方面，盛美上海主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备......
2021安徽省重点项目投资计划清单公布，一大批集成电路项目上榜(2021-03-30)
工程，项目建成后将形成每年120万片晶圆再生的能力。
· 至纯半导体湿法设备制造项目：总投资1.8亿元，拟新建1栋厂房、1栋办公楼及相关附属设施,购置激光切割机、磨床、车床、电脑控制系统等设备，从事半导体......
华海清科：2023年预计净利最高7.74亿元，同比增长最高54.31%(2024-01-23)
%。
资料显示，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，公司主要产品包括CMP设备、减薄设备、供液系统、晶圆再生、关键耗材与维保服务。
华海清科指出，公司......
芯源微：前道涂胶显影机可与ASML等光刻机联机应用(2021-01-08)
升级在技术上有很大的跨度，主要体现在颗粒污染物的控制方面，例如烘烤精 度、多腔体的一致性及均匀性、不同光刻胶的涂胶显影工艺精 细化控制，以及设备整体颗粒污染物控制等。
据悉，当前，全球半导体设备......
江苏华天、中车时代、拓荆科技等一批半导体项目迎最新进展！(2024-05-14)
江苏华天、中车时代、拓荆科技等一批半导体项目迎最新进展！;近日，半导体行业封测、IC设计、设备等多领域传来进展，包括江苏华天集成电路晶圆级封测基地项目、中车时代项目、腾讯粤港澳大湾区算力中心、合肥贝斯兰湿法设备......
上海：推动骨干企业芯片设计能力进入3纳米及以下(2021-07-15)
封装等先进封装技术。
装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子......
盛美上海：ALD设备将于2023年验证完成 镀铜设备出货量大增(2022-12-06)
交付国际客户在中国的FAB厂，两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾，韩国，欧洲大客户。
盛美上海主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备......
华海清科：首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400发货(2023-10-04)
-F3400机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。
华海清科表示，该产品是公司继CMP设备、减薄设备之后，在湿法设备......
盛美半导体用于晶圆级封装的湿法去胶设备获IDM大厂重复订单(2021-11-08)
盛美半导体用于晶圆级封装的湿法去胶设备获IDM大厂重复订单;11月5日，盛美半导体宣布，一家全球领先的IDM芯片厂商向其签发了两份Ultra C pr湿法去胶设备订单。订购的产品将售给该IDM设在......
上海：2023年集成电路等三大先导产业规模达1.6万亿元(2024-01-25)
材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子......
5000万元设立全资孙公司 盛剑环境拟进军泛半导体材料领域(2021-07-13)
在上海市化学工业区设立全资孙公司上海盛科达电子材料有限公司（暂定名，以登记机关最终核准的名称为准），主要涉及泛半导体湿电子化学品制造相关领域的技术及生产工艺。
盛剑环境在公告中指出，目前泛半导体......
至纯科技：年底半导体设备产能将达150台(2022-10-11)
再生业务今年度将产生部分收入。
至纯科技为泛半导体产业客户提供高纯工艺系统和湿法工艺装备，公司主要生产湿法清洗设备，提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8-12 反应腔），均可以覆盖 8-12寸晶圆制造的湿法工艺设备......
4680、固态电池的理想工艺，干法电极产业化“加速”(2023-05-23)
大量的能量。此外，传统湿法工艺中，涂布干燥及溶剂回收环节，分别占设备、人工、厂房成本和能源成本的 22.76%和 53.99%。
区别于湿法工艺，干法工艺则不需要溶剂，直接......
相关企业
、半导体领域湿法制程设备： 微电子集成电路、半导体材料、半导体照明LED、有机发光二级管OLED、电力电子器件、分立器件、微机电系统MEMS 2、光伏太阳能领域湿法制程设备： 前道制程设备:全自
;深圳市山木电子设备有限公司设备部;;深圳市山木电子设备有限公司成立于1998年，在电子组装工业上SAM是增长最快的SMT周边设备，精密湿法清洗设备，半导体封装的生产商。SAM不断
所采用的材料全部系国际品牌厂商配套提供，使各产品质量可 靠，性能稳定，目前已畅销国内外，深得用户好评，特别在东北地区 浙江地区、江苏地区、上海地区等地客户云集。 ◆主营业务：半导体、LED／液晶/太阳能湿法清洗及配套设备。
玻璃基板清洗机，全自动台面腐蚀机，在线加热，自动装片机，半自动硅片腐蚀机，化学湿台，全自动晶片清洗机，全自动硅片清洗设备，石英管清洗设备，微电子半导体清洗设备-全自动硅片显影机，液晶湿法清洗设备，双仓
创新，服务顾客，追求卓越。 经营项目：半导体芯片、液晶基板及太阳能光伏硅片等清洗腐蚀设备及工艺调试。 产品类别：湿法清洗设备，电镀设备，塑料加工，贸易 半导体事业部：硅清洗腐蚀设备，立式/卧式石英管/石英钟罩清洗设备
;保定市宏兴电子设备厂;;我厂的主要产品： 干燥设备：各种型号UV光固机、晒版机、丝印机、网版烘箱、红外线烘道生产线。 湿法设备：蚀刻机、显影机、刷版机、滚涂机、双面水冷（风冷）曝光机。 配 件
;北京吉祥天地科技公司;;我公司与国内外著名厂商合作，专业经营各种找矿用磁电法设备。销售美国原装进口G-856AX质子磁力仪，捷克原装PMG-1质子磁力仪以及国产MCL-2磁力仪、CCM-4磁力
;北京地森海科技发展有限公司山东办;;磁力仪,瞬变电磁仪,矿石分析仪,合金分析仪,高密度电法仪，多功能电法设备
标，高要求，高品质为产品技术理念，力争打造成为中国本土半导体设备制造业航母。
;新昌县南明街道凯仕法设备厂;;浙江新昌凯仕法设备厂是一支具有高素质、高智能技术人才和职工的队伍。从事专业设计、制造电线，电缆设备的高科技企业。生产“凯仕法”牌KSF15-60光杆排线器，具有