至纯科技10月18日晚间公告，控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者，大基金二期、远致星火、混改基金、中芯聚源、上海装备材料基金等合计向至微科技增资4.2亿元。

值得注意的是，这是10月以来，大基金的首笔投资计划。

伴随疫情企稳、下游需求逐渐改善，全球晶圆厂纷纷扩产能，半导体设备材料厂商在今年迎来新一轮发展契机。国家集成电路产业投资基金二期（简称“大基金二期”）也加快了在半导体设备领域的投资。

大基金二期等纷纷入股，至微科技到底有什么魅力？

根据公告，本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元/注册资本，共计10家战略投资者拟合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。

本次增资的同时，至纯科技将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%的股权以23200万元转让给远致星火，其中4222.40万元计入至微科技注册资本，18977.60万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。

△增资完成后至微科技股东信息（Source：至纯科技公告截图）

资料显示，至纯科技主要有三大业务板块：高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光纤传感器及光电子元器件。其子公司至微科技成立于2017年10月，是承载至纯科技“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体，累计已获得湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

根据财报，2020年，至纯科技湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。至纯科技表示，公司28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等。

大基金二期投资规划稳步推行

今年以来，随着大基金一期的投资退出期已至，多家半导体龙头股均被大基金一期实施了减持。另一边，大基金二期仍在有序投资半导体设备、材料等核心环节。

截至目前，国家大基金二期公开投资的项目已超过10个，包括南大光电、佰维存储、格科微、中芯国际、中芯南方、睿力集成、紫光展锐、中微公司、思特威、长川科技、珠海艾派克微电子及华润微等企业，总投资金额达数百亿元。

从被投企业所属的细分领域来看，大基金二期投资覆盖设计、制造、封测、材料、设备等环节的同时，更侧重投入到更薄弱的设备和材料两大环节。

根据大基金的投资规划，2014~2019年为投资密集期，2020~2024年为回收期，2025~2029年为发展期。从大基金二期的动作来看，基本按照原定的时间规划进行。

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