8月22日,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“盛美上海”)的电化学电镀(ECP)设备系列第500个电镀腔出机,交付客户。目前,盛美上海的产品订单已经达到67台,销售总额超过12亿,截至今日已累计出机电镀腔500个腔体。
据介绍,ECP设备包括Ultra ECP map前道铜互连电镀设备、Ultra ECP ap电镀设备、Ultra ECP 3D电镀设备、Ultra ECP GIII电镀设备。盛美上海的电镀技术已通过了半导体大厂的生产线工艺评估,应用于55nm至28nm、TSV、高密度扇出封装、常规Pillar、RDL产品生产线,均得到了客户的高度评价。截止至2021年12月,盛美电镀设备销售额占全球集成电路电镀市场4%。
盛美上海称,作为清洗设备供应商,公司多维度布局半导体设备领域,在半导体清洗设备、前道半导体电镀设备和先进封装湿法设备(包含后道电镀设备)的营业收入均有较大增长。
封面图片来源:拍信网
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