资讯
盛美上海进军PECVD市场，首台PECVD设备将于几周内交付(2022-12-13)
盛美上海进军PECVD市场，首台PECVD设备将于几周内交付;12月12日，盛美上海宣布推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展......
半导体设备需求增长 拓荆科技净利1.08亿元，同比扭亏为盈(2022-08-29)
订单持续增长。
报告指出，拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，公司目前是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备和SACVD设备厂商，也是国内集成电路ALD设备......
产品应用于国内晶圆厂14nm及以上制程产线 拓荆科技叩响科创板大门！(2021-07-13)
，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个系列，已广......
虚拟传感器的创新助力提升生产力(2022-08-15)
理PECVD/ALD晶圆流特有的配方组、子配方和多次配方迭代。
图2. 泛林PECVD工艺设备与4x4（一次四片晶圆）腔室的不同视图
虚拟传感器的创新
目前，我们......
大基金持股26.48%，这家半导体设备厂商拟冲刺IPO(2021-02-20)
海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业，专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。
该公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维......
中微半导体投资两家半导体设备厂商(2020-12-29)
户上海临港新片区。
官网介绍称，理想万里晖主营太阳能、泛半导体和半导体高端PECVD装备，系列光伏和AMOLED显示等领域高端PECVD系列产品多次打破国外垄断、填补国内空白。理想万里晖表示将继续致力于前沿高端光伏设备......
1.8亿！四家国产半导体设备商成立合资公司(2024-01-04)
纳米均持股27.7624%，盛美上海持股16.6574%。
资料显示，拓荆科技主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子......
盛美上海：预计2023年全年营业收入36.5亿元-42.5亿元(2023-01-04)
已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾、韩国、欧洲大客户。
盛美上海推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展......
大基金持股26.48%，设备厂商拓荆科技科创板首发过会(2021-11-01)
，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已......
我国两条12英寸产线带来好消息！(2024-11-04)
主研发的高均匀性、大产能，并适用大翘曲硅片的12英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备交付客户。此次推出的Cygnus系列12英寸等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧......
上海电气恒羲光伏高效电池及组件项目搬入首批设备(2023-12-22 11:28)
目从正式动工到业内首创联合厂房封顶仅用时77天，从厂房封顶到首批设备进场仅30天，创下行业新记录。本次首批搬入的设备包括等离子增强型化学气相沉积（PECVD）主设备及其自动化装备，是异质结电池片生产核心设备......
盛美半导体设备研发与制造中心试生产(2024-08-19)
、制造、销售于一体，提供高端半导体设备，主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。
封面图片来源：拍信网......
盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH出机(2022-12-29)
货是盛美上海持续拓展产品系列的又一成果，公司致力于成为晶圆级的工艺解决方案平台，旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备，及PECVD设备。
此外，盛美......
年产50万支集成电路设备关键零部件项目开工(2024-03-28)
、CVD、PECVD、MOCVD、刻蚀机、离子注入机等提供专用焊接波纹管和高精密零部件，是国内半导体设备厂的重要供应商。同时产品广泛应用于加速器、太阳能光伏、制药设备、真空设备......
总投资超30亿元！绵阳炘皓新能源将建14GW N型高效电池项目(2024-01-22 10:23)
安装硼扩散、等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）、物理气相沉积设备（PVD）、板式原子层沉积设备（ALD）、烧结炉、光注入、碱抛机、碱制绒机、热水机、烘干炉、镀舟机、插片机、分选机、测试机、冷水......
拓荆科技拟投资2.5亿元建设高端半导体设备产业化基地建设项目(2024-03-04)
科技已形成 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD 等薄膜设备产品系列，广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。
拓荆科技表示，公司本次新建项目通过提升公司半导体薄膜沉积设备的产能，可以......
拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目封顶(2024-04-29)
，是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备企业。
封面图片来源：拍信网......
2家半导体企业同日登陆科创板，上市首日表现如何？(2022-04-20)
与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备3个产品系列。
据悉，拓荆......
天合“加速度”(2023-08-28 14:28)
可以追溯至更早。
据介绍，2015年，天合光能从荷兰购置第一台设备开始了TOPCon技术的研发。2018年，天合光能联合体获得500MW技术领跑者项目，率先开展N型产品在大型地面电站的应用研究。
陈奕......
天域半导体、锐石创芯等上榜，逾10家半导体公司开启上市辅导(2023-01-31)
证券股份有限公司
官方资料显示，中科仪专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术开发实验基地”、“国家......
盛美上海：Track设备预计明年年中完成与光刻机对接工艺测试(2023-12-22)
的放量，公司对明年的业绩持乐观态度；到25-26年度，公司PECVD设备、Track设备开始实现销售收入，预计随着这两款设备市场的不断开拓，将再次推动公司业绩高增长。更长期来看，公司......
多个芯片概念股涨停！涉及第三代半导体等领域(2022-02-23)
、PVD、清洗机等设备，氮化镓方面可以提供刻蚀、PECVD、清洗机等设备。
安集科技目前最新市值达130.94亿元，该公司主营业务为关键半导体材料的研发和产业化，目前......
光伏设备企业也要出海！金辰股份在美国设立子公司(2024-03-13 10:42)
TOPCON高效电池和HJT高效电池PECVD设备方面取得重大突破。现已拥有核心技术专利500余项,其中发明专利243项。
随着光伏组件企业出海设厂，国内光伏胶膜等辅材企业也开始出海建厂。此次金辰股份在美国设立组件设备......
北交所正式开市，连城数控市值255.18亿元(2021-11-16)
。
资料显示，连城数控成立于2007年，是全球知名的光伏与半导体设备制造商，专注光伏和半导体产品制造和解决方案，业务涵盖开方机、截断机、切片机系列，单晶炉系列，激光划片机系列，ALD、PECVD、扩散......
5家半导体企业科创板IPO迎来新进展！(2022-04-08)
公开发行后总股本为12,647.8797万股。招商证券为其保荐机构。
拓荆科技是国内半导体薄膜沉积设备领军企业之一，也是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD. SACVD设备厂商。公司主要从事高端半导体专用设备......
已获批量订单，这家设备企业首批半导体全自动湿法设备成功交付(2021-07-26)
类型，覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。
资料显示，捷佳伟创作为一家太阳能电池设备企业，而太阳能电池设备是半导体工艺的应用领域之一，清洗制绒、扩散、刻蚀、PECVD均与......
A股上市企业与武汉理工开发SiC晶圆外延设备(2024-06-14)
薄膜卷绕镀膜技术、光学镀膜技术及离子镀膜技术，包括非平衡磁控、中频磁控溅射、电弧蒸发源、离子源辅助镀膜、电子束蒸发、PECVD等多种核心技术组合，针对每个行业的特殊需求，将尖端设备......
2家，华为半导体领域投资版图添新军(2021-12-28)
，产品被广泛应用于电子、光电、光纤、光伏、化工等领域。
据官网介绍，上海先普的气体纯化产品可以为晶体生长、外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD、PECVD等众多半导体工艺设备......
半导体设备厂商“幸福的烦恼”：订单饱满但零部件交付延迟“拖后腿”(2022-06-01)
科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD设备厂商。
全球半导体短缺和芯片制造厂的持续投资，刺激半导体设备行业加快发展。国际半导体产业协会预计，2022年全球晶圆设备支出将再创新高至1070亿美元，同比增长18......
半导体设备高光时刻来临，景气度有望拉满第三年(2022-10-08)
科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD（等离子增强化学气相淀积）设备厂商，其PECVD设备产品已适配国内先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nm DRAM芯片及64/128层3D NAND FLASH晶圆制造产线。目前......
这一半导体设备项目，百亿产能即将释放！(2024-10-25)
这一半导体设备项目，百亿产能即将释放！;
近日，盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼在上海市临港新片区顺利举行。
官方资料显示，2020年7月7日，盛美临港项目正式开工。该项......
万业企业：2022年累计新增集成电路设备订单超6.80亿元(2022-04-11)
品为刻蚀机、CVD、PVD、PECVD等所需的流量控制领域精密零部件。它是全球少数可以完成集成电路领域零组件精密加工全部环节的公司之一，提供从零组件原材料到零组件组装一站式加工服务，多年来服务多家全球知名集成电路设备......
工业大盘点的风吹到了半导体设备(2024-02-06)
，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。
盛美上海：聚焦清洗，六大类业务版图加速发展
盛美上海主要有清洗、电镀、先进封装湿法、立式炉管、涂胶显影、PECVD六大类业务版图，其中清洗设备......
在爱旭、隆基的BC类电池生产线中，他的ALD占比保持领先(2024-01-03 09:29)
市场覆盖率。可为客户提供包括ALD、PECVD、PEALD、扩散等在内的全方位配套产品，以及高效电池工艺整线设备。同时，与下游厂商紧密合作，不断优化XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术，以确......
35亿元，斯达半导拟投建SiC芯片/功率半导体模块等项目(2021-03-03)
研发及产业化项目由斯达半导全资子公司嘉兴斯达微电子有限公司负责实施，总投资金额20亿元。
项目拟通过新建厂房及仓库等配套设施，购置光刻机、显影机、刻蚀机、PECVD、退火炉、电子显微镜等设备，实现......
专为中国光伏市场定制，普发真空正式发布S1800CN罗茨泵(2023-06-02)
简称 “SNEC展会” ）隆重发布其全新产品S1800CN多级干式罗茨泵。作为普发真空在中国光伏市场的一次重要布局，这款罗茨泵专为太阳能 PECVD、LPCVD应用而设计。相较......
专为中国光伏市场定制，普发真空正式发布S1800CN罗茨泵(2023-06-02 15:10)
发布其全新产品S1800CN多级干式罗茨泵。作为普发真空在中国光伏市场的一次重要布局，这款罗茨泵专为太阳能 PECVD、LPCVD应用而设计。相较于其他罗茨泵产品，S1800CN在优化氮气吹扫回路设计、优化......
盛美半导体：收到美国客户和研发中心的晶圆级封装设备订单(2024-09-05)
、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。
值得一提的是，此前8月16日，盛美上海于临港举行“盛美半导体设备研发与制造中心试生产仪式” 。该中心共有5个单体，包含两座研发楼、两座......
斯达半导揭晓募资35亿元定增结果！(2021-11-16)
半导公告截图
根据公告，高压特色工艺功率芯片研发及产业化项目，拟通过新建厂房及仓库等配套设施，购置光刻机、显影机、刻蚀机、PECVD、退火炉、电子显微镜等设备，用于......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;摘要：海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升
海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备......
抢滩N型市场，成本及性价比是关键(2022-11-06)
估算老产线改造的性价比更合适；
在设备选择上，TOPCon技术方案多样。主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是LPCVD+磷扩；PECVD工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；PVD法主要是中来在布局，PEALD......
华虹+盛美，双双传捷报(2024-12-11)
。
盛美上海成功布局了七大板块产品，分别是清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、涂胶显影设备、PECVD设备和面板级封装设备，可覆盖市场约200亿美元。盛美上海称，其清洗设备已经覆盖了95......
苹果加持这项新技术，市场预计暴增12 倍(2017-01-19)
表面黏着技术(SMT)设备、PVD、PECVD、ECD与压缩铸模设备市场，都将因FOWLP产能提升而收到最大利益。在材料市场方面，可靠且具成本效益的介电质与模压混合物，将扮演重要角色。此外，FOWLP免去......
国内10家半导体企业IPO最新跟踪(2024-01-29)
昌和沈阳拓荆科技有限公司正式签署了战略合作备忘录。恒运昌的部分射频电源产品成功通过了国内最大半导体 PECVD 薄膜装备公司沈阳拓荆科技有限公司的验证。2020 年第二季度实现批量供货，部分产品填补了国内空白。
继沈阳拓荆科技之后，国内多家知名的半导体设备......
半导体领域又一批新公司成立！(2024-12-27)
、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。近日，盛美上海发布公告称，其45亿元定向增发申请获得了上海证券交易所的受理。据悉，盛美......
6家半导体企业IPO新进展(2023-12-29)
等，镀膜设备主要包括 LPCVD 和PECVD 设备等，自动化设备为可以有效提升工艺设备生产效率的配套上下料设备；公司半导体分立器件设备主要包括氧化、退火、镀膜和钎焊炉设备等一系列产品。
在具......
多家品牌厂商齐聚一堂,为102届中国电子展打CALL(2023-10-09)
。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。盛美上海坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过......
半导体设备，烽烟四起(2024-11-29)
；立式炉管系列设备已批量进入多家客户生产线；涂胶显影Track设备已进入客户端正在验证中；等离子体增强化学气相沉积PECVD设备正在研发中，预计2024年该设备的工艺覆盖率大概达到50%左右......
面板行业专题报告之一：OLED的美好时代(2017-05-26)
商及材料商密切合作，将有利于抢占稀缺资源、降低成本、超越竞争对手。
OLED设备制造商而言，主要包括：有机蒸镀和封装等关键设备，以及溅镀台、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、真空......
相关企业
隔离装置环流器，水负载，水冷却单元波导接头及各种弯头、磁控管头手动调谐器，自动微波调谐器、微波泄露测量设备等规格齐全，并提供长期质保。 产品应用行业： 微波等离子体CVD设备 高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD
;北京丰通丰创光电科技有限责任公司;;北京丰通丰创光电科技有限责任公司--公司介绍 主营业务：代理仪器设备进出口（德国、美国、俄罗斯、韩国等）；提供光电仪器设备类技术服务、仪器开发；提供
;上海弘竣实业有限公司;;上海弘竣实业有限公司创建于2008年，是专业生产PECVD石墨舟，石墨产品(石墨零件),石墨电极加工,以及销售进口石墨的现代化新兴企业。公司产品主要有:太阳能用PECVD
用于太阳能光伏系统、PECVD、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有9年丰富的行业经验。2002年，成为全球最大的半导体设备制造商AMAT（美国应用材料公司APPLIED MATERIALS
;江阴市无线电专用设备有限公司;;江阴市无线电专用设备有限公司（原江阴市无线电专用设备厂）创建于1980年，服务于全国走向世界的生产无线电专用设备、仪器仪表、汽车、摩托车操纵线、软轴
;青岛育豪微电子设备有限公司;;青岛育豪微电子设备有限公司，是集科研、制造、销售、服务为一体的高新技术企业, 主要从事太阳能光伏设备，微电子工艺设备及高精度自动控制系统的设计、制造与服务。经青
，轴承，力学扭矩测量）、半导体化合物半导体 （镀膜- PVD, MBE, ALD, PLD,MOCVD，PECVD, 度量检测-- 原子力显微镜，三维光学形貌仪，三维接触式形貌仪，膜厚
;上海思潘达新能源科技有限公司;;上海思潘达新能源科技有限公司，是专业全面服务于太阳能光伏电池片设备备件的供应商，公司产品贯穿于光伏生产的整个流程，自成立以来，一直引进国外的先进产品及自主研发，在供
;北京杰能达电子设备有限公司;;北京杰能达电子设备有限公司是德国MUEGGE公司中国总代理，全权负责其产品在中国市场的推广与销售，热诚希望与国内用户及设备制造商建立长期的合作关系！MUEGGE长期
;上海科技公司;;监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备监控设备