为完善业务布局，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）正在加速产业投资，近日出手投资了两家半导体设备厂商。

12月28日，中微半导体发布公告，公司基于经营战略发展考虑，拟对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）进行增资。

公告显示，本次增资，上海睿励的投前估值为4.14亿元，公司拟以现金方式向上海睿励增资1亿元，认购上海睿励新增注册资本8333.33万元，认购单价为1.2元/股（注册资本）。本次增资完成后，上海睿励注册资本增加至4.28亿元，公司持有上海睿励股权比例为20.4467%。

公告介绍称，上海睿励成立于2005年6月，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备以及硅片厚度及翘曲测量设备等，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。

公告进一步指出，上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。其应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内LED PSS衬底和LED芯片生产线。

上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。

中微半导体在公告中表示，公司在集成电路刻蚀设备领域的研发和市场化方面已经取得了一定的成果，前期通过投资国内领先的薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司在集成电路薄膜设备领域进行了布局。本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。

此外，公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次投资，能进一步形成产业链协同效应。投资上海睿励是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤，系公司为完善业务布局而进行的投资。

此前，中微半导体曾以500万元的债权向上海睿励出资，认购上海睿励416.67万元新增注册资本，持股1.2091%。这次是中微半导体对上海睿励新增投资，交易完成后，中微半导体对上海睿励的持股比例为20.4467%。

除了上海睿励外，中微半导体近日还入股了另一家半导体设备厂商。

企查查资料显示，2020年12月24日，上海理想万里晖薄膜设备有限公司（以下简称“理想万里晖”）发生了股权变更，原股东之一理想能源设备（上海）有限公司退出，新增中微半导体、三峡绿色产业（山东）股权投资合伙企业（有限合伙）、上海毅达鑫业一号股权投资基金合伙企业（有限合伙）等股东，其注册资本从8455.33万元增至1.46亿元。

资料显示，理想万里晖前身是理想能源PECVD事业部，2012年经过拆分重组，于2013年完成注册。2020年，理想万里晖完成A+轮融资，并落户上海临港新片区。

官网介绍称，理想万里晖主营太阳能、泛半导体和半导体高端PECVD装备，系列光伏和AMOLED显示等领域高端PECVD系列产品多次打破国外垄断、填补国内空白。理想万里晖表示将继续致力于前沿高端光伏设备的研发，并将在现有基础上延伸产业链，开发大面积石墨烯和集成电路半导体领域用PECVD设备。

根据企查查资料，中微半导体本次认缴出资额为约563.689万元，持有理想万里晖3.8499%股权。

封面图片来源：拍信网