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进行多次曝光。 至于DUV是否能进行7nm以下更先进的制程？据台积电前研发副总林本坚（Burn Lin）表示，依靠ASML的DUV光刻机，是可以继续将制程工艺从7nm再推向5nm，但要......
在本次官方禁令范围内。该机器可支持中芯国际、华虹等国内半导体来生产 28nm 以上的成熟工艺。 据悉，该光刻机是 ASML 现有效率比较低的光刻机，支持 NA 1.35 光学器件、分辨率可以达到 <38......
2025间在其上面进行研发，并有望在2025到2026年间进行大规模量产。据悉，High-NA光刻机可以在关键层上做更小的CD。 据悉，High-NA光刻机可以在关键层上做更小的CD，但是......
为Hyper-NA EUV有望在这个十年结束后成为现实，即客户将在2024到2025间在其上面进行研发，并有望在2025到2026年间进行大规模量产。据悉，High-NA光刻机可以......
入式 DUV，这些设备最高可支持 5nm 工艺，台积电就使用 SAQP 和氩氟浸没 (ArFi) 光刻实现了 7 nm 量产。 ASML 在售的浸没式光刻机主要有三大型号：TWINSCAN NXT:2050i......
位于荷兰费尔德霍芬的ASML在周一发布的一份声明中表示，荷兰政府最近部分撤销了其NXT：2050i和NXT：2100i光刻系统在2023年装运的许可证。 周二，ASML股价下跌2.6%。 ASML销售光刻机，这是......
、NXT:2050i 及 NXT:2100i 等浸入式 DUV，这些设备最高可支持 5nm 工艺，台积电就使用 SAQP 和氩氟浸没 (ArFi) 光刻实现了 7 nm 量产。 ASML......
部分高端DUV出口许可被提前吊销！ASML：少数中国客户受影响; 当地时间2024年1月1日，光刻机大厂发布声明称，荷兰政府最近已经部分吊销了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i......
电和三星均采用了ASML的EUV光刻机，台积电将于2017年第一季度采用ASML的光刻机，部分用于7nm芯片制造，部分用于2020年以后的5nm芯片制造；三星则计划在2017年第二季度采用ASML的......
ASML两款光刻机出口许可被撤销;1月2日，全球龙头在官网发布声明称，荷兰政府最近撤销了此前颁发给其2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i的部分出口许可证，这将......
ASML声明：2050、2100光刻机出口许可证被部分撤销;1月2日消息，日前，荷兰光刻机巨头ASML在其官网发布声明，称部分光刻机出口许可证被撤销。 根据声明，荷兰政府最近部分撤销了2023年......
NA EUV —— EXE:5000的部分组件。High NA EUV设备被誉为“下一代EUV光刻机”，其数值孔径（NA）为0.55，可用于制造5nm及以下（2nm/1nm）芯片产品，预估......
的另一个原因是，DUV光刻机对美国技术依赖较低。DUV光刻机使用的是深紫外光源，而全球能够提供深紫外光源技术的供应商有三家，分别是美国Cymer、日本Gigaphoton和中国的科益虹源。 也就是说，DUV光刻机可以......
ASML产品路线图曝光，EUV光刻机出货已超200台; 【导读】资深半导体行业分析师Scotten Jones日前综合SEMICON West等渠道信息，综述了ASML高端......
一直在与日本光罩等半导体零组件制造商大日本印刷株式会社(DNP)和存储器芯片制造商铠侠(Kioxia)合作研发纳米压印工艺。该技术可以不使用EUV光刻机，就能使制程技术推进到5nm。 佳能表示，这套......
lithography)技术的芯片生产设备 FPA-1200NZ2C。佳能表示，该设备采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造5nm芯片。 在制程技术进入5nm节点之后，EUV光刻机......
将于明年年底推出初始版本，量产型号将于2024年底或2025年初推出。 相比DUV浸没式光刻机采用193nm波长的深紫外光，EUV光刻系统中使用的极紫外光波长仅为13.5nm。EUV单次曝光就可以替代DUV的多......
ASML声明：2050、2100光刻机出口许可证被部分撤销;1月2日消息，日前，荷兰巨头在其官网发布声明，称部分出口许可证被撤销。本文引用地址：根据声明，荷兰政府最近部分撤销了2023年NXT......
出口管制名单新增了 TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 及 NXT:2100i 等深紫外光（DUV）浸入式光刻设备。这一系列设备最高可支持 5 nm 工艺，如台积电就使用 SAQP 和氩......
也宣布推出了无需光刻机的芯片制造工艺，意味着通过技术变革是可以在当前以光刻机作为主要芯片制造设备的工艺有更多途径，尤为可喜的是Zyvex的工艺可以做到比以ASML的第二代EUV光刻机......
这并不是经济上可实现的极限，台积电N5工艺使用的28nm最小金属间距可以在没有EUV的情况下制造。使用ArFi光刻的SAQP理论上也可以实现。如果目标是阻止中国实现5nm制程技术，那么ArFi的出货就必须被阻止，ASML和......
可能会禁运的是浸没式193nm光刻机，目前全球仅有ASML和尼康两家公司生产。 而浸没式光刻机可以被用于16nm至7nm先进制程芯片的制造，也被业界广泛应用在45nm及以下的成熟制程当中。因此，如果一旦浸没式光刻机......
EUV光刻机缺货问题要持续3年，瓶颈居然是...;细致到可以深究成熟工艺的光掩模（photomask）短缺问题——据说也是近期才发现的，尤其是28nm及以上工艺的产能开始受到掩模短缺问题的影响。不过......
价格或将超过3亿美元，这也使得尖端制程所需的成本越来越高。 相比之下，的目前纳米压印技术将可以使得芯片制造商不依赖于EUV光刻机就能生产最小5nm制程节点的逻辑半导体。 佳能......
获重大突破，这次官方证实我国研发EUV光源系统具有重要意义。可以推测，长春光机所的EUV系统已达可用级别，不是半成品，打破市场预测。本文引用地址：       ASML首席执行官温克宁不满地表示：“中国制造光刻机......
美国芯片管控引ASML吐槽：倒逼中国厂商造出更先进光刻机;快科技6月7日消息，近日，公司CEO公开表示，美国严厉的芯片管控规定，只会倒逼中国厂商进步更快。本文引用地址： CEO表示，多年来，公司......
纳米及更先进制程，必须借助光刻设备转印半导体电路图案。追逐先进制程的芯片制造厂商中，台积电和三星均已引入光刻机。目前，台积电和三星已进入5nm工艺的量产阶段，台积电代工的产品包括苹果A14、M1、华为......
特尔PowerVia与晶体管开发分开的方案更为复杂，在面积缩放层面更为有效。 此前ASML首次财务官Roger Dassen在接受采访时表示，High-NA EUV光刻机可以......
两年是芯片缺产能，然而今年下半年开始市场需求不足，芯片产能又大增，台积电现在要发愁的是5nm产能利用率。来自供应链的消息称，由于5nm芯片的利用率下降，台积电不得不考虑关闭部分EUV光刻机，该公......
又一台天价光刻机，即将出货！; 据韩媒最新报道，三星电子正准备在2025年初引入其首款High NA EUV（极紫外）光刻机设备，这或......
ASML今年发货第一台高NA EUV光刻机：成本逼近30亿元;EUV光刻技术的推进相当困难，光刻机龙头ASML也是举步维艰，一点点改进。ASML宣布，将在今年底发货第一台支持高NA(数值孔径)的......
/5nm工艺，台积电的第二代7nm工艺和5nm工艺的量产均高度依赖于0.55数值孔径的EUV光刻机来进行生产。 目前英特尔、台积电、三星等头部的晶圆制造厂商正大力投资更先进的3nm、2nm技术，以满......
规模量产得等到刚刚宣布的Intel 14A节点上，时间预计2025-2026年左右 。 该光刻机可以实现8nm的分辨率，而现有低NA光刻机单次曝光只能做到13nm，同时晶体管密度几乎可以增加3倍。 大家......
全球只有5家客户 ASML今年将出货60台EUV光刻机; 随着工艺进入到5nm节点以内，对EUV的需求也不断增长，目前全球只有ASML一家公司能够生产EUV光刻机，今年......
亿个/mm2，与5nm相比，功耗下降25%～30%，功能提升了10%～15%。 2纳米作为下一代节点，性能势必有更进一步的提升，功耗也将进一步下降。市场的需求是可以预期的。这或......
ASML堵了EUV光刻机的路，但国产光刻机有3大新方向;众所周知，当前全球只有一家能够生产，甚至可以说很长一段时间内，全球也只有能够生产，不会有第二家。本文引用地址：原因在于把的路堵住了，这条......
ASML高端DUV光刻机可以出口：还能支持7nm;对于ASML光刻机接下来怎么出口的问题，现在官方终于给出了答案。 ASML在最新的声明中指出，这些新的出口管制措施侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻......
系统FPA-1200NZ2C，佳能表示这款设备可以实现最小线宽为14纳米的电路图案，相当于当前生产先进逻辑半导体用到的5纳米节点。 另据佳能透露，经由改良、期待未来NIL光刻机可......
晶圆代工厂商疯抢光刻机设备！;尽管半导体产业仍处调整周期中，但部分应用市场需求强劲，正吸引半导体厂商积极扩产，而在芯片制造过程中，制造设备不可或缺。近期，为满足市场需要，全球光刻机大厂ASML又有......
有可能提高至220片。此外，新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。 即便用于4/5nm芯片的生产，Twinscan NXE:3800E也能提升效率，让制造商可以提高芯片生产的经济性，实现......
ASML加大中国市场开拓：7nm高端DUV光刻机可出口; 4月18日消息，据台系设备厂商透露，近期由于客户大砍资本支出、缩减订单，最重要是大客户台积电也大砍逾4成EUV设备......
ASML高端DUV光刻机可以出口：支持7nm; ASML在最新的声明中指出，这些新的出口管制措施侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统。 ASML强调，新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻......
内存生产设备，将产能提升到每月7万片晶圆。 在这些设备中，最重要的就是EUV光刻机了，三星从14nm级别的内存芯片开始引入EUV光刻机，EUV光刻机可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以......
国脖子的设备有很多，但光刻机是国产化率一直成长最慢的一个。 对芯片来说，5nm以后就必须使用EUV光刻机。这是因为，当金属间距缩小到30nm以下（对应工艺节点超越5nm），光刻机的分辨率就不够用了。 从公式“光刻机......
ASML柏林厂大火恐将影响EUV光刻机供应...;市调机构TrendForce在最新调查中指出，占地32,000平方公尺的柏林厂区中，约200平方公尺厂区受火灾影响。而柏林厂区主要制造光刻机......
EUV将成主流，哪些公司将受伤？; 来源：内容来自 华盛证券，作者华盛九叔 ，谢谢。 据相关机构统计，整个2016年，ASML销售了139台光刻机。在半导体设备行业的市场份额在58......
开消息显示，英特尔目前已获得ASML的先进光刻机，极紫外 (EUV) 光刻机。 据悉4月上旬，英特尔在位于爱尔兰Leixlip的Fab 34工厂，完成了首台极紫外（EUV）光刻机的安装，Fab 34......
EUV没有直接联系的工序数也会增加。 国内设备厂芯源微日前表示，公司前道涂胶显影机与国际光刻机联机的技术问题已经攻克并通过验证，可以与包括ASML、佳能等国际品牌，以及上海微电子（SMEE）的光刻机......
ASML加快拓展中国业务：支持7nm高端DUV光刻机可出口; 4月28日消息，对于中国市场而言，正在全力以赴，预计2023年在中国的销售额将保持在22亿欧元左右(约合人民币超162亿元)，其正......
用单次曝光 EUV 步骤代替。可以帮助芯片制造商继续向7nm及以下更先进制程工艺推进的同时，进一步提升效率和降低曝光成本。 目前，EUV光刻机可以支持芯片制造商将芯片制程推进到3nm制程左右，但是......

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