DUV光刻机遭进一步限制,中国仍有破局之路

发布时间:2023-01-30  

【导读】针对近期荷兰、日本加入对华半导体设备出口管制的动向,知名行业分析师Dylan Patel认为,三方所达成的合作意向依然非常初步,本质上仍是口头协议,其中存在不少漏洞。


DUV光刻机遭进一步限制,中国仍有破局之路


针对近期荷兰、日本加入对华半导体设备出口管制的动向,知名行业分析师Dylan Patel认为,三方所达成的合作意向依然非常初步,本质上仍是口头协议,其中存在不少漏洞。


Patel指出,如果目标是阻止中国获得14nm、7nm或5nm工艺技术,那么禁令必须达到能够处理这些节点功能的不同级别的工具。例如台积电的16nm和12nm工艺技术,最小金属间距为64nm,台积电的7nm工艺技术最小金属间距为40nm。台积电的5nm工艺技术最小金属间距为28nm,出口禁令应基于这些参数制定适用标准。


Patel还认为,通过SAQP等工艺和浸没式DUV光刻机,中芯国际已经实现了7nm工艺技术,而且这并不是经济上可实现的极限,台积电N5工艺使用的28nm最小金属间距可以在没有EUV的情况下制造。使用ArFi光刻的SAQP理论上也可以实现。如果目标是阻止中国实现5nm制程技术,那么ArFi的出货就必须被阻止,ASML和Nikon可以制造该类机台。


如果目标是阻止中国实现7nm工艺技术的大批量生产,那么就必须阻止所有能够实现最小金属间距40nm的光刻工具,这就必须涉及到限制干式ArF光刻机。


如果目标是阻止中国扩大其14纳米工艺技术大规模量产,那么必须阻止所有可以实现节点上最小金属间距64纳米的工具,理论上,连KrF光刻机业需要纳入限制,SAQP搭配KrF 光刻机,尽管经济效益已经不是最优的,但足以应对紧急的国内需求,根据Patel推算,不考虑经济成本,仅凭现有的DUV工具,中芯国际理论上就可以实现每月超过100000片晶圆的7nm代工产能。这高于三星和英特尔先进节点(<=7nm)代工产能的总和。如果华虹、华力、长江存储、长鑫存储等本土企业的所有存量DUV设备都被中芯国际调用,那么他们所能建设的7nm产能将甚至远超台积电。


此外,Patel还认为光刻胶和光刻机关键零部件目前并无出口限制,这也是一个重大的漏洞,如果目标是遏制中国在前沿节点上的能力,也必须阻止这些工具的流通,关键供应商很容易被上海微电子等本土光刻机厂商所触及。


免责声明:本文为转载文章,转载此文目的在于传递更多信息,版权归原作者所有。本文所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题,请联系小编进行处理。


推荐阅读:

文章来源于:电子元件技术    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>