9月1日早上,荷兰光刻机巨头ASML在一份声明中称,该公司已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请,荷兰政府也已经颁发了截至9月1日所需的许可证,允许ASML今年继续发运相关光刻系统。
“在新的出口管制条例下,今年年底前ASML仍然能够履行与客户签订的合同,发运这些光刻设备。我们的客户也已知悉出口管制条例所带来的限制,即自2024年1月1日起,ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。” 该声明中称。
换句话来说,在新的出口管制条例下,今年年底前,ASML仍然能够履行与客户签订的合同,发运这些光刻设备。由此ASML预计出口管制条例不会对其2023年财务展望或长期展望产生实质性影响。至于2024年,不确定性犹存。
据了解,2019年底后,荷兰ASML就不能向中国大陆芯片制造商出售最先进的EUV光刻机。据悉,中国大陆是ASML第三大市场,仅次于中国台湾和韩国,约占其2021年销售额的16%,即21亿欧元。不过,ASML可以继续向大陆客户销售DUV光刻机。
直到2023年,荷兰政府在6月30日于官方公告中宣布,将要求该国生产先进芯片制造设备的公司在出口一些先进的DUV光刻机时需要申请许可证,措施将于9月1日正式生效。
荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔当天宣称,“我们采取这一措施是为了(保护)国家安全”,相关半导体设备可能“被用于军事用途”。他还补充说,只有“非常有限”数量的公司和产品型号将受到影响。
当时有媒体分析认为,虽然公告中没有直接提及中国和荷兰光刻机生产企业ASML,但相关出口限制是迫于美国政府的压力。多家荷兰媒体称,正是美国去年10月以所谓“国家安全”为由,在对华半导体出口领域实施新的出口限制,并游说其他拥有关键供应商的国家也采取类似限制措施。在美国压力下,荷兰此前已经禁止ASML向中国出口所有最先进的EUV光刻机,接着DUV又成为目标。
对此,中国驻荷兰大使馆发言人表示,这是对出口管制措施的滥用,是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离,中方对此坚决反对。
这些年,中国每年都会进口光刻机。在此背景下,荷兰的新措施肯定将对中国的芯片产业发展造成影响,但不至于很严重。首先,中国生产的大量芯片属于成熟制程,不一定需要特别先进的光刻机;其次,即使需要生产先进制程芯片,中国也还有一些先进型号DUV可以使用;最后,最近几年,中国企业在光刻机领域下了大功夫,相信很快会投入生产。