下一代EUV光刻机什么样?ASML来解答

发布时间:2023-02-17  

近日,ASML发布了2022年第四季度及全年财报,并且披露了未来的技术发展路线,其中ASML在下一代EUV光刻机——High NA EUV光刻机方面的进展值得关注。

ASML财报显示,2022年第四季度,ASML实现净销售额64亿欧元(当前约471.68亿元人民币),毛利率为51.5%,净利润达18亿欧元(当前约132.66亿元人民币);季度净预订量为63亿欧元(当前约464.31亿元人民币),其中34亿欧元(当前约250.58亿元人民币)为EUV。

从2022年整年看,ASML实现净销售额212亿欧元(当前约1562.44亿元人民币),毛利率为50.5%,净利润达56亿欧元(当前约412.72亿元人民币)。

据悉,2022年ASML实现了不少重要进展,例如在DUV方面,他们交付了NXT KrF 系统的首台设备TWINSCAN NXT:870和第一台TWINSCAN NXT:2100i。目前,ASML还在继续研究开发下一代EUV光刻机——High NA EUV光刻机。

按照ASML所说,在历经六年的研发后,他们在2022年收到了供应商提供的第一个高数值孔径机械投影光学器件和照明器(illuminator)以及新的晶圆载物台(wafer stage)。这些模块将用于EXE:5000的初始测试和集成,是其中的一个重要的步骤。

ASML表示,2022年公司收到了所有现有EUV客户的采购订单,要求交付业界首个TWINSCAN EXE:5200系统——具有High-NA和每小时220片晶圆生产率的EUV大批量生产系统。

关于未来的EUV光刻机发展路径,ASML首席技术官Martin van den Brink在财报中透露,他认为Hyper-NA EUV有望在这个十年结束后成为现实,即客户将在2024到2025间在其上面进行研发,并有望在2025到2026年间进行大规模量产。据悉,High-NA光刻机可以在关键层上做更小的CD。

据悉,High-NA光刻机可以在关键层上做更小的CD,但是现在在开发商也面临着巨大的挑战。“开发High-NA技术的最大挑战是为EUV光学器件构建计量工具。High-NA反射镜的尺寸是前一代产品的两倍,并且需要在20皮米内保持平坦。要实现这些目的,需要在一个大到‘你可以在其中容纳半个公司’的真空容器中进行验证。”Martin van den Brink说。

封面图片来源:拍信网

文章来源于:全球半导体观察    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>