技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服最新数据显示，ASML在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。业内预估ASML今年（2021年）的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
7纳米及更先进制程，必须借助光刻设备转印半导体电路图案。追逐先进制程的芯片制造厂商中，台积电和三星均已引入光刻机。目前，台积电和三星已进入5nm工艺的量产阶段，台积电代工的产品包括苹果A14、M1、华为麒麟9000等，后者则包括Exynos 1080、骁龙888等。
据日经中文网报道，在半导体制造领域将电路转印到基板的设备市场上，尼康、佳能和荷兰ASML这三家企业形成垄断，但支持EUV技术的设备目前只有ASML成功实现商用化。
ASML表示，迭代到5nm后，EUV的层数达到了10~14层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm，对EUV的依赖将更甚。
另外，ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm，单台价格或高于老款的1.2亿欧元（约合9.5亿元人民币）。
封面图片来源：ASML
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
ASML加快拓展中国业务：支持7nm高端DUV光刻机可出口(2023-04-28)
ASML加快拓展中国业务：支持7nm高端DUV光刻机可出口;
4月28日消息，对于中国市场而言，正在全力以赴，预计2023年在中国的销售额将保持在22亿欧元左右(约合人民币超162亿元)，其正在加快拓展在中国......
ASML加大中国市场开拓：7nm高端DUV光刻机可出口(2023-04-18)
ASML加大中国市场开拓：7nm高端DUV光刻机可出口;
4月18日消息，据台系设备厂商透露，近期由于客户大砍资本支出、缩减订单，最重要是大客户台积电也大砍逾4成EUV设备......
ASML持续布局中国，又一台光刻机进入中国工厂(2022-12-29)
，ASML用第一台步进式光刻机迈入中国市场，如今该公司在中国的总装机量已超过1000台。目前全球各地的晶圆制造厂都要依赖ASML的中高端光刻机。
数据显示，2021年，ASML在中国......
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清(2023-09-20)
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清;近期，一则“7纳米光刻机实现国产化”消息在业界刷屏，消息指出清华大学EUV项目实现了光刻机国产化，并表示该项目已在雄安新区落地。
对此，9月18日中国......
俄罗斯要建 10 台超级计算机，还要自研光刻机?(2023-10-11)
RAS)已经开始进军光刻领域，其应用物理研究所正在开发俄罗斯第一台用于生产超小纳米微电子器件的光刻装置，并且已经创建了可在基板获 7nm
单个图像的设备演示样品。
当时......
3倍，光刻机巨头扩产(2022-03-30)
的十年时间里，阿斯麦总共售出大约140套EUV光刻机，现在每一套系统的成本高达2亿美元。
晶圆代工厂商频繁下单
2017年，ASML的第一台量产的EUV光刻机正式推出。此后三星的7nm......
ASML高端DUV光刻机可以出口：还能支持7nm(2023-03-10)
ASML高端DUV光刻机可以出口：还能支持7nm;对于ASML光刻机接下来怎么出口的问题，现在官方终于给出了答案。
ASML在最新的声明中指出，这些新的出口管制措施侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻......
7nm高端DUV光刻机仍可出口！ASML：全力给中国客户交付(2023-09-01)
7nm高端DUV光刻机仍可出口！ASML：全力给中国客户交付;9月1日消息，ASML方面已经表示，将在年底前向中国客户交付部分先进芯片制造装备。
据美国媒体报道称，ASML已经......
ASML官网显示支持7nm高端DUV光刻机仍可出口(2023-07-03)
并不在限制范围内。
ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍，其中在分辨率方面，写到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而这是指一次曝光的分辨率，事实上光刻机......
ASML高端DUV光刻机可以出口：支持7nm(2023-03-10)
在分辨率方面，写到是大于等于38nm，而这是指一次曝光的分辨率，事实上光刻机是可以进行多次曝光的。
理论上NXT:1980Di依然可以达到7nm，只是步骤更为复杂，成本更高，良率可能也会有损失，晶圆厂用这一台......