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研发客服近日，Intel发布了一条特殊的开箱视频，堪称史上最贵：他们从ASML拿到的全球第一台高NA EUV光刻机，已经开始在美国俄勒冈州希尔斯伯勒附近的工厂内安装了。
这台型号为Twinscan EXE:5000的光刻机着实是个庞然大物，运输过程中动用了250个货箱，总重约150吨，先用飞机从荷兰运到俄勒冈州波特兰，再用卡车分批次拉到工厂。
目前安装的还只是核心组件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程师，耗时约6个月，然后还得花时间调试。
这台光刻机主要作为研究之用，将会在Intel 18A节点上进行测试，但大规模量产得等到刚刚宣布的Intel 14A节点上，时间预计2025-2026年左右 。
该光刻机可以实现8nm的分辨率，而现有低NA光刻机单次曝光只能做到13nm，同时晶体管密度几乎可以增加3倍。
大家非常关心的价格上，ASML的说法是大约3.8亿美元，但这只是起步价，更高配置自然更贵，Intel CEO帕特·基辛格透露在4亿美元左右，也就是逼近29亿元。
相比之下，低NA EUV光刻机约为1.83亿美元。
除了Intel，三星、台积电、SK海力士也都订购了高NA EUV光刻机，首批订单有数十台。
文章来源于:电子工程世界 原文链接
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