限制 DUV,ASML 出口新规或将于近日实施!

2023-06-26  

业内消息,荷兰政府的半导体新规预计最快会在下周开始实施,届时 的 DUV 光刻机将被限制出口。

2023 年 3 月,荷兰政府声称对半导体技术出口实施新的限制以保护国家安全,加入美国遏制先进芯片对华出口的行列,荷兰贸易部长 Liesje·Schreinemacher 表示该措施将于 7 月前实施。

21ic 当时对此进行了报道,该措施实施后会在已经限制深紫外光(EUV)光刻机的基础上,再限制了深紫外光(DUV)光刻机对华出口。

具体来说,出口管制名单新增了 TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 及 NXT:2100i 等浸入式 DUV,这些设备最高可支持 5nm 工艺,台积电就使用 SAQP 和氩氟浸没 (ArFi) 光刻实现了 7 nm 量产。

ASML 之前回应声称,管制措施实施的话只有申请到政府许可证之后,才能对特定国家或地区出口其光刻设备,但预计不会影响其今年的营收。

知情人士透露,该出口管制措施为其他欧盟成员国后续跟进打了一个样,荷兰将会在 6 月 30 日或 7 月的第一周公布并实施,届时官方可能并不会提及中国或者 ASML。

美国从去年开始,在半导体领域实施了一系列对华出口管制措施,然而并未达到其预期效果。随后美国开始游说拉拢荷兰日本等几个重度参与半导体产业的国家来加强其措施。

上个月,日本正式出台半导体出口管制措施,包含半导体生产过程中的光刻、刻蚀、热处理、清洗、检测等 6 大类 23 种半导体制造设备/材料。

同样,清单中受管制物品在向中国大陆和俄罗斯等地区出口时,需要获得日本经济产业省的许可证。

至此,日本和荷兰在同意加入美国的限制队列后,分别做出了实质性行动。

本周,ASML 执行副总裁兼首席商务官福凯 Christophe·Fouquet 在接受采访时表示,全球半导体供应链当中,任何单一国家想要与别人分开是极其困难和需要巨大成本的。

Fouquet 认为 成功的秘诀就是与全球关键供应商维持长期合作,全部自己做的想法是极具挑战的,日本光刻机制造商佳能和尼康就是前车之鉴。

3 月荷兰宣布该信息的时候,外交部发言人毛宁表示:近年来美国为剥夺中国发展权利、维护自身霸权,泛化国家安全概念,将经贸科技问题政治化、工具化,胁迫诱拉一些国家对华采取出口限制措施。

毛宁认为,霸凌霸道行径严重破坏市场规则和国际经贸秩序,不仅损害中国企业合法权益,也严重冲击全球产业链供应链稳定和世界经济发展,中方对此坚决反对。

最后,毛宁表示希望荷方秉持客观公正立场和市场原则,尊重契约精神,不滥用出口管制措施,维护国际产业链供应链稳定和自由开放的国际贸易秩序,维护中荷两国和双方企业共同利益。

限制 DUV,ASML 出口新规或将于近日实施!

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