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中科院：上海光机所计算光刻技术研究取得进展;近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask......
国产光刻机获重大突破，ASML如何应对？;      中国科学院院士、中国科学院党组书记白春礼于4月13日访问长春光机所，调研EUV光源等技术，高度肯定光电关键核心技术攻关成果。国产光刻机......
东方克洛托光电中标中国科学院上海光机所招标项目并交付设备; 近日，苏州东方克洛托光电技术有限公司(以下简称“东方克洛托光电”)凭借其出色的产品性能和优质的服务，成功中标中国科学院上海光机所......
三个系列。 拓荆科技聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。据悉，拓荆科技产品已广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储等国内主流晶圆厂产线。 拓荆科技募集资金逾10亿元，用于......
能这种公司的业务线相对庞杂，而且很多产品都还很知名，比如说相机、摄影镜头、打印机这些消费电子产品。实际上，和芯片与显示面板制造相关的光刻机、FPD曝光机、OLED蒸镀机等一众光学设备产品，这次......
博会将集结来自长春理工大学、中国科学院上海光机所、西安光机所、上海硅酸盐研究所、中国科学院长春光机所、上海技术物理研究所等重点科研院所及高校的专家与学者，他们将为慕尼黑上海光......
仅代表部分展商）。 除了头部企业，本届慕尼黑上海光博会将集结来自长春理工大学、中国科学院上海光机所、上海硅酸盐研究所、中国科学院长春光机所、上海......
COMSOL主题日活动内容丰富，展示了COMSOL 多物理场仿真技术如何助力光学产品创新、优化设计，并加深对产品的理解。来自长春光机所、上海光机所，和华中科技大学的专家和学者，发表了精彩的主题演讲。主题......
富加镓业、北京铭镓半导体、深圳进化半导体等。此外，除中电科46所，上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京大学等各大科研高校也在从事相关研究。近期，我国......
购了ASML的EUV光刻机，这也使得这两家代工厂也受美国的管制。 当前，我国的科研机构和企业正针对光刻机积极研发和投入，代表企业/机构有上海微电装备、中电科45/48所、成都光机所等。其中，上海......
了国内技术空白。 除了中电科46所外，国内研究氧化镓的机构和高校还包括西安电子科技大学、上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京大学、山东大学等。 国内氧化镓初创企业崭露头角 众所周知，第三......
技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》（以下简称“《目录》”）。 该《目录》列表中提到和氟化氪光刻机氟化氩(ArF)光刻机。其中氟化氪光刻机光源248纳米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm......
测试厂商伟测半导体等亦于近日进入了上市辅导阶段。 英诺赛科批量采购ASML光刻机  近日，国内半导体企业与ASML的合作接连传来好消息。 2021年1月21日，英诺赛科和ASML达成批量购买高产能i-line和......
国电子院官微进行了澄清。该项目不是国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目（HEPS），而且项目位于北京怀柔雁栖湖畔。 HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机。它产......
日本尼康宣布全新ArF浸没式光刻机：精度小于2.1纳米; 12月10日消息，宣布，将于2024年1月正式推出ArF 193纳米浸没式“NSR-S636E”，生产效率、套刻......
且，Mark Phillips还公布了一些资料，说明了相对于标准EUV光刻机所带来的改进，透过High NA EUV光刻机应用出来的改善结果可能要比之前想像中还要多。 Mark Phillips强调......
容大感光：已购买i线投影步进式曝光机，用于i线光刻胶的研发与生产检测;4月11日，容大感光在投资者互动平台表示，公司的光刻胶产品主要包括PCB用光刻胶、显示用光刻胶、半导体用光刻胶，其中半导体用光刻......
过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。 图片来源：华特气体公告截图 据介绍，日本GIGAPHOTON株式会社创立于2000年，是半导体光刻用准分子激光机、其他用途准分子激光机以及极紫外光刻......
院校和高新技术企业的光电创新产品及技术，是科研院所、高等院校和高新技术企业资源对接和成果转化的综合型平台。中科院长春光机所、中科院西安光机所、中科院上海光机所、中科院安徽光机所、中国科学院光电技术研究所、武汉光电工业技术研究院、季华......
国产刻蚀设备凭什么后发赶超？（附厂商盘点）;刻蚀设备的一些基本知识 1.基本原理 前道的晶圆加工包括十余道工艺，有氧化、扩散、退火、离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀、化学机械平坦化（CMP）等。其中最关键的三类主设备是光刻机......
有望实现量产，引得外媒直呼“围堵计划已落空”。 而在此之前，美方要求对华断供，从而拖慢“国产芯”的发展进程。然而他们万万没想到，荷兰光刻机巨头阿斯曼“擅作主张”，偷偷对华提供6台光刻机。这究......
的5nm制程的先进半导体制造设备市场，则由ASML的EUV光刻机所垄断，单台价格约1.5亿美元。 对于接下来更为先进的及以下制程的芯片，ASML也推出了成本更为高昂的High-NA EUV光刻机，单台......
能是因为美国向荷兰政府施压。 中国的上海微电装备、中电科45/48所、成都光机所等企业/机构正围绕光刻机而积极研发。现在国内已经成功量产的光刻机只能最高生产90nm的芯片，中科院曾公开表示，中国的光刻机......
、更节能芯片的需求增长，光学仪器成为关键支撑。EULITHA、瑞荧仪器、托托科技、蔚海光学、鉴知等公司将展示先进的光刻机、显微镜等光学仪器，突显其在光芯片制造与测试中的重要作用。这一......
利扬芯片子公司与叠铖光电签署战略合作协议;8月9日，利扬芯片发布公告称，全资子公司上海光瞳芯微电子有限公司（以下简称“光瞳芯”）与上海叠铖光电科技有限公司（以下简称“叠铖光电”）签署......
。 首先是中国的国产替代逐渐成长，ASML担心自己的市场被抢。在后道光刻机产品中，上海微电子的光刻机产品，在国内的市场占有率达到了80%，全球也拥有接近40%的市场。 中国芯片制造企业以现有的DUV......
上海新阳再购得一台二手光刻机！;近期，上海新阳的光刻机设备采购进展显著。数天前，上海新阳公告披露，其采购的ASML-1400光刻机设备顺利交付并已进入合作方场地；如今，公告......
氧化镓研发进展捷报频传 目前，我国从事氧化镓相关业务的企业包括北京镓族科技、杭州富加镓业、北京铭镓半导体、深圳进化半导体等。此外，除中电科46所，上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京......
氧化镓研发进展捷报频传 目前，我国从事氧化镓相关业务的企业包括北京镓族科技、杭州富加镓业、北京铭镓半导体、深圳进化半导体等。此外，除中电科46所，上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京......
全球光刻机市场竞争加剧，ASML财报引发关注...; 近日，ASML发布最新三季度财报后，股价创26年来最大跌幅引起市场极大关注。在此期间，尼康和佳能陆续发布的光刻机......
上海新阳：ASML干法光刻机设备顺利交付;3月8日，上海新阳发布公告披露其购买光刻机设备进展情况。 公告显示，公司自立项开发193nmArF干法光刻胶的研发及产业化项目以来，安排购买了ASML......
上海新阳半导体：公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付;3月8日晚间，上海新阳半导体发布公告，称其购买的了ASML-1400光刻机设备已顺利交付。 上海新阳半导体材料股份有限公司(以下简称“公司......
也宣布推出了无需光刻机的芯片制造工艺，意味着通过技术变革是可以在当前以光刻机作为主要芯片制造设备的工艺有更多途径，尤为可喜的是Zyvex的工艺可以做到比以ASML的第二代EUV光刻机所......
的最新款EUV曝光机，以用于研发工作。Rapidus应该可以利用与imec的合作关系，获得ASML的最新一代光刻机的相关技术，并填补上述差距。 但是，另一个问题是Rapidus能否获得光刻机......
国产光刻机巨头，更新上市进展？;近日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE，简称 “上海微电子”）IPO动态消息震动产业界，概念股乘势而起，那么实际情况究竟如何？ 并未......
重点项目。 据了解，目前我国从事氧化镓材料和器件研究单位，主要是中电科46所、西安电子科技大学、山东大学、上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京大学等高校及科研院所；企业方面有铭镓半导体、深圳......
院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。 据悉，2015年10月，陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合发起成立了陕西光电子先导院。陕西......
来生产，更需要高端的光刻胶作为辅助材料，以及大量的芯片原材料，才能成功生产出华为手机所需要的芯片。 光刻机被美国和荷兰的公司垄断，现在EUV光刻机对中国处于断供状态，中芯国际花了12亿购买的EUV光刻机......
中科院长春光机所高性能光芯片项目签约无锡惠山高新区;据惠山高新区发布消息，11月21日，中科院长春光机所高性能光芯片项目签约仪式在惠山高新区（洛社镇）举行，院士团队“牵手”高新区（洛社镇），将针......
国产光刻机最大的希望！上海微电子上市最新进展; 据中信建投披露，上海微电子装备(集团)股份有限公司计划在国内首次公开募股(IPO)并上市，中信建投是其辅导机构。 根据官方信息，上海......
，现在传来一则好消息，ASML针对自由出货不愿意再妥协了——近日，由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目，举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。 这意味着，首台......
上海微电子推出新一代先进封装光刻机，首台将于年内交付;据上海微电子装备集团消息，9月18日，上微举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。 图片来源：上海......
西安光机所及孵化企业“海地空”光学科研成果联合亮相光博会; 9月11日，中国科学院西安光学精密机械研究所（简称“西安光机所”）携陕西光电子先导院科技有限公司、广东......
是芯片制造过程中最复杂、最昂贵、最关键的环节。而计算光刻是连接芯片设计和制造的关键技术,在90nm及以下芯片制造中,不可或缺。 计算光刻并非新鲜事物,已经存在了30年之久。芯片沿着摩尔定律不断微缩,光刻机所......
胶研发的ASML XT 1900 Gi型光刻机，现已全部到厂。 目前，其自主研发的KrF光刻胶产品已通过客户认证，并成功取得订单，光刻胶项目取得重大突破。 同日，上海新阳发布公告称，公司与上海......
芯碁微电子装备有限公司相关负责人介绍说，即将投产的激光直写光刻机、双台面激光曝光机，均为进口替代产品。 其中，该公司的MLL及LDW系列光刻设备是国内目前唯一可以替代进口的半导体光刻设备，已有38所、771所、中科......
了一个优势领域，值得检讨。 目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家：阿斯麦（ASML），尼康（Nikon），佳能（Canon）。根据2007年的统计数据，在中高阶光刻机市场，阿斯麦公司占据大约60%的市......
也希望通过展会能更多听取客户需求，为客户提供反馈。” 宁波海天激光机械制造有限公司总经理高世权说：“我们是第一次参加慕尼黑上海光博会，从现场情况可以看出，这是一个欣欣向荣的行业，我们很荣幸能够加入这个行业。作为......
巨头ASML也不例外，因为这次被加入实体清单的还有我国光刻机厂商上海微电子，自然国产光刻机研发也会受到影响。 ASML目前在光刻机领域优势很大，独家垄断了EUV光刻机，占据......
上游最为核心设备分别为光学镜头、光学光源和双工件台。 上海微电子装备股份有限公司曾披露，将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机。但是，到现在也没人见过这台国产光刻机，主要原因可能就是上海......

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长春光机所光电探测室
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长春光机所光电技术研发中心
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北京泰惠科仪电子有限公司
中心、电子所、声学所、电工所、电子工业部、十一所、十二所、十三所、航天部704所、702所、十八所、二零六所、二十三所、十七所、总参部六十三所、上海光机所、上海无线电二十一厂、济南军区空研所、西安光机所、西安
上海锦源光学镀膜有限公司
光光源、工业和医疗激光光学设备、激光美容、空间光学、光学测试、光谱分析、光纤通讯等，并和多所大学及研究机构有着广泛的业务联系，比如清华大学，浙江大学，哈工大，山东大学，国防科大，上海光机所，上海激光所、上海
上海海光机电工程有限公司
;上海海光机电工程有限公司;;上海海光机电工程有限公司仪器部位于中国上海杨浦，上海海光机电工程有限公司仪器部是一家硬度计、各种量具、拉力机、光学仪器、镶嵌机、抛光机、消防
北京市泰惠科仪电子技术服务有限公司
与中科院高能物理研究所、空间中心、电子所、声学所、电工所、电子工业部、十一所、十二所、十三所、航天部704所、702所、十八所、二零六所、二十三所、十七所、总参部六十三所、上海光机所、上海无线电二十一厂、济南军区空研所、西安光机所
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