容大感光:已购买i线投影步进式曝光机,用于i线光刻胶的研发与生产检测

2023-04-12  

4月11日,容大感光在投资者互动平台表示,公司的光刻胶产品主要包括PCB用光刻胶、显示用光刻胶、半导体用光刻胶,其中半导体用光刻胶目前主要量产的产品为g线、i线正性/负性光刻胶,可用于LED芯片、分立器件、集成电路芯片等,目前芯片主要客户以6寸及以下的Fab为主,正在积极开拓8寸及12寸客户。随着公司对光刻胶的持续投入,将会逐步进入更高端光刻胶领域。

容大感光指出,目前公司已经购买i线投影步进式曝光机(i-line stepper),用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入,已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台,其中主要测试设备包括光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

容大感光称,公司生产感光干膜光刻胶使用的树脂主要是丙烯酸类感光树脂,目前基本上是外购。待正在建设的珠海工厂投产后,丙烯酸类感光树脂大部分将会自己生产。

之前,容大感光透露,截止目前,公司显示用光刻胶、半导体光刻胶及配套化学品产能为1050吨,生产基地在广东省惠州市大亚湾石化区;其下游客户主要有莱宝高科、三安光电、TCL华星等。

封面图片来源:拍信网

文章来源于:全球半导体观察    原文链接
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