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国产刻蚀设备凭什么后发赶超？（附厂商盘点）(2020-08-18)
材料划分，可以分为硅刻蚀、介质刻蚀以及金属刻蚀（表2）。由于下游的需求场景较多，介质刻蚀机与硅刻蚀机的市场占比较高，成为市场主流。
2.刻蚀与光刻的区别
有些对工艺不熟悉的业者，很容易将刻蚀机与光刻机......
用于量子芯片的光刻机、刻蚀机，EDA，我们都研发成功了(2023-01-09)
用于量子芯片的光刻机、刻蚀机，EDA，我们都研发成功了;众所周知，目前的硅基芯片已经快要发展到极限了，台积电、三星目前已经实现了3nm的量产，而科学家们预测硅基芯片的物理极限是1nm。本文......
2023年最新国产半导体设备厂商名录(2023-02-21)
体设备国产化现状
半导体设备分类及全球市场格局
根据SIA数据统计，全球半导体设备大致可以分为11大类，50多种机型。前道设备用于晶圆制造过程，覆盖从光片到晶圆的成百上千道工序，主要有光刻机、刻蚀机、薄膜......
总投资10亿元 思普尔科技项目落户扬州高新区(2021-03-24)
设备的生产制造，预计2021年10月建成并投入使用。项目二期将启动注入光刻机、金属溅射平台、深槽刻蚀等设备的研发制造，预计2023年12月底前实施到位。三期......
2022国产芯片原厂图鉴(2022-12-13)
、检测和离子注入。我们用占比成本投资30%比例的光刻工艺去权衡整个半导体，其实是一叶障目的说法。一般情况下光刻占整条产线设备投资的30%，与刻蚀机（25%）、PVD/CVD/ALD（25%）并列成为最重要......
扩产受阻！传长江存储大砍设备采购订单：北方华创遭砍单70%！(2023-02-15)
场份额。
通过对长江存储历史招标信息进行统计，截止 2021 年 6 月 30 日，共招标光刻机 44 台、刻蚀机 379 台、薄膜沉积 675 台、CMP124 台、涂胶......
上海高端装备7000亿产业规划出台，集成电路定了重点(2021-12-21)
大生产线需求，初步建成较完备的集成电路核心装备自主供给体系。
一是集成电路装备，瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节，推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子......
中国半导体设备产业正经历“四大挑战”(2016-10-18)
现了中国政府直面挑战的决心和大国魄力。
巨头垄断，设备推广面临挑战：相对于中国产光刻机的步履维艰，中国产氧化炉、刻蚀机与薄膜沉积设备已初现活力，中国产设备正逐渐打入中芯国际、华力微电子、三安光电、武汉......
中国光刻设备将打破国外垄断？(2016-11-03)
芯碁微电子装备有限公司相关负责人介绍说，即将投产的激光直写光刻机、双台面激光曝光机，均为进口替代产品。
其中，该公司的MLL及LDW系列光刻设备是国内目前唯一可以替代进口的半导体光刻设备，已有38所、771所、中科......
北方华创、拓荆科技、芯源微中标上海积塔项目， 国内半导体设备市场持续升温(2022-05-12)
备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二......
已购置300台套进口光刻机等设备，安徽30亿半导体项目投产(2022-01-13)
华瑞微电子半导体IDM芯片首期项目已购置300台套进口光刻机、离子注入机、等离子刻蚀机等设备，该公司近日已进入试产阶段，主要生产6英寸晶圆。
据悉，华瑞微半导体IDM芯片一期项目的建成投产，创造......
全球缺芯，传ASML扩产？(2021-04-23)
制程所需要的设备种类及数量也明显不同，典型设备包括氧化炉、PVD、CVD、光刻机、刻蚀机、离子注入设备、抛光、检测设备等。目前半导体设备厂商主要分布在日本和欧美国家，以应用材料、ASML、东京电子、LAM、KLA等为......
半导体设备高光时刻来临，景气度有望拉满第三年(2022-10-08)
厂商景气度连涨两年
按照工艺流程划分，半导体设备可分为晶圆制造（前道设备）和封装、测试设备（后道设备）。
前道晶圆制造设备占据了市场80％以上的份额，设备类型主要包括薄膜沉积、光刻机、刻蚀机......
半导体不景气？不慌，先拿下那台设备(2022-07-11)
需扩产，扩产要设备，设备也缺芯
毫无疑问，当前设备生产的最大掣肘是缺芯。据悉，常见的半导体制造设备如刻蚀机、等离子注入机、CMP等需要搭载少量芯片维持作业。从体量看，设备......
ASML正计划搬离荷兰？向外扩张转移业务成为最优解(2024-03-14)
胶会发生性质变化，从而将掩膜版上的图案精确的复制到硅片上。最后一步就是“显影”，也就是在硅晶圆上喷洒显影液，把多余的光刻胶洗掉，再用刻蚀机把没有光刻胶覆盖的刻蚀掉。
总的来说，光刻的就是利用光线将电路图案“印刷......
昕感科技6-8吋功率半导体厂房项目封顶(2024-01-31)
生产无尘室面积达1万平，包括主FAB厂房（分二期建设完成），以及CUB动力站、甲/乙类库、供氢站等配套设施。届时将引进I-line光刻机、刻蚀机台、UV贴膜机、氧化炉、高温注入机等各类生产设备，将全......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
设备领域的竞争优势，延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域。
图片来源：中微公司2020年度业绩说明会视频截图
至于业界关注的光刻机研发计划，尹志尧则表示，公司......
斯达半导揭晓募资35亿元定增结果！(2021-11-16)
半导公告截图
根据公告，高压特色工艺功率芯片研发及产业化项目，拟通过新建厂房及仓库等配套设施，购置光刻机、显影机、刻蚀机、PECVD、退火炉、电子显微镜等设备，用于......
集成电路产业规模达2500亿，上海：14nm先进工艺实现规模量产(2022-09-15)
联动”，先进工艺产能、核心芯片能级、关键设备和基础材料配套支撑能力不断提升，14纳米先进工艺规模实现量产，90纳米光刻机、5纳米刻蚀机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等实现突破。
吴金......
首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶，计划2024年6月投产(2024-01-19)
涵盖先进半导体、先进显示和新能源等高端工业领域。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大核心设备。
封面图片来源：拍信网......
总投资10亿元 商德半导体陶瓷材料项目签约(2022-01-06)
精密陶瓷零部件应用于高端划片机、固晶机、光刻机、刻蚀机、引线键合机等，主要客户包括美国Kulicke&Soffa、美国UIC、香港ASM、上海微电子等，世界前4的引线键合设备厂商中有3个为......
75亿，年产48万片SiC！芯粤能碳化硅项目通过审查(2023-01-17)
调度厂房、研发厂房、综合动力站、综合仓库、硅烷站、化学品库、废水处理站、危险品库、大宗气站等，主要设备包括光刻机、涂胶显影机、刻蚀机、烘箱、高温氧化炉管、高温激活炉管、清洗机、冷水机组、纯水制备系统、燃气......
厦门海沧第一季度7个项目集中开工，涉及士兰微等重大产业项目(2022-01-05)
高压集成电路和功率器件芯片生产线，拟装修净化车间，添置国际先进的光刻机、刻蚀机、扩散炉等设备，配套建设动力及辅助设备设施等。项目建成达产后将新增2万片/月的12英寸高压集成电路和功率器件芯片生产能力，并进一步提升生产线技术水平，预计......
中国半导体该如何崛起？材料/设备/软件国产化才是重点！(2020-06-19)
抛光、清洗、检测、外延等；第二个阶段是芯片制造、封测，即从整块晶圆到单颗芯片的过程。
这两个阶段涉及多种设备，如单晶炉、氧化炉、PVD/CVD、光刻机、涂胶显影机、检测设备、清洗设备、干法刻蚀机、湿制......
国产新突破，北方华创ICP刻蚀机1000腔顺利交付(2020-12-14)
半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。
其中，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代的同时，在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要......
科普 | 芯片制造的6个关键步骤(2022-08-08)
打磨得极为光滑，然后再根据结构需求将导体、绝缘体或半导体材料薄膜沉积到晶圆上，以便能在上面印制第一层。这一重要步骤通常被称为 "沉积"。
随着芯片变得越来越小，在晶圆上印制图案变得更加复杂。沉积、刻蚀和光刻......
莫大康：重启专项加速国产化进程(2021-06-02)
是中国半导体业发展的特色之一，所以重启专项显得格外重要及迫切。
正确认识国产化
半导体产业链冗长，必须依赖于全球化，共同协作，共同进步，是共识。如EUV光刻机就是全球化技术的结晶，27%的供应商来自美国，14%来自......
大基金2021年下半年投资转变，有的放矢，逐渐进入全面投资阶段(2021-10-21)
金二期注册资本2041.5亿元，从投资方向来看，大基金的管理人就曾公开表示：
1）二期将对刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高度关注和持续支持，推动龙头企业做大做强。同时，加大对光刻机......
氮化镓微波毫米波无线能量转换芯片关键技术研发项目获得立项(2024-01-12)
禁带半导体材料与器件实验室，拥有材料生长和器件工艺超净间，器件制备用的光刻机、等离子体刻蚀机、磁控溅射台、快速热退火系统等全套工艺设备，具有完整的材料生长、器件制备及测试评价能力。
敖金......
工业大盘点的风吹到了半导体设备(2024-02-06)
设备、光刻
量测
公开资料显示，量测检测设备的市场空间仅次于光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，据中国国际招标网公开数据统计显示，量测检测设备是除光刻机外，国产化率最低的一环核心设备，市场......
拉日荷围堵中国，美国的算盘能打响吗？(2022-12-20)
受荷兰媒体采访时说，荷兰先进的EUV（极紫外线）光刻机被禁止售往中国，如果中国想要拥有能生产先进芯片的设备，必须购买非常尖端的薄膜沉积设备和刻蚀机，它们主要来自美国。因此，从中受益的是美国芯片设备制造商，它们超过25......
大基金持股26.48%，设备厂商拓荆科技科创板首发过会(2021-11-01)
。
△Source：拓荆科技公告截图
资料显示，拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机......
成本几十万元，俄罗斯自研光刻机又突破了？(2023-10-11)
作用，就是定制芯片，因为花大价钱造好的掩模是无法修改的，所以直写光刻会在这些领域拥有许多重要用途。
那么，俄罗斯看好X射线光刻又是什么呢？
实际上，ASML制造的光刻机里也是X射线，但它是软X射线，我们......
晶圆有怎样的市场需求呢？布局成熟工艺芯片有何意义？(2023-01-12)
的曝光下将设计好的芯片线路图复刻在晶圆表面，晶圆表面会涂抹光刻胶材料，用于保护衬底和显影。
之后运用刻蚀机对芯片线路进行雕刻，让芯片晶体管从平面变成立体。完成整个的光刻工艺后，芯片......
聚集集成电路领域，嘉芯半导体与嘉善复旦研究院达成战略合作(2023-08-18)
半导体设备上市公司万业企业携手全球产业专家共同投资成立，总投资规模达20亿元，用地面积109亩，公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等等集成电路成熟工艺的关键设备，产品范围覆盖芯片制造核心设备的多个重要品类。
据了解，自......
中微半导体诉美国半导体厂商侵犯刻蚀机商业秘密案，终审胜诉！(2023-07-11)
中微半导体诉美国半导体厂商侵犯刻蚀机商业秘密案，终审胜诉！;7月11日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）宣布，公司在针对美国半导体设备大厂泛林集团（Lam Research......
7nm 是物理极限？ 那刚发布的 1nm 是什么概念？有商业化价值吗？(2016-10-18)
年来，芯片制造技术进步放慢，摩尔定律出现失效的客观现象，对于苦苦追赶西方的中国半导体产业来说是可是一大利多。摩尔定律失效，一方面既有技术因素——先进光刻机、刻蚀机等设备以及先进芯片制造技术研发技术难度大、资金......
7nm物理极限！1nm晶体管又是什么鬼？(2016-10-11)
国半导体制造技术在追赶西方的过程中始终被国外拉出一段距离。而近年来，芯片制造技术进步放慢，摩尔定律出现失效的客观现象，对于中国半导体产业追赶西方来说是一大利好。
摩尔定律失效，一方面既有技术因素——先进光刻机、刻蚀机......
7nm 是物理极限？ 那刚发布的 1nm 是什么概念？有商业化价值吗？(2016-10-18)
年来，芯片制造技术进步放慢，摩尔定律出现失效的客观现象，对于苦苦追赶西方的中国半导体产业来说是可是一大利多。摩尔定律失效，一方面既有技术因素——先进光刻机、刻蚀机等设备以及先进芯片制造技术研发技术难度大、资金......
中科院中紫外光刻设备研制成功，国产光刻机有望突破(2017-04-14)
中科院中紫外光刻设备研制成功，国产光刻机有望突破;
来源：内容来自 中科院网站 ，谢谢。
近日，一种新型的中紫外直接光刻机......
积塔半导体临港厂区3月份生产超目标完成，维持98%以上产能正常运转(2022-04-22)
资本由40亿元增至93.21亿元。
今年以来，积塔半导体设备需求明显上升，根据机电产品招标投标电子交易平台数据不完全统计，2022年以来至今积塔半导体发布的设备类招标信息中，招标设备超100台，包括金属等离子刻蚀机......
莫大康：中国半导体业要充满信心及踏实前行(2020-12-15)
现实是不能让美国这么肆无忌惮的随意打压，必须有自身的定力。而能打破此“魔咒”的唯一方法是通过高质量的国产化来撕开禁运的“缺口”，之前如上海中微半导体的刻蚀机进入台积电的采购序列中，美方马上放松刻蚀机......
中微半导体中标华虹半导体12台刻蚀设备(2022-04-02)
中微半导体中标华虹半导体12台刻蚀设备;据招标平台信息显示，4月1日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）中标华虹半导体（无锡）有限公司12台刻蚀机。
图片......
Q1 全球半导体设备厂商营收排行：AMAT 第一，光刻机巨头 ASML 第四(2022-08-15)
）、离子注入、刻蚀、快速热处理、化学机械平整（CMP）、测量检测等设备。Q1 半导体业务营收同比增长 13.0%，环比下降 1.0%。
阿斯麦（ASML）则是全球第一大光刻机设备商，同时......
中微半导体诉讼美国泛林公司非法获取商业机密获胜(2023-07-12)
)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。
在 6 月 30
日上海市高级人民法院的终审判决中，法院命令泛林集团销毁其非法获取的与中微公司等离子刻蚀机有关的一份技术文件和两张照片;法院......
晶圆厂的cycle time，你听说过吗？(2017-04-19)
描式/步进式光刻机加上晶圆轨道；
•10台大电流和8个中等电流离子注入机；
•40台刻蚀机
•30种CVD工具
晶圆厂还需要清洁系统和过程控制工具。
晶圆......
35亿元，斯达半导拟投建SiC芯片/功率半导体模块等项目(2021-03-03)
研发及产业化项目由斯达半导全资子公司嘉兴斯达微电子有限公司负责实施，总投资金额20亿元。
项目拟通过新建厂房及仓库等配套设施，购置光刻机、显影机、刻蚀机、PECVD、退火炉、电子显微镜等设备，实现......
沈阳芯源微KrF涂胶显影机台入驻士兰集科(2022-06-14)
于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源微所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，其产品可广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前它推出的等离子体刻蚀......
芯源微广州子公司光刻胶泵及高纯供液系统产业化项目开工(2024-04-26)
于提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源微所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端......
相关企业
玻璃清洗设备,LCD清洗机,液晶玻璃刻蚀, 液晶基板清洗机, 液晶刻蚀机, 液晶玻璃减薄,去胶机，抛光清洗腐蚀台，CVD腐蚀清洗台，溅射清洗台，磨片清洗台，磷扩散清洗台，硼扩散清洗台，光刻腐蚀清洗机，衬底
致力于为以下行业提供蚀刻、清洗、显影、去膜、制绒、减薄等高品质设备： 半导体LED：硅片清洗机；硅片腐蚀机；硅片清洗腐蚀设备；基片湿处理设备；硅片清洗刻蚀设备；硅片腐蚀台;湿台;全自动RCA清洗
;艺峰科技;;专业生产开发销售.系列广告设备.各类标牌机.腐蚀机.蚀刻机.环保蚀刻机.铜锌腐蚀机.购机后免费培训.常期提供技术支持.
;智鹏五金机械厂;;本公司业务范围如下机械：制造蚀刻机（腐蚀机）晒版机 拉网机 丝印机 钟表腐蚀机 工艺饰品蚀刻机器材：蚀刻器材 感光油墨 抗酸油墨 腐蚀剂蚀刻加工：标牌铭牌 手表配件 电子
产品有紫外激光切割机，PCB激光切割、分板机，FPC激光切割机，陶瓷/硅片激光切割机，玻璃激光切割机，超快激光微加工系统，IC芯片激光切割机，ITO/银浆/金属薄膜激光刻蚀机、紫外激光打标机、光纤激光打标机、CO2激光
;襄阳仪波达微电子设备有限公司业务部;;襄阳仪波达微电子设备有限公司是可控硅芯片磨角机、扩散炉、真空烧结炉、旋转腐蚀机、半导体光刻机、匀胶机、清洗机、扩散炉体、晶闸管测试台、温度
星型CD/DVD激光刻录机，激光系统等 2、微结构电铸系统：包括各类清洗设备、精密电铸设备、DI水系统 3、真空镀膜机：EVA真空镀膜机、MRC943系列真空溅射镀膜机、超高真空设备 4、等离子刻蚀
/DVD激光刻录机，激光系统等 2、微结构电铸系统：包括各类清洗设备、精密电铸设备、DI水系统 3、真空镀膜机：EVA真空镀膜机、MRC943系列真空溅射镀膜机、超高真空设备 4、等离子刻蚀设备：等离子刻蚀
星型CD/DVD激光刻录机，激光系统等 2、微结构电铸系统：包括各类清洗设备、精密电铸设备、DI水系统 3、真空镀膜机：EVA真空镀膜机、MRC943系列真空溅射镀膜机、超高真空设备 4、等离子刻蚀
设备、金属上色机，电镀机，铜版画机，电泳机，刷镀机，堆金机，蚀刻机，电腐蚀机，金属蚀刻刻字机，自动上色机，电镀设备，铝氧化设备精密蚀刻设备,标牌机、雕刻机、镂空机 腐蚀机，蚀刻机，烂板机。设备