深紫外（DUV）光刻用于制造半导体工业用的40纳米微芯片结构。蔡司SMT的DUV光刻光学器件可以在波长为365、248和193纳米的“深紫外光”（DUV光）范围内以纳米精度曝光。DUV激光器的深紫外辐射具有非常高的能量密度，这可以导致芯片制造中更高的分辨率和精度。极紫外光刻（EUVL）是半导体器件制造中用于制造集成电路（IC）的另一种光学光刻技术。它使用极紫外（EUV）波长，大致跨越13.5nm附近2%的FWHM带宽，使用激光脉冲锡等离子体，通过使用反射光掩模曝光被光刻胶覆盖的基板来产生图案。EUV推动摩尔定律向前发展，并支持新颖的晶体管设计和芯片架构。使用EUV使芯片制造商更能负担得起规模，并使半导体行业继续追求摩尔定律。截至2022年，ASML Holding是唯一一家生产和销售用于芯片生产的EUV系统的公司，目标为5纳米和3纳米。
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资讯
思坦科技助力深紫外Micro-LED显示无掩膜光刻技术荣登Nature Photonics(2024-10-19)
思坦科技助力深紫外Micro-LED显示无掩膜光刻技术荣登Nature Photonics;深圳2024年10月18日 /美通社/ -- 由思坦科技与南方科技大学、香港科技大学、国家第三代半导体......
思坦科技助力深紫外Micro-LED显示无掩膜光刻技术荣登Nature Photonics(2024-10-21)
~8k高分辨率的深紫外 Micro-LED 显示产品，为半导体制造领域提供更高效、更具成本效益的芯片制造解决方案，助力全球科技产业的快速升级。或许在不久的未来，便可在科研、医疗、特殊......
三安/华中科大等参与，这个国家“十四五”重点研发项目正式获批立项(2022-12-22)
科技有限公司、泉州三安半导体科技有限公司、华中科技大学、中国科学院半导体研究所等9家科研院所、企业。
该项目研究内容涵盖深紫外LED先进外延技术、芯片制造技术、封装技术和可靠性评价，力求实现高性能大功率深紫外......
弗劳恩霍夫研究所开发创新微镜阵列 可用于汽车光调制和全息技术(2023-09-24)
产生独特的图像和结构。这些空间光调制器（SLM）是在半导体芯片上具有多达数百万个镜子的微镜阵列，可应用于半导体制造、显微镜和全息摄影等领域。
陶瓷封装的微镜阵列；512x320可单独寻址镜，像素......
五大高校科研团队在集成电路上有最新突破！(2024-10-10)
发光器件阵列，并将它们成功应用于新型无掩膜深紫外光刻技术中。
该研究首次提出将深紫外微型发光二极管（micro-LED）阵列作为光源应用于无掩膜深紫外光刻技术。在被广泛应用于集成电路芯片......
山西新政：走出一条具有山西特色的半导体及集成电路产业发展之路(2021-06-22)
我省产业优势，突破MiniLED封装、MicroLED封装等技术，完善专用芯片及光电器件封测技术，重点发展公共卫生防控深紫外固态半导体光源、背光源封测等产业，扩大LED产品量产规模。
(四)做大......
中国商务部会见荷兰 ASML 全球总裁(2023-03-31)
有关的先进技术，荷兰政府的该项法令导致 ASML
不得不申请出口许可才能被允许出口自己的先进光刻机系统。
DUV 和 EUV 都被用于半导体芯片制造中的光刻技术，分别代表“深紫外光”(Deep......
立琻半导体首条紫外光源芯片产线正式量产(2023-08-14)
立琻半导体首条紫外光源芯片产线正式量产;近日，苏州立琻半导体有限公司基于第三代半导体的首条紫外光源芯片产线正式量产。据悉，目前量产的半导体紫外光源芯片，其外延材料质量、芯片......
韩国半导体厂商周星工程研发 ALD 新技术，降低 EUV 工艺步骤需求(2024-07-16)
以下的先进制程，于 2020 年得到广泛应用。
周星工程董事长 Chul Joo Hwang 表示当前 DRAM 和逻辑芯片的扩展已达到极限，因此需要像 NAND 一样，通过堆叠晶体管的方式克服这个问题。
半导体......
加速第三代半导体产业发展，这家材料公司正式闯关科创板(2020-12-28)
碳化硅、GaN衬底（外延）材料、深紫外LED芯片、高亮度蓝绿光LED芯片。
博蓝特半导体表示，公司成立以来，致力于半导体衬底材料研发、生产、销售。第三代半导体研发中心建设项目，将为......
俄乌冲突影响半导体气体供应，芯片生产成本恐上涨｜TrendForce集邦咨询(2022-02-16)
俄乌冲突影响半导体气体供应，芯片生产成本恐上涨｜TrendForce集邦咨询;TrendForce集邦咨询：俄乌冲突影响半导体气体供应，芯片生产成本恐上涨
乌克兰为半导体原料气体供应大国，包含......
30秒杀死冠状病毒，紫外线LED能够迎来爆发期吗？(2023-01-04)
望进入商业空调、表面杀菌与净水领域。
从今年开始，限定汞使用和排放的国际《水俣公约》正式生效，传统的汞灯将限制、禁止生产和使用，并逐步退出市场。那么基于氮化镓宽禁带半导体材料的深紫外LED成为......
奥趋光电成功制备出高质量3英寸氮化铝单晶(2022-12-23)
/cm）、高热稳定性及良好的紫外透过率等优异性能（见图三），是高功率、高频及高压器件（见图四）的理想衬底材料，同时也是紫外光电器件的最佳衬底材料。据康奈尔大学报导，AlN基功率器件的综合性能有着其它宽禁带半导体......
与ASML平分市场，日本这家工程机械企业不容忽视(2023-06-30)
源这个光电子领域最上游的环节中，Gigaphoton和Cymer也是仅存的两家有能力开发次世代极紫外光刻机用LPP型（激光等离子体）光源的制造商。据日经新闻网报道，在半导体......
又一A股公司打入ASML供应链，国内电子特气厂商遇良机(2023-02-03)
内一家独立运营的企业。Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外......
长光辰芯发布GLT5009BSI-DUV版本，助力半导体缺陷检测(2024-08-19)
长光辰芯发布GLT5009BSI-DUV版本，助力半导体缺陷检测;
【导读】 长光辰芯发布时间延迟积分（TDI）CMOS图像传感器GLT5009BSI深紫外（Deep......
国产遇良机！又一A股公司打入ASML光刻机供应链(2023-02-06)
公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。
资料显示，ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团......
中微上半年扣非净利增超600%！(2022-08-11)
中微上半年扣非净利增超600%！;中微半导体今日披露2022年上半年财报。据公开资料，中微半导体是我国半导体制造设备厂商，主要开发离子体刻蚀设备和化学薄膜设备，在2018年年初就已宣布成功研发5nm......
韩设备商开发ALD技术，堆叠电晶体(2024-07-15)
电晶体可降低电晶体微缩至更小尺寸的需求，作为佐证，深紫外光（DUV）设备有望用于3D DRAM生产。Hwang认为，随着堆叠变得越来越重要，ALD设备需求也将增加。此外，三五族半导体和IGZO半导体的生产也需要ALD设备......
ASML要求美国员工暂停为中国客户提供服务(2022-10-13)
研发。
根据统计数据显示，2021年ASML的第一大客户就是中国芯片企业，中国芯片企业为ASML贡献了超过290亿美元。作为全球半导体设备的领先厂商，ASML也必须在中美之间取得平衡。该公司一直都有向中国客户供应深紫外......
EUV光刻机争夺战打响，国产光刻技术难题有何解？(2021-01-29)
纳米（EUV）。
EUV是线宽突破10纳米，甚至之后的7纳米、5纳米、3纳米工艺的关键。
Source：ASML
华创证券调研报告显示，半导体芯片......
限制 DUV，ASML 出口新规或将于近日实施！(2023-06-26)
限制 DUV，ASML 出口新规或将于近日实施！;
业内消息，荷兰政府的半导体新规预计最快会在下周开始实施，届时 的 DUV 光刻机将被限制出口。
2023 年 3 月，荷兰政府声称对半导体......
德媒担忧：美对华半导体限制恐殃及德企，部分德企将损失惨重(2023-02-08)
和通快提供的设备价值合计占阿斯麦 EUV（极紫外线）光刻机附加值的2/5左右。与此同时，他们也从交易中赚取了相当的利益。在蔡司的年营业额（高达75亿欧元）中，有23亿欧元（近1/3）来自半导体业务。报道......
ASML被禁止向中国运送其部分关键的芯片制造工具(2024-01-03)
ASML被禁止向中国运送其部分关键的芯片制造工具;半导体设备制造商表示，荷兰政府禁止其向中国出口部分工具。表示，荷兰政府最近部分撤销了其NXT：2050i和NXT：2100i光刻系统在2023年装......
美光推出1β DDR5 DRAM：速度7200MT/s，每瓦性能提高33%(2023-10-11)
产品为16Gb LPDDR5X-8500。美光表示，这代1βDRAM将是美光最后一代采用DUV深紫外光刻机制造的内存芯片，之后将采用EUV极紫外......
单台成本3亿-3.5亿欧元，ASML新High-NA EUV有望2024年出货(2022-11-16)
短期低迷持续，但从中长期看，市场只会成长，并预计未来10年，半导体市场平均每年成长9%，2030年产值将落在1万亿至1.3万亿美元。其表示，随着全球对先进芯片的需求日益飙升，公司可能会进行并购。
封面......
ASML今年下定了几个决心(2022-11-29)
制造工具的措施。
ASML及荷兰政府一直是美国游说、拉拢的重点对象，荷兰知名半导体产业链关键大厂 ASML ，是全球唯一一家能供应 7纳米米及以下芯片所需的 EUV 曝光机的厂商，帮助半导体......
商务部部长会见ASML全球总裁，都说了啥？(2023-03-29)
制造的光刻机。它是TWINSCAN NXT系列产品的一部分，采用了EUV光刻技术（下称EUV），可用于生产高性能的微处理器和存储器芯片，该产品于2014年推出。
DUV和EUV都被用于半导体芯片......
传荷兰最早下周发布新出口管制措施 限制ASML对华半导体设备出口(2023-06-25)
传荷兰最早下周发布新出口管制措施 限制ASML对华半导体设备出口;据外媒报道，荷兰政府计划最快6月底发布新的出口管制措施，将限制光刻巨头ASML对中国大陆的芯片制造设备出口。
此次......
荷兰光刻机巨头ASML发Q2报：营收超306.2亿元！净利同比增长38%...(2021-07-21)
DUV (深紫外光) 微影系统业务，ASML的TWINSCAN NXT:2000i 浸润式微影系统在客户端达到单日曝光6,300片晶圆的新纪录。行业周知，荷兰阿斯麦公司是全球最大的半导体......
芯鼎盛微控制器MCU典型应用消毒牙刷盒(2023-09-06)
芯鼎盛微控制器MCU典型应用消毒牙刷盒;消毒光源采用UVC+UVA短波LED紫外光，分别为光波长200～275nm和320～420nm的紫外线。UVC深紫外杀菌是目前常用的消杀技术。深紫外......
四家半导体大厂重磅合作！计算光刻技术从幕后到台前(2023-03-23)
答这两个问题前，我们需要先谈摩尔定律。
摩尔定律最常被表述为半导体芯片可容纳的晶体管数量呈倍数增长，而实现晶体管数量翻倍有三个重要手段：增加芯片面积、缩小......
宏光半导体宣布主要管理层之任命(2023-02-07 10:17)
平主席强调必须加快科技自立自强步伐，解决外国「卡脖子」的问题。为响应国家政策，香港政府颁布的香港创新科技发展蓝图中明确指出，政府将加强支持新能源汽车及半导体芯片等先进制造产业。因此，管理层相信，在国......
ASML首席技术官：明年交付首台High-NA EUV光刻机(2022-09-28)
一定能真正投入生产，当前半导体光刻技术之路或已走到尽头。
众所周知，ASML是全球最大的光刻机设备厂商，2021年，ASML曾2次提高生产目标，希望到2025年，其年出货量能达到约600台DUV（深紫外......
推广应用这些重大技术装备！工信部发布(2024-09-19)
）两种气体均服务于深紫外（DUV）光刻机，适用于产生深紫外光的准分子激光器。综合行业各方消息，工信部此次推广的氟化氩光刻机等用瑞利判据（CD =k1*λ/NA）倒推出该光刻机物镜的NA值为0.75......
大功率芯片研制获突破(2022-07-06)
大功率芯片研制获突破;据湖北日报消息，近日，由湖北深紫科技有限公司与华中科技大学共建的企校联合创新中心研发团队，成功实现了UVC大功率芯片技术突破，研制出单颗光输出功率140mW以上的大功率芯片......
存储大厂发力GDDR7！(2023-08-30)
美光当时的公告，新节点不仅会降低 DRAM 制造成本，还会提高效率和性能。其还透露，1ß将是其最后一个DRAM生产工艺，该工艺将依赖于深紫外 (DUV) 光刻，而不会使用极紫外 (EUV) 工具......
CISA：反对美日荷限制向中国出口相关芯片制造设备(2023-02-15)
CISA：反对美日荷限制向中国出口相关芯片制造设备; 针对外媒报道"美日荷限制向中国出口相关芯片制造设备"一事，2月15日中国半导体行业协会(以下简称“CISA”或“该协会”)发布......
长光辰芯发布GLT5009BSI－DUV版本，助力半导体缺陷检测(2024-08-19)
长光辰芯发布GLT5009BSI－DUV版本，助力半导体缺陷检测;
长光辰芯发布时间延迟积分（TDI）CMOS图像传感器GLT5009BSI深紫外（Deep Ultraviolet- DUV）增强......
陈韦帆加入晶瑞股份，担任光刻胶事业部总经理(2021-08-02)
（248nm深紫外）光刻胶完成中试，目前已进入客户测试阶段，测试通过后即可进入量产阶段。ArF高端光刻胶研发工作已正式启动，旨在研发满足90-28nm芯片制程的ArF（193nm）光刻胶，满足......
晶圆代工厂“头疼”？阿斯麦Hyper-NA EUV售价或超7.24亿美元(2024-07-02)
机设备，但可能超过7.24亿美元一台的售价会让台积电、三星、英特尔等半导体晶圆代工厂商望而却步。
约123亿美元，台积电今明两年订购60台EUV
在AI人工智能、汽车电子等产业的推动下，全球半导体......
ASML阿斯麦：你都知道多少(2023-10-08)
（EUV）光刻机的公司，该机能够通过使用更短波长的光来生产更小、更快、更强大的微芯片。ASML还生产深紫外（DUV）光刻系统、计量和检测系统以及计算光刻软件； 翻新现有机器； 并提......
ASML：中国已有近1400台ASML光刻机(2023-11-03)
余亿欧元。
据ASML最新季报，明后年全球半导体行业将企稳。预计到2025年，现有晶圆厂产能将会增加并有新的晶圆厂投入使用，半导体设备行业将会迎来比较大的增长，迎来需求的“高潮”。
沈波透露，“我们......
存储市场吹响EUV光刻机集结号(2024-07-05)
相对保守，不过也于今年将在1γ（1-gamma）制程进行EUV技术试产，三大原厂集结，存储市场EUV光刻机时代开启。
美光1γ DRAM开启EUV试产
与其他半导体大厂相比，美光并不急于为DRAM芯片......
多家光刻大厂扩产进行时：ASML公开年产690台扩充计划(2022-11-14)
亿欧元。ASML认为，虽然当前宏观环境带来了短期的不确定性，但市场对其的长期需求和公司产能将稳定发展。不断扩大的应用空间和行业创新将继续推动半导体市场的增长。
具体措施上，ASML计划......
为提升良率降低成本，三星频挖台积电墙脚(2023-03-13)
为提升良率降低成本，三星频挖台积电墙脚;
据业内信息报道，电子总裁暨晶圆代工事业部负责人崔世英近期陆续指派旗下主管前往中国台湾地区，秘密会见半导体产业链中多家大供应商，其中......
ASML 一季度财报解读，EUV未出货订单累积到21台(2017-04-20)
，ASML的毛利高于行业平均水平，而其净利润24%也是超过行业平均的11.5%。
当然了，半导体设备行业最大的故事是下一代光刻机——EUV，ASML在这方面是毫无疑问的霸主，其极紫外......
韩国总统尹锡悦会见荷兰光刻机巨头ASML CEO温宁克，共讨半导体合作(2023-07-31)
经济产业省与荷兰经济事务和气候政策部，于6月21日在东京签署了半导体领域合作备忘录。这一合作的主要目的是推动日本芯片公司Rapidus与荷兰ASML的合作，力争为日本引入EUV光刻机，量产最先进的半导体芯片。如果......
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制(2023-08-28)
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制;据电子时报报道，随着日本对华半导体设备出口禁令于7月23日正式生效，业内普遍想知道这将对中国半导体行业产生的影响。此次出口管制共计23品类半导体......
谈及光刻机禁运，中国驻荷兰大使：不会简单地咽下这口气(2023-03-21)
设备的出口。除了最先进的技术之外，低一档的产品也被禁止出口。阿斯麦说，这意味着，公司将不能在中国销售其第二先进半导体技术，深紫外线光刻技术（Deep Ultra Violet lithography）产品系列的芯片......
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;半导体芯片;;
;扬州杰利半导体有限公司;;扬州杰利半导体有限公司主要由扬杰电子科技有限公司投资建立的半导体芯片制造工厂，公司成立于二零零九年五月，总设计月产能15万片4英寸半导体芯片。所用设备主要是从美国、日本
行业科研院所长期紧密合作，消化吸收国际先进的高端半导体芯片工艺技术并不断创新，目前已经成为国内硅基太阳能专用肖特基芯片市场的最大供应商，塑造了国内外肖特基芯片
;天津南大强芯半导体芯片设计有限公司;;
;天津市南大强芯半导体芯片设计有限公司;;国有企业
;上海永歆机电有限公司;;主营：日本东芝半导体芯片、液晶屏、热敏打印头；韩国HTC稳压芯片、KEC二三极管。
;上海高通半导体有限公司;;上海高通半导体有限公司是中文信息处理软件开发和半导体芯片设计、生产相结合的高科技公司，在中文信息领域有20多年的技术积淀，曾被评为“上海十大软件公司”之一。 高通公司是国家信标委统一委托生产标准点阵字库芯片
;北京旭普科技有限公司;;旭普科技是专业为全球微电子行业提供半导体裸芯片以及大圆片的半导体公司，通过特有的半导体芯片技术和专有的半导体裸芯片大量长期的储存能力，为混合集成电路、多芯片组装模块和板上芯片
;黄山市瑞宏电器有限公司;;黄山市瑞宏电器有限公司是半导体芯片和电力电子半导体器件的专业生产企业。先进的技术工艺、完善的检测设备、严格的生产管理是我们为您提供稳定可靠产品质量的保证。
;深圳市国华科技有限公司;;主要生产半导体芯片，半导体成品。和国内的大型厂商合作，与国外的ST、IR、PHILIPS、MIXN、TI、NS等公司都有合作关系。公司的产品有，LDO、MOSFET、三端