等离子体光谱仪

基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;摘要：海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升 海洋光学（Ocean Optics）长期...

和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。本文引用地址： 实验配置： 实验采用光学发射光谱（OES）方法，分别使用紫外波段的ST微型光谱仪、通用...

的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，基于Ocean HDX光谱仪的模块化光谱设置用于监测引入不同气体和纳米颗粒后氩等离子体发射光谱的变化。测量...

保持生产成本和价格竞争力。 我们的观点 微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室...

的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而...

测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。 ...

取光子材料色散关系，实现光学性质“全面表征”的必要装备。其中，近红外波段 ARMS 具有更强的技术新颖性，能够为相关科学研究的快速突破带来帮助。 ARMS 广泛适用于光子晶体、表面等离子体、超构材料、微腔光子材料、光...

ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言： 锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被...

美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体...

403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体...

束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。 FIB是Focused Ion Beam的简...

国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%;据国家能源集团消息，最新一代 DLZ-HV-200 型高效等离子体点火及稳燃系统近日在国家能源集团江西神华九江发电公司 2 号机...

中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线;4月6日消息，中微公司举行了2020年度业绩说明会。会上，中微公司董事长、总经理尹志尧表示，公司的等离子体...

尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前它推出的等离子体...

工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体...

间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。 使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标： 1 栅极金属和源极/漏极...

大幅增加。 所谓i线也就是光源来自波长365nm的水银灯，和EUV光刻机使用的13.5nm波长激光等离子体光源区别明显。 按照的说法，除芯片精细化以外，封装...

刻速度提高了一倍，提高了精度，为更密集、更大容量的内存存储奠定了基础。 这项研究是由来自Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校和美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室（PPPL）的科...

改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25...

中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反...

射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理 研究方向：辉光放电 测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体...

以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。” 消毒和灭菌方法 医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。 当今，大部...

色度计与光谱仪异同点;在显示行业，目前最火的当属OLED与LCD的霸主之争，由于OLED在光学上的诸多优势，其被认为是显示屏的次世代技术，后续会逐渐取代LCD称为显示屏的主流，OLED在光...

半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。 三星...

三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而...

中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反...

北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体...

降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。 超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温...

运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。 随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体...

人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。 结果证明，用与其中所含超分子的等离子体...

所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。 据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。 整个...

采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计;1 引 言 随着空间探测技术的发展，空间的等离子体成分探测显得越来越重要，尤其对现在正在进行的深空探测，如探月计划。而空间等离子...

北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。 北方...

厘米，而用来激活纳米钻的可见光的穿透深度仅为半厘米。 这种“手提钻”其实是氨基花青分子，是一类用于医学成像的荧光合成染料。研究发现，该分子的原子在受到近红外光刺激时可一致振动，形成等离子体，从而...

之所以能够持续发光发热，是因为时刻发生着核聚变反应。托卡马克是进行可控核聚变研究的主流装置，利用强磁场把上亿摄氏度的等离子体长时间控制在真空容器里，并使聚变反应稳定持续地进行。由于它产生能量的原理与太阳相似，也被...

Transistor，HEMT）。GTH2e-2425300P可为各类工业、科学和医学（ISM）应用带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave...

公布。 专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域。 该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2...

LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用;国内外研究概况 LIBS（激光诱导击穿光谱）技术是上世纪60年代提出的，这是一种利用超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，再利用光谱仪对等 离子体发射光谱...

以解释为半个世纪的失败，而且确实如此。但在如此严峻的情况下，很难不抱最好的希望，追求融合力量的可能性。坦率地说，最近在融合方面有很多令人鼓舞的发展。   聚变反应堆的几个重要运行参数之一是将等离子体...

MOCVD设备主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产，同年其设备订单超100腔，并入选江西省科技成果转化十大典型案例。 中微公司开发的等离子体...

功耗分别高达1,170千瓦和1,400千瓦，高能耗来自EUV原理，也就是藉由高能激光脉冲，以每秒数万次频率蒸发锡球（约50万°C）以形成等离子体，然后发射13.5纳米波长光。这不仅需庞大雷射基础设施和冷却系统，还需...

理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体...

的质量保证。PE300BFX 具有与旗舰产品 PE300BFA 灯相同的输出性能，而 PE322BFX 的输出功率提高 10%，并在其整个使用寿命内保持不变。埃赛力达的 Cermax 氙灯采用短弧等离子体...

已顺利导入客户端进行生产线核准。 中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。据悉，中微公司的等离子体...

光谱分析仪光源和氩气的作用;　　光谱分析仪光源的作用 　　1.通常所讲的光谱仪光源是指为产生火花提供能量的电子系统。就是光源控制板、光源板、点火板的总和。严格...

。 如此高的能耗主要是源于EUV光刻系统的工作原理，高能激光脉以每秒数万次的频率蒸发微小的锡液滴(温度为 500,000?C)，以形成发出13.5纳米波长光光的等离子体。这一...

着中微公司在半导体领域中扩展了全新的工艺应用。 万业企业旗下凯世通半导体：离子注入机基本自主可控！ 近日，万业企业旗下凯世通半导体与国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所等达成战略合作，通过...

物和氮化物等材料。 第五步：蚀刻 从晶片表面去除部分材质，以产生电子元件所需的形状和结构。可以使用多种技术来进行蚀刻，包括湿式蚀刻、干式蚀刻和等离子蚀刻。这些工艺使用化学物质或等离子体...

利等国家和地区。 从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。 据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo...

制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们...