改进半导体制造,海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案

发布时间:2022-09-15  

海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作,探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。

客户面临的挑战

海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作,探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。

客户面临的挑战

广告

随着全球对半导体的需求迅速增长,该行业已做好投资于节约成本的工艺改进以及开发日益复杂的半导体设计和配方的准备。为了满足当今的技术繁荣并应对不断扩大的市场,半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。

半导体和微机电系统 (MEMS) 正在达到设计极限,通过减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反,制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率,以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求,同时保持生产成本和价格竞争力。

我们的观点

微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数,同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合,可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态,并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。

光谱有助于使终点检测更加精确,从而可以设计出更复杂的晶片形状和图案。由于制造商可以更准确地停止和启动生产过程,因此可以制造更小的特征,同时减少错误和减少晶圆上的不可用空间。另外,随着终点检测变得更加精确,可以使用更薄的不同材料层,即使它们产生微弱的、难以分辨的光谱特征和更紧密排列的峰值。

解决方案

海洋光学 与半导体行业领先的设备供应商合作,共同推进终点检测技术。我们定制了光谱仪(Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子监测应用的理想选择),以提供半导体制造所需的快速、高灵敏度、精确分辨率和多功能连接能力。

借助 海洋光学 硬件和支持,设备供应商不断改进和完善其为半导体行业提供的蚀刻技术。其在等离子处理和先进封装解决方案方面的领先地位支持与无线设备、光子学、固态照明和 MEMS 设备相关的新兴技术。

世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight,30年来专注于光谱技术和设备的持续创新,在光谱仪这个细分市场精耕细作,打造了丰富而差异化的产品线,展现了光的多样性应用,坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。

2019年,从Ocean Optics更名为Ocean Insight,也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后,海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线,且增强支持和服务能力,为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。

作为海洋光学官方授权合作伙伴,爱蛙科技(iFrogTech)致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题,为打造量身定制的光谱解决方案而努力。

关于海洋光学

海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商,应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者,如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。

关于爱蛙科技

爱蛙科技(iFrogTech)是海洋光学官方授权合作伙伴,提供光谱分析仪器销售、租赁、维护,以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

随着全球对半导体的需求迅速增长,该行业已做好投资于节约成本的工艺改进以及开发日益复杂的半导体设计和配方的准备。为了满足当今的技术繁荣并应对不断扩大的市场,半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。

半导体和微机电系统 (MEMS) 正在达到设计极限,通过减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反,制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率,以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求,同时保持生产成本和价格竞争力。

我们的观点

微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数,同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合,可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态,并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。

光谱有助于使终点检测更加精确,从而可以设计出更复杂的晶片形状和图案。由于制造商可以更准确地停止和启动生产过程,因此可以制造更小的特征,同时减少错误和减少晶圆上的不可用空间。另外,随着终点检测变得更加精确,可以使用更薄的不同材料层,即使它们产生微弱的、难以分辨的光谱特征和更紧密排列的峰值。

解决方案

海洋光学 与半导体行业领先的设备供应商合作,共同推进终点检测技术。我们定制了光谱仪(Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子监测应用的理想选择),以提供半导体制造所需的快速、高灵敏度、精确分辨率和多功能连接能力。

借助 海洋光学 硬件和支持,设备供应商不断改进和完善其为半导体行业提供的蚀刻技术。其在等离子处理和先进封装解决方案方面的领先地位支持与无线设备、光子学、固态照明和 MEMS 设备相关的新兴技术。

世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight,30年来专注于光谱技术和设备的持续创新,在光谱仪这个细分市场精耕细作,打造了丰富而差异化的产品线,展现了光的多样性应用,坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。

2019年,从Ocean Optics更名为Ocean Insight,也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后,海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线,且增强支持和服务能力,为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。

作为海洋光学官方授权合作伙伴,爱蛙科技(iFrogTech)致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题,为打造量身定制的光谱解决方案而努力。

关于海洋光学

海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商,应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者,如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。

关于爱蛙科技

爱蛙科技(iFrogTech)是海洋光学官方授权合作伙伴,提供光谱分析仪器销售、租赁、维护,以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

文章来源于:电子工程专辑    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

相关文章

    硅晶圆厂,扩产12寸产能; 【导读】因为看好半导体市场扩大,全球硅晶圆龙头信越化学(Shin-Etsu Chemical)旗下关系企业三益半导体(Mimasu Semiconductor......
    涨价,让环球晶圆原本预定收购SunEdison可能得花二年时间才能损平,有机会在今年提前达阵。 硅晶圆厂建议签长约,代工厂竞争加剧 全球半导体硅晶圆供应缺口持续扩大,近期业界传出硅晶圆龙头供应商信越半导体......
    顺应功率器件厂商扩产潮,碳化硅产能有望2023年下半年释放;近日,半导体硅晶圆龙头环球晶董事长徐秀兰在股东会上表示,预计碳化硅行业发展模式将与硅基半导体类似,在IDM厂主导的同时,IC设计、代工......
    硅晶圆龙头也“跨界”,信越化学进军半导体制造设备市场;信越化学总裁Yasuhiko Saitoh表示,公司希望成为业界的“全能型厂商”,增加提供给客户的产品,包括后段处理设备。 这一战略举措标志着信越化学从半导体材料供应商向半导体......
    上历史新高水准。 只是,随着半导体硅晶圆供应吃紧,再加上上游硅材料的价格上涨,使得环球晶圆在2020年底就就已经率先上调了12英寸硅片的现货价格,并表示其他尺寸也将逐步调涨。如今,市占位居龙头的信越化学也宣布半导体硅晶圆......
    就就已经率先上调了12吋硅片的现货价格,并表示其他尺寸也将逐步调涨。如今,市占位居龙头的信越化学也宣布半导体硅晶圆将调涨10%~20%,这也代表者接下来,其他的半导体硅......
    手机用需求触底,带动整体半导体需求将呈现缓和复苏。 在硅晶圆需求部分,预估今年内将持续呈现缓和复苏。 全球硅晶圆龙头......
    中国半导体基金有意收购德国商 Siltronic,加速硅晶圆市场整并; 半导体行业观察近期,由于半导体硅晶圆......
    环球晶:硅晶圆需求分化,11月营收环比下滑3.96%; 【导读】中国台湾硅晶圆龙头环球晶今日发布11月业绩,11月实现营收60.46亿元新台币(下同),环比下滑3.96%,同比......
    。 但是,在硅晶圆价格方面,环球晶表示,公司大部分都是长约供应,所以就按照签订的合约规定进行。 半导体硅晶圆市场下半年面临旺季不旺窘境,台湾业界龙头......

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>