资讯
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线(2021-07-09)
内外芯片制造企业提供一站式解决方案。
作为集成电路制造前道工序中的关键设备，离子注入机的研发难度仅次于光刻机。由于离子注入机对洁净度要求很高。在芯片制造过程中，通常有70多道离子注入工序，因此，这种装备的注入......
中国科大首次研制出氧化镓垂直槽栅场效应晶体管(2023-02-28)
采用了氧气氛围退火和氮（N）离子注入工艺制备了器件的电流阻挡层，并配合栅槽刻蚀工艺研制出了不需P型掺杂技术的氧化镓垂直沟槽场效应晶体管结构。
图1(a)氧化镓垂直槽栅场效应晶体管结构示意图；(b......
凯世通斩获三家12英寸晶圆厂离子注入机采购订单(2024-08-16)
两家新客户新订单与一家重要客户重复订单。目前凯世通的低能大束流离子注入机客户已超过10家以上，超低温离子注入机客户已突破6家。
凯世通表示，此次签署订单的2家新客户均为国内工艺先进的12英寸芯片生产企业，客户在离子注入......
中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖(2023-07-11)
中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖; 7月3日，指出，中国电科连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖重大科技成果，有力......
国产离子注入机未来可期，半导体设备潜力股思锐智能落子布局！(2023-08-16)
是全球最大半导体市场，但半导体自主生产率低下，仍面临依赖海外先进半导体制造设备的现状。就国内来看，离子注入机是在集成电路前道工艺设备中国产化率最低的环节之一，也因此被认为是破除高新技术壁垒、实现......
大基金二期投资这家SiC设备厂！(2022-12-07)
%。
据了解，烁科中科信成立于2019年6月，由中电48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业，主营业务包括半导体器件专用设备的制造。公司......
RTP快速退火炉提高SiC晶体生长质量(2024-07-08 15:02)
RTP快速退火炉提高SiC晶体生长质量;SiC器件制造过程主要包括“光刻、清洗、掺杂、蚀刻、成膜、减薄”等工艺，其中，离子注入工艺是SiC掺杂的重要步骤，以满足SiC器件耐高压、大电......
仅次于光刻！我国突破氢离子注入核心技术 100％国产(2024-09-11)
芯片质子辐照)研发中心，完成了首批氢离子注入性能优化芯片产品客户交付。
这标志着，我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺......
我国突破氢离子注入核心技术 100％国产(2024-09-13)
性能优化芯片产品客户交付。
这标志着，我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺的全面国产替代奠定了基础。
工程师进行晶圆离子注入......
大基金二期投资后，这家SiC设备厂获2亿大订单！(2023-01-11)
片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
烁科......
万业企业获6.58亿元离子注入机大单(2022-02-08)
万业企业获6.58亿元离子注入机大单;2月7日，万业企业发布最新公告，公司控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（以下简称“北京凯世通”）拟向重要客户出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入......
中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖(2023-06-30)
中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖;据新华社新媒体6月29日消息，中国电子科技集团有限公司旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）已实现国产离子注入机28纳米工艺......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25 11:14)
下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺之一。2000......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
元，同比下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
亿美元，同比下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造;
思锐智能携业界尖端的离子注入（IMP）和原子层沉积（ALD）技术亮相SEMICON China 2024，持续......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
万业企业旗下凯世通跻身“上海市集成电路设备业销售前十名”(2021-04-26)
京凯世通共获得4个集成电路离子注入机设备订单，涵盖低能大束流(重金属、超低温)、高能离子注入等工艺，同时上海凯世通超越7纳米离子注入平台已通过客户验证并取得验收。凭借离子注入......
芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化(2021-03-17)
流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
图片来源：新华社
封面......
国产半导体设备新动向，离子注入等迎新局(2024-12-25)
设备，相关产品已发往客户端验证。其核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子......
总投资超200亿，长飞先进武汉基地SiC项目首批设备搬入(2024-12-20)
搬入的设备涵盖芯片制造各个环节，包括薄膜淀积、离子注入、光刻、刻蚀等，较原定设备搬入时间大幅提前。
长飞先进总裁陈重国表示，首批设备的进驻，标志着武汉基地项目正式进入产能建设新阶段，接下来还将面临工艺......
凯世通收获重点晶圆厂客户多台重复订单(2024-06-05)
下单总数超过10台。
2024年以来，凯世通离子注入机持续服务多地客户产业化大生产，不到半年发货数量已超过10台。凯世通低能大束流离子注入机通过大批量产线验证，束流传输效率高、稳定性好，具备优异的工艺......
登上《Nature》，南大团队在二维半导体领域取得新突破！(2023-01-13)
对接触区域进行高浓度掺杂，通过接触与沟道界面的化学键实现欧姆接触，其接触电阻约为100Ω·μm。由于原子级厚度，二维半导体与高能离子注入工艺不兼容，需要发展全新的欧姆接触技术。与硅......
再获近7亿采购订单，国产厂商出售多台12英寸集成电路设备(2022-02-08)
公告，万业企业控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（以下简称“北京凯世通”）于2022年1月30日和重要客户签订《采购订单》，北京凯世通向其出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入......
中国高能离子注入机核心技术难关得到突破！(2022-08-29)
中国高能离子注入机核心技术难关得到突破！;据“中国电科”报道，国内高能离子注入机核心技术难关得到突破！由中国电科所属北京烁科中科信设备研发团队自主研制的国内首台高能离子注入......
华海清科拟10.05亿元收购芯嵛公司82%股权(2024-12-25)
设备，相关产品已发往客户端验证。核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子......
北京烁科中科信大束流离子注入机交付(2023-02-16)
北京烁科中科信大束流离子注入机交付;2月15日，北京烁科中科信宣布本年度首台大束流离子注入机在国内某知名集成电路产线move in。
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备。北京......
打破国外垄断，首台国产低能离子注入机顺利完成验证(2021-08-30)
打破国外垄断，首台国产低能离子注入机顺利完成验证;在全球产能紧缺以及半导体国产化的浪潮下，国产半导体正面临前所未有的发展机遇，尤其是国产半导体设备中的离子注入机，近期好消息不断。
8月27日......
应用材料公司全新技术助力领先的碳化硅芯片制造商，加速向200毫米晶圆转型并提升芯片性能和电源效率(2021-09-11)
去除测量、清洗和干燥于一身，可量产具有极高质量表面的均匀晶圆
热注入提升 SiC 芯片性能和电源效率
在 SiC 芯片制造期间，离子注入在材料内加入掺杂剂，以帮助支持并引导大电流电路内的电流流动。由于......
北京烁科中科信碳化硅离子注入机交付！一季度新签合同总额突破3.5亿元(2023-04-06)
北京烁科中科信碳化硅离子注入机交付！一季度新签合同总额突破3.5亿元;据“北京烁科中科信”消息，北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“北京烁科中科信”）碳化硅离子注入机顺利交付。
资料......
全球再添12英寸代工厂和存储厂；NAND Flash最新排名(2022-09-05)
全球再添12英寸代工厂和存储厂；NAND Flash最新排名;“芯”闻摘要
NAND Flash市场新消息
中芯国际500亿建12英寸厂
美光150亿美元建存储厂
中国高能离子注入......
万业企业：2020年的“势”与“实”(2021-02-11)
中国领先的设备洗净服务商安徽富乐德公司
2020.08
凯世通的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获北京市科技进步一等奖
2020.09
凯世通的“集成电路设备射频电源系统研发与验证”项目......
一文看懂MOS器件的发展与面临的挑战(2017-07-10)
– HCI）和栅氧化层漏电等问题。为了克服这些挑战，半导体业界不断开发出一系列的先进工艺技术，例如多晶硅栅、源漏离子注入自对准、LDD离子注入、polycide、Salicide、SRD、应变硅和HKMG......
“一枝独秀”，国内半导体设备领域佳音频传(2023-04-23)
为国产化替代化目标加速努力中。而近期，国内部分半导体设备企业陆续传来佳音。
01
万业企业：凯世通离子注入机订单均为集成电路离子注入机
4月19日，万业企业在投资者互动平台表示，嘉芯......
研制装备实现国产化，湖南半导体技术攻关取得突破(2023-07-27)
顺利通过综合验收。
报道称，“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”项目由中国电子科技集团公司第四十八研究所承担。项目突破了6英寸SiC（碳化硅）外延生长设备和高温高能离子注入机的工艺性能、产能、稳定......
凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机(2024-03-25)
凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机;近日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。
据介绍，凯世通自主研发的适用于CIS器件的低能大束流离子注入......
这家A股厂商实现重要突破，国内半导体设备领域佳音频传(2023-05-22)
年7月投入试生产；其位于上海临港的生产和研发基地预计2023年将部分投入使用
此外，芯米半导体首台自研自创幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300已成功交付国内一线客户；北京烁科中科信碳化硅离子注入......
自主创新+产业整合，万业企业“双轮驱动”战略转型获市场高度认可(2020-12-04)
电子为代表的消费电子需求增长及供应链本土化趋势将推动产业链国产化进程。政策、资金、市场三大因素助力，国内市场迎来晶圆建厂潮，半导体设备迎来高景气度。
政策暖风下万业企业战略布局的各环节陆续取得阶段性突破。万业企业12月1日晚间发布公告，旗下凯世通集成电路离子注入......
万业企业四季度业绩暴涨：传统业务收入同比增长337%，集成电路战略转型显成效(2021-02-01)
于公司整体收入和利润提高，公司目前充裕的现金，为加快向集成电路战略转型奠定了良好的资金基础。
近年来万业企业围绕半导体设备加速国产化布局，一直持续加大对旗下离子注入机制造商凯世通在集成电路设备的支持强度。离子注入......
北京经开区：要确立在全国集成电路全产业链的领导地位(2021-07-09)
强化集成电路制造和装备环节优势，确立北京经开区在全国集成电路全产业链发展的领导地位。
据了解，发布会上中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）发布了在离子注入机、化学机械抛光设备(CMP)、湿法......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
电投所属国电投核力创芯（无锡）科技有限公司（以下简称“核力创芯”）暨国家原子能机构核技术（功率芯片质子辐照）研发中心，完成首批氢离子注入性能优化芯片产品客户交付。
国家电投表示，这标志着我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺......
推广应用这些重大技术装备！工信部发布(2024-09-19)
, 这个光刻机大概可以量产28nm工艺的芯片。
除了光刻机，其他集成电路生产设备还包括硅外延炉、湿法清洗机、氧化炉、涂胶显影机、高能离子注入机、低能离子注入机、等离子干法刻蚀机、特征......
Axcelis宣布：向碳化硅芯片制造商批量出货Purion Power系列离子注入机(2023-07-13)
Axcelis宣布：向碳化硅芯片制造商批量出货Purion Power系列离子注入机;7月11日，半导体离子注入解决方案供应商Axcelis Technologies，Inc.（以下......
研发费同比增加671%，万业企业的半导体设备“王国”雏形显现(2021-04-19)
过收购扩展了企业版图。
订单量增加
2018年，万业企业收购凯世通，向集成电路转型迈出重要一步。凯世通是国内唯一覆盖集成电路光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业，其研发生产的离子注入机是半导体制造工艺......
大陆半导体设备公司发动“初”击，AIBT违约遭凯世通起诉(2021-01-07)
方此前签订的协议规定，原告KINGSTONE拥有超越7nm技术的集成电路芯片离子注入机的原创设计与开发的技术及产品。被告AIBT凭借购买原告KINGSTONE原创设计并生产的离子注入平台与其现有离子束系统（也是......
万业企业：2022年累计新增集成电路设备订单超6.80亿元(2022-04-11)
企业集成电路业务版块主要为三块，分别有凯世通的离子注入机设备项目、收购的CompartSystems公司、旗下的嘉芯半导体项目。
01今年年初凯世通取得6.58亿元采购订单
万业......
给SiC“挖坑”，国产有机会吗？(2024-06-17)
AIST研究所开发高能注入工艺，在器件源区进行高能离子注入，加强P阱区域对于沟槽底部保护，制备得到的器件击穿电压达到3.8kV，比导通电阻仅为9.4mΩ·cm2；
2017年，Infineon发布SiC......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
被添加到硅晶片中以改变其电特性。最常用的材质是硼或磷，少量加入可以分别产生p型或n型的半导体。这些材质是通过一种称为离子注入的工艺，利用离子加速，将被加速的离子注入到晶片的表面。
第四步：晶片沉积处理
在这......
CSEAC 2024专题论坛九：半导体设备如何作用制造工艺(2024-10-11)
%的集成电路制造投资额。另外按照集成电路整个生产线分为五大功能，增材（生产各种薄膜）、图形生成（把图形转移到硅片上）、减材（去除不必要的材料）、离子注入（材料改性）、量测（保证工艺......
碳化硅市场快速崛起，IDM和代工厂加快布局，产业链打响“最后的战役”(2023-01-24)
：“专用于 SiC 的设备的主要挑战与晶圆处理有关，此外还有多个工艺要求。” “由于宽带隙材料固有的化学物理特性，我们在制造流程中使用了一些新的设备和工艺。与通常用于硅基功率器件的工艺相比，高温外延和离子注入工艺......
相关企业
整流组件、高压模块。 产品广泛应用于行医疗器械、静电除尘、喷涂喷塑、高频热合、 石油脱水、高压检测、 等离子注入、离子加速 、电子束焊接、 电子显微、空气净化、真空镀膜、超声清洗、高能点火、X光机
硅整流桥、高压整流组件、高压模块。 产品广泛应用于行医疗器械、静电除尘、喷涂喷塑、高频热合、 石油脱水、高压检测、 等离子注入、离子加速 、电子束焊接、 电子显微、空气净化、真空镀膜、超声清洗、高能点火、X光机
到150kW，电压范围从300V到500kV。我们的产品主要应用于以下领域：X光射线管、骨密度测试、分析仪器、电泳，半导体、离子注入、平板印刷， 无损检测、X射线呈像、静电除尘、油烟净化、静电
;上海财盈电子有限公司;;上海财盈电子有限公司是一家专业的无原理图芯片级电路板维修、半导体设备维修、光刻、离子注入、蚀刻、镀膜、光电、LED晶片、传感器、触控、太阳
;北京永固运通表面合金科技有限公司;;渗碳化钨处理是荣获国家发明专利（ZL01113768.1）技术开发的碳化钨-钢梯度高级耐磨材料，是碳化钨经高能离子注渗进钢基体内，形成1.2-1.5
德龙讯科技有限公司主要提供以下产品和服务： ● 高精度电子显微镜 包括钨灯丝扫描式电镜，场发射扫描电镜，FIB双束聚焦扫描电镜，电镜选配件。 ● 高电荷态离子源 离子源，离子加速，减速装置，离子注入装置，电子
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、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 致力
硅片用石墨垫.电子束蒸发用石墨坩埚.玻璃金属封装用石墨烧结板.拉制单晶用石墨加热器.离子注入和等离子体蚀刻用石墨部件以及拉制光纤用石墨模等）；-电火花放电加工用石墨电极；-机械用碳石墨（如机
司是世界上最优秀的涂层设备和材料供应商。公司多年来一直潜心于真空技术的研发、制造和应用，主要产品有Sputtering、Parylene设备、离子注入机、PVD/CVD设备等。我们