据“中国电科”报道,国内高能离子注入机核心技术难关得到突破!由中国电科所属北京烁科中科信设备研发团队自主研制的国内首台高能离子注入机已顺利进驻国内先进集成电路大生产线。
作为集成电路芯片制造的关键设备,离子注入机设备的研制难度极大、研制基础薄弱,其应用也非常广泛,不仅可以用做大规模集成电路和器件和半导体材料的离子注入,还能用于金属材料表面改性和制膜等方面。
其中,低能大束流离子注入机被应用于制程逻辑、DRAM、3D存储器和CIS芯片制造中,高能离子注入机则较多应用在功率器件、IGBT、5G射频、CIS、逻辑芯片等器件制备过程中。
据悉,高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型,被认为是离子注入机研发领域公认的“珠穆朗玛峰”,是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。
“中国电科”消息指出,北京烁科中科信设备研发团队实现了中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全谱系离子注入机自主创新发展,大幅缩小了与国际一流水平差距。
TSS 2022亮点剧透
在即将举办的2022集邦咨询半导体峰会暨存储产业高层论坛上,TrendForce集邦咨询半导体产业资深分析师团队将分别从内存产业趋势、晶圆代工制程、服务器市场发展以及闪存市场挑战与机会等多个角度出发,与产业大咖全方位探讨半导体以及存储器产业现状与未来。
封面图片来源:拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。
相关文章
《重生边缘》全球同步上线,英特尔锐炫显卡+XeSS助力玩家开启酣战之旅(2023-09-08)
可以很好地满足玩家对于高帧率与高画质的需求,XeSS利用AI加速画面渲染,在保持丝滑流畅的游戏体验的同时,也能呈现超清原生画质,让玩家可以沉浸式地突破一场又一场纳米暗潮。无论是在人机对战的“暗潮猎场”,亦或......
英特尔XeSS迅猛发展,,已支持《重生边缘》等超70款热门游戏(2023-09-11)
可以很好地满足玩家对于高帧率与高画质的需求,利用AI加速画面渲染,在保持丝滑流畅的游戏体验的同时,也能呈现超清原生画质,让玩家可以沉浸式地突破一场又一场纳米暗潮。无论是在人机对战的“暗潮猎场”,亦或......
三星电子宣布开发出业界首款GDDR7 DRAM(2023-07-20)
带动未来显卡市场的增长,并进一步巩固其在该领域的技术地位。
据官网介绍,三星电子GDDR7可达到每秒1.5太字节(TBps)的带宽,是GDDR6 1.1TBps的1.4倍,并且每个数据I/O(输入/输出)口速......
交易要黄?传欧盟将对英伟达收购Arm案展开调查(2021-08-27)
交易不破坏Arm与苹果等大客户的关系”。
然而,来自Arm股东、政界人士和行业专家仍认为此交易在、技术地位和就业等风险()。此外,英伟达的竞争对手门也对这笔交易提出了反对意见(),并指出ARM的芯......
高通推出远距离紧凑型宏基站平台,助力成本高效的室外毫米波部署(2022-12-09)
在人流密集的户外城区也能提供优质服务。通过降低高性能户外毫米波基站的基础设施成本,移动网络运营商能够比以往更具成本效益地突破无线性能。
固定无线接入(无线光纤):单个室外基站能够连接的家庭、办公......
三星推出其首款GDDR7,释放下一代显存性能潜力(2023-07-19)
三星推出其首款GDDR7,释放下一代显存性能潜力;今日,电子宣布已完成其业内首款的研发工作。年内将首先搭载于主要客户的下一代系统上验证,从而带动未来显卡市场的增长,并进一步巩固电子在该领域的技术地......
消息称三星正在与 Epic、Krafton 等公司合作为折叠屏手机开发游戏(2023-10-09)
院是三星电子设备体验(DX)部门的尖端技术研发(R&D)组织,旨在探索未来的增长潜力点。因此,三星电子选择了游戏产业发达的国家作为 TF 运营地。
消息人士提到,TF 正在与美国 Epic Games......
环旭电子投资氮化镓公司,加码功率电子战略(2021-11-25)
第三代半导体氮化镓(GaN)材料相关产品的设计、开发和生产,该材料以其晶体管性能和可靠性而著称。随着电源解决方案从传统硅器件转向更小、低成本和高效的功率系统,氮化镓的市场份额加快成长。氮化镓公司的先进技术地......
三星推出其首款GDDR7,释放下一代显存性能潜力(2023-07-20)
,能效提高20%今日,三星电子宣布已完成其业内首款GDDR7的研发工作。年内将首先搭载于主要客户的下一代系统上验证,从而带动未来显卡市场的增长,并进一步巩固三星电子在该领域的技术地位。
三星......
三星推出其首款GDDR7,释放下一代显存性能潜力(2023-07-20)
,能效提高20%今日,三星电子宣布已完成其业内首款GDDR7的研发工作。年内将首先搭载于主要客户的下一代系统上验证,从而带动未来显卡市场的增长,并进一步巩固三星电子在该领域的技术地位。
三星......