7月11日,半导体离子注入解决方案供应商Axcelis Technologies,Inc.(以下简称“Axcelis”)宣布,其向全球领先的碳化硅(SiC)功率器件芯片制造商批量出货Purion Power系列™离子注入机系统。
Axcelis表示,这些出货均在第二季度交付,其中包括为美国一家领先的碳化硅功率器件制造商提供的Purion H200 SiC评估系统,以及为亚洲客户提供的多种收入系统。
据介绍,交付的Purion Power系列注入机型号包括Purion H200™高电流、Purion EXE™高能量、Purion XE高能量和Purion M™中电流注入器。这些系统将用于支持汽车行业电动汽车(EV)应用的功率器件的大批量生产。其中几个系统是从韩国的Axcelis亚洲运营中心发货。
此前5月,Axcelis宣布,公司向欧洲和亚洲功率器件芯片制造商客户交付了多台Purion H200 SiC Power Series™离子注入系统,并将用于支持电动汽车(EV)应用的功率器件大批量生产。
Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low称,由于向电动汽车的过渡,碳化硅功率器件市场继续快速增长。该市场是公司增长的关键驱动力,公司将继续渗透新客户,并扩大其在现有客户中的覆盖范围。公司预计,2023年公司超过55%的系统收入将来自整个功率器件领域。
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