近日,上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)宣布成功斩获三家12英寸晶圆厂客户离子注入机采购订单,包括两家新客户新订单与一家重要客户重复订单。目前凯世通的低能大束流离子注入机客户已超过10家以上,超低温离子注入机客户已突破6家。
凯世通表示,此次签署订单的2家新客户均为国内工艺先进的12英寸芯片生产企业,客户在离子注入机设备的选择上,对性能、稳定性以及供应商的服务能力均设立了极高的标准。
凯世通专注国产低能大束流离子注入机产业化,为下游晶圆厂客户提供性能卓越、稳定可靠的量产型产品,覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域。公司自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机,已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的严苛验证验收,并成功实现了产业化应用。
自去年开始,凯世通研发投入多款面向细分领域的离子注入机,形成全系列的产品矩阵布局,包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备,持续提升离子注入机重大装备自主可控水平,加速离子注入机在新工艺、新材料等领域的广泛应用。
封面图片来源:拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
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