资讯
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
辉光的存在，这是一项非常实用的功能（如图4所示）。
图4：即使在低功率设置下的等离子体，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应。
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体蚀刻过程方面被证明是一种高效的技术。通过结合光谱硬件和技术，半导......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，基于Ocean HDX光谱仪的模块化光谱设置用于监测引入不同气体和纳米颗粒后氩等离子体发射光谱的变化。测量......
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案(2023-06-27)
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言：
锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
测量学中使用的重要测量仪器，被广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。
光纤光谱仪应用的详细介绍：
1、发射光谱测量
发射光谱......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
TUV莱茵长三角运营中心二期盛大开业 助推区域一体化高质量发展(2024-08-02 09:00)
实验室测试容量相较原上海实验室扩大一倍，新增多台液相色谱三重串联质谱、气相色谱质谱、电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）等大型分析测试设备；轻工产品实验室实现机械安全、厨房用品、家具......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
光谱分析仪光源和氩气的作用(2023-04-26)
来说真正的光源应该是火花放电产生的火花，它的作用是将金属样品熔融蒸发、原子化、激发。
2.直读发射光谱的基本原理是火花源将金属样品熔融蒸发、原子化、激发，当被激发的原子或离子回到基态的时候会发射出特征光谱，各元素发射......
光谱分析仪测金属元素原理(2023-04-26)
长顺序记录在感光板上，就可呈现出有规则的光谱线条，即光谱图。系借助于摄谱仪器的分光和检测装置来实现。
3、根据所得光谱图进行定性鉴定或定量分析。由于不同元素的原子结构不同，当被激发后发射光谱......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
组变压器冲击试验、冷却水泵带载试运、等离子体发生器拉弧均一次成功。
据介绍，新系统的成功应用，可显著提升锅炉低负荷稳燃点火能力，设备电耗降低 20％至 40%，设备重量减轻近 80%，阴阳极使用寿命周期提升 3......
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用(2023-03-21)
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用;国内外研究概况
LIBS（激光诱导击穿光谱）技术是上世纪60年代提出的，这是一种利用超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，再利用光谱仪对等 离子体发射光谱......
复享光学显微角分辨光谱仪完成国家科技部科技成果入库(2022-09-28)
取光子材料色散关系，实现光学性质“全面表征”的必要装备。其中，近红外波段 ARMS 具有更强的技术新颖性，能够为相关科学研究的快速突破带来帮助。
ARMS 广泛适用于光子晶体、表面等离子体、超构材料、微腔光子材料、光......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
据悉......
“一路前行，加速中国布局”——聚焦TESCAN与乾照光电合作签约仪式(2017-03-30)
束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
FIB是Focused Ion Beam的简......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.79%，毛利率达到44.29%。
【编辑注：根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP......
首款基于色散分光并支持5μm波段测量的台式光谱分析仪发布(2020-01-16)
中的水汽，从而消除在特定波长产生的水汽吸收峰。其二是消除高阶衍射光的影响（高阶衍射光是所有光谱仪固有的现象，它产生一个波长比入射光的波长长两到三倍的光谱）。
主要目标用户
环境......
透射/反射光谱测量解决方案(2023-03-27)
透射/反射光谱测量解决方案;透射/反射光谱测量是材料本身的一项重要光学特性，是光谱测量的基本手段，通常需要使用光谱仪、光源、光纤、测量支架、标准参比样品、测量软件等设备。对于不同种类的样品，为了获取更好的光谱......
浅谈成像光谱仪的原理及应用(2023-03-23)
浅谈成像光谱仪的原理及应用;成像光谱仪是20世纪80年代开始在多光谱遥感成像技术的基础上发展起来的，它以高光谱分辨率获取景物或目标的高光谱图像，在航空、航天器上进行陆地、大气、海洋......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体......
大屏幕三大拼接技术之比较与分析(2024-07-30)
放电现象。气体等离子体放电产生紫外线，紫外线激发荧光屏，荧光屏发射出可见光，显示出图像。当使用涂有三原色荧光粉的荧光屏时，紫外线激发荧光屏，荧光屏发出的光则呈红、绿、蓝三原色。当每......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体......
事关光刻机！美国开发新光源：效率有望提升10倍(2025-01-08 14:03:24)
功耗分别高达1,170千瓦和1,400千瓦，高能耗来自EUV原理，也就是藉由高能激光脉冲，以每秒数万次频率蒸发锡球（约50万°C）以形成等离子体，然后发射13.5纳米波长光。这不仅需庞大雷射基础设施和冷却系统，还需......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计(2023-06-13)
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计;1 引 言
随着空间探测技术的发展，空间的等离子体成分探测显得越来越重要，尤其对现在正在进行的深空探测，如探月计划。而空间等离子......
国际最新研究将3D NAND深孔蚀刻速度提升一倍(2025-02-07)
刻速度提高了一倍，提高了精度，为更密集、更大容量的内存存储奠定了基础。
这项研究是由来自Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校和美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室（PPPL）的科......
光纤光谱仪的应用领域有多广泛(2023-03-23)
。在大多数应用中荧光能量仅为激发光能量的3%，波长要长于激发光，而且时散射光。在荧光测量系统中，一定要避免激发光进入到光谱仪中。
......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
使用地物光谱仪进行测试时需要注意哪些问题？(2023-01-10)
使用地物光谱仪进行测试时需要注意哪些问题？;地物光谱仪可以实时测量反射、透射辐射和辐照度波谱曲线。
为了测试能够准确，在使用过程中需要注意一下事项：
1、基本要求：地物光谱仪......
欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器(2023-10-11)
帝国理工学院）
非常规的制造方法
该推进器是在伦敦帝国理工学院帝国等离子体推进实验室（Imperial Plasma Propulsion......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。”
消毒和灭菌方法
医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。
当今，大部......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
高效环保低成本！回收废锂离子电池活性材料新策略(2023-08-10)
)。由于PA溶液快速渗透到活性材料层中，Ni55层在5分钟内从Al箔上完全剥离(图2b)。有趣的是，得到的铝箔表面干净，没有任何残留的活性物质和损伤(图2c)。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测量......
全球智能手机生产量预估；清华研发首款实时超光谱成像芯片(2022-06-06)
成像芯片如图1所示。通过硅基超表面实现对入射光的频谱域调制，利用CMOS图像传感器完成频谱域到电域的投影测量，再采用压缩感知算法进行光谱重建，并进一步通过超表面的大规模阵列集成实现实时光谱......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
等先进封装领域的薄膜沉积设备，目前北方华创的TSV刻蚀设备已广泛应用于国内主流晶圆厂和先进封装厂，是国内TSV量产线的主力机台。12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备目前已正式进入客户端验证，电容耦合等离子体、晶边......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
色度计与光谱仪异同点(2023-05-25)
色度计与光谱仪异同点;在显示行业，目前最火的当属OLED与LCD的霸主之争，由于OLED在光学上的诸多优势，其被认为是显示屏的次世代技术，后续会逐渐取代LCD称为显示屏的主流，OLED在光......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
基于DLP技术的近红外光谱仪设计(2023-06-27)
基于DLP技术的近红外光谱仪设计;一、简介
近红外光谱分析是一种强大的技术，通过样品对不同波长的光的吸收或发射的变化，实现对物理材料的识别和分类。适用工作在700至2500 nm之间的波长下的手持式光谱......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。
据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。
整个......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。
北方......
相关企业
,销售的上市企业，注册资本15392万，股票代码300165，主要产品包括X荧光光谱仪（XRF），电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP），气象色谱仪（GC），液相色谱仪（LC），原子荧光光谱仪（AFS
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立叶变换红外光谱仪
;杭州博朗科技有限公司;;专业进口，代理德国鲁克红外光谱．美国戴安的液相色谱和离子色谱．德国斯派克的荧光光谱仪和等离子发射光谱仪(ICP)．瑞士华嘉的激光粒度仪．元素分析仪．定氮仪表面张力仪等等
分析仪、镀层厚度检测仪器、光电直读光谱仪包含（不锈钢成分析检测仪、合金材料检测仪、铜材检测仪、铝合金元素检测仪器）。矿石分析仪、手持式光谱仪、、金属废料回收检测仪、液相色谱仪、气相色谱仪、ICP电感藕合等离子光谱仪
;深圳市鸿瑞仪器有限公司;;深圳市鸿瑞仪器有限公司主要生产和销售ROHS环保检测仪器（XRF）（金镍镀层测厚仪）（ICP电感耦合等离子发射光谱仪）（LC液相色谱仪）（GC气相色谱仪）AA（原子吸收光谱仪
安全检测仪,RoHs测试仪器 ,无卤检测仪器. X荧光光谱仪、ICP等仪器。 产品包括X射线荧光光谱仪（XRF）,电感耦合等离子体发射光谱仪、原子荧光光谱仪、气相色谱仪、液相色谱等。产品
;宁波市鄞州天行健仪器有限公司;;宁波市 鄞州天行健仪器有限公司位于中国浙江省宁波市鄞州区古林镇包家工业区，宁波市 鄞州天行健仪器有限公司是一家XRF能量色散荧光光谱仪、ICP电感耦合等离子荧光光谱仪
市分析仪器工程技术研究中心”、“江苏省昆山市重点民营企业”、“江苏省昆山市企业技术中心”、“江苏省昆山市产品质量监督检验所RoHS检测二室”等称号。 公司产品包括X射线荧光光谱仪（含能量色散和波长色散型）（XRF）、电感耦合等离子体发射光谱仪
元素分析仪器用的备件、耗材，如高氯酸镁、碱石棉、各类助熔剂、燃烧管、O型圈等等，可以用于美国LECO公司、德国ELTRA公司等。 11、 各类ICP等离子体发射光谱仪用的矩管、雾化器、泵管、标准溶液，可以
;盖文实业;;盖文实业-以销售实验室仪器和过程仪器为主，提供成熟的技术，全面的解决方案。以知名仪器制造商保持长期的合作伙伴关系， 主要产品：物理/化学仪器及光谱仪类： 等离子体发射光谱仪（ICP