资讯
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反，制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率，以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求，同时保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点微弱等离子体......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
)。CCP和ICP是等离子刻蚀设备中应用最广泛的两类设备。】
目前公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装。
半导......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
身体中获取能量，这就是为什么你会感觉冷。在这种情况下，等离子体撕开被吸收的物种，能量被释放出来，这就是冷却的原因"。
霍普金斯大学的显微镜通过一种叫做"时间分辨光学测温"的过程工作，测量一种叫做"热反......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;摘要：海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升
海洋光学（Ocean Optics）长期......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
之间的寄生电容就减小了。倾斜角减小会将刻蚀反应物从侧壁移开，并将其推向所产生的空气间隙底部（图3b-c）。这解释了为什么在给定的深度和等离子体入射角度分布值下，晶圆倾角越小，空气间隙越大，电容越小（图2a......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
空气的介电常数比氮化物要低很多，所以这降低了有效的介电常数。相应地，栅极和源极/漏极之间的寄生电容就减小了。倾斜角减小会将刻蚀反应物从侧壁移开，并将其推向所产生的空气间隙底部（图3b-c）。这解释了为什么在给定的深度和等离子体......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%;据国家能源集团消息，最新一代 DLZ-HV-200 型高效等离子体点火及稳燃系统近日在国家能源集团江西神华九江发电公司 2 号机......
什么是可控核聚变？可控核聚变到底处于什么水平呢?(2023-01-05)
年开始在VC圈火爆的可控核聚变，一时间又成了科技圈的当红领域——无论是科技创业者，还是风险投资人，都在为这一消息一键三连。用德国马克斯·普朗克等离子体物理研究所的核聚变专家Thomas
Klinger在1......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线;4月6日消息，中微公司举行了2020年度业绩说明会。会上，中微公司董事长、总经理尹志尧表示，公司的等离子体......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
给客户一个包罗万象的工具箱，为客户提供做出创新仪器的全套工具模块，客户用这个工具箱可以在半导体等领域进行自己的开发，实现自己的创新理念。”蚀刻终点监测：等离子体检测系统在半导体行业 , 晶圆是用光刻技术制造和操作的。其中......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。”
消毒和灭菌方法
医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。
当今，大部......
一场“国产光刻机”的奇葩说(2022-12-29)
源单次曝光做到22nm，懂点光学的就知道这意味着什么：打破了传统的衍射极限。所以在我看来，这台机器最大的价值是验证了表面等离子体（SP）光刻加工的可行性。
这台SP光刻......
可控核聚变的未来谈论，是否能成为我们未来的能源，第一部分(2023-02-09)
以解释为半个世纪的失败，而且确实如此。但在如此严峻的情况下，很难不抱最好的希望，追求融合力量的可能性。坦率地说，最近在融合方面有很多令人鼓舞的发展。
聚变反应堆的几个重要运行参数之一是将等离子体......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
不敌液晶竞争，三星等离子电视黯然退出市场(2016-10-25)
期液晶电视相比，等离子电视具有反应时间快、没有残影等优点，等离子电视的每个像素均可发光，可视角广，不会有颜色偏离问题。但是等离子电视缺点在于极为耗电、容易发烫，需要装设风扇降温，种种弱点难以克服，最终......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。
据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。
整个......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。
北方......
分子“手提钻”利用振动撕裂癌细胞，对实验室培养的人类黑色素瘤细胞疗效达99%(2023-12-27)
厘米，而用来激活纳米钻的可见光的穿透深度仅为半厘米。
这种“手提钻”其实是氨基花青分子，是一类用于医学成像的荧光合成染料。研究发现，该分子的原子在受到近红外光刺激时可一致振动，形成等离子体，从而......
核心部件完成首件制造，中国“人造太阳”迎来高光时刻！(2022-12-02)
之所以能够持续发光发热，是因为时刻发生着核聚变反应。托卡马克是进行可控核聚变研究的主流装置，利用强磁场把上亿摄氏度的等离子体长时间控制在真空容器里，并使聚变反应稳定持续地进行。由于它产生能量的原理与太阳相似，也被......
可控核聚变的未来谈论，核聚变仍需要克服哪些挑战？(2023-02-09)
是你需要在中心部分做的事情，以使聚变反应发生。所以就存在挑战，好吧，等离子体是尴尬和混乱的，如果你曾经见过的话。所以我也做了很多关于北极光的工作，很漂亮。但这是另一种等离子体。如果你看过任何图像，尤其......
Gallium Semiconductor推出首款ISM CW放大器，扩大产品组合(2023-09-19)
Transistor，HEMT）。GTH2e-2425300P可为各类工业、科学和医学（ISM）应用带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave......
华为、哈工大联手：基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布(2023-11-21)
公布。
专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域。
该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2......
使用虚拟实验设计加速半导体工艺发展(2023-04-19)
SEMulator3D的可视性刻蚀功能进行了工艺建模。我们在虚拟实验中修改的是等离子体入射角度分布(BTA)和过刻蚀因子(Fact)这两个输入参数。完成虚拟通孔刻蚀后，使用......
挑战 ASML，应用材料公司重新定义了光刻和图案化市场(2023-03-13)
，半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新东西，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们......
中微公司南昌生产研发基地项目正式建成，并投入使用(2023-07-10)
MOCVD设备主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产，同年其设备订单超100腔，并入选江西省科技成果转化十大典型案例。
中微公司开发的等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
中微公司推出12英寸薄膜沉积设备，已导入客户端进行生产线核准(2023-05-11)
已顺利导入客户端进行生产线核准。
中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。据悉，中微公司的等离子体......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
着中微公司在半导体领域中扩展了全新的工艺应用。
万业企业旗下凯世通半导体：离子注入机基本自主可控！
近日，万业企业旗下凯世通半导体与国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所等达成战略合作，通过......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
物和氮化物等材料。
第五步：蚀刻
从晶片表面去除部分材质，以产生电子元件所需的形状和结构。可以使用多种技术来进行蚀刻，包括湿式蚀刻、干式蚀刻和等离子蚀刻。这些工艺使用化学物质或等离子体......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
中微公司在针对美商科林研发提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉(2023-07-11)
制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们......
中微半导体设备（上海）股份有限公司声明(2024-02-05)
于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些......
世界寻找清洁能源势在必行，波浪能、太阳能和风能和核聚变(2023-02-10)
显然比污染能源更具吸引力。
融合的方法，两种主流的融合方法，它们的主要区别在于它们如何包含所谓的等离子体。为了实现融合，您需要极高的温度。我们以 1
亿度的量级进行交谈。现在显然，在那......
芳华十八，砥砺奋发：中微公司成立18周年(2022-08-03)
树立行业标杆
自2004年成立以来，中微致力于开发和提供具有国际竞争力的微观加工的高端设备，现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。
凭借极具竞争优势的高端等离子体刻蚀机和MOCVD设备，中微......
52腔MOCVD设备，中微公司再接大单(2022-03-29)
显示屏等终端产品。
△Source：中微公司
资料显示，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，开发的离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备。
其中等离子体......
国产半导体设备，传来新消息(2024-11-12)
知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体刻蚀方法和刻蚀装置”的专利，公开号CN 118919407 A，申请日期为2023年5月。专利摘要显示，本发明提供一种等离子体......
基于Genesis gm5020芯片的等离子彩电的设计(2023-06-28)
用于存储图像数据。
串口芯片采用ICL232CPE，用于CMOS/TTL电平转换，供单片机MCU和PC机进行通信。实现等离子体彩电的软件修改。
来自视频译码器的YUV信号、PC机的RGB图形信号、数字......
《流浪地球2》里的“硬科技”，科学家们这样说……(2023-01-28)
发动机依靠重核聚变产生的巨大能量。长期研究核聚变能源的中科院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所副研究员王腾介绍，核聚变反应是将两个原子核重新结合，生成一个较重的原子核的过程，其间能够产生巨大的能量，“利用......
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;广州市伊恩埃半导体技术有限公司;;AENI等离子体电源亚太（上海/广州/香港）维修中心 www.aeni.com.cn 是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE（Advanced
和推广于一体高科技企业，面向等离子体设备制造公司。公司密切注视国内外等离子处理高新技术发展趋势，结合国内生产的实际情况，在行业内形成了独特的优势。 公司拥有多名专业博士、硕士从事低温及常压等离子
;成都纽曼和瑞微波技术有限公司;;成都纽曼和瑞微波技术有限公司（和瑞）是一家专业从事微波能和微波等离子体应用技术科研，开发和生产的股份制民营高科技企业。和瑞拥有一支集高频，微波和等离子体技术、电气
地方高新技术产业的发展，推进中科院合肥物质科学研究院等离子体所在国家重点大科学工程（俗称“人造小太阳”）ESAT建设过程中所形成的先进技术与科技成果的转化，支持
;聚智慧教练;;专业企业教练技术，管理培训，营销培训，NLP培训，教练技术培训等相关信息。什么是一个企业制胜的法宝？教练技术如何帮助企业成功？管理，培训，咨询，教育培训。
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立
;聚智慧教练技术;;专业企业教练技术，管理培训，营销培训，NLP培训，教练技术培训等相关信息。什么是一个企业制胜的法宝？教练技术如何帮助企业成功？管理，培训，咨询，教育培训。 你的
隔离装置环流器，水负载，水冷却单元波导接头及各种弯头、磁控管头手动调谐器，自动微波调谐器、微波泄露测量设备等规格齐全，并提供长期质保。 产品应用行业： 微波等离子体CVD设备 高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD
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