资讯
新技术加持，国产光刻机有望获得新突破(2016-12-12)
技术的发展局限于在光学衍射极限范围内不断缩短所用光源的波长，其代价非常昂贵。今天光刻机被称为“人类最精密复杂的机器”，荷兰ASML公司EUV光刻机售价高达1亿美元，而且只有ASML能够生产。
国内目前还没有安装ASML EUV机台......
佳能产日本首台半导体光刻机PPC-1发售50周年(2020-01-16)
设备的作用是将在掩膜版上绘制的电路图案通过投影透镜缩小，再将图案曝光在晶圆上。晶圆在晶圆台上依次移动，电路图案将在一个晶圆上重复曝光。因为电路是由从微米到纳米※8级别的超精细图案经过多层堆叠制成，所以半导体光刻机也需具备超高精密的......
最近申请的一项光刻装置专利到底是什么呢？公开图纸，我们也造不出来？(2022-11-28)
器、能量探测器、掩膜版、掩膜台、物镜、内部封闭框架和减震器等11个模块的组件。
即便的光刻机专利是全世界最先 进的，没有这些上下游产业链支持，也是白搭。尤其是光刻机......
佳能光刻机现在是什么水平？探访进博会上的光学大厂(2022-11-16)
佳能光刻机现在是什么水平？探访进博会上的光学大厂;我们还特别拍了个，汇聚了包括ASML、佳能、蔡司、尼康等参展企业——虽然这些企业如果单就电子行业来看，涉足的层级和业务都有区别。
像佳......
高端市场要变天?佳能宣布发售新一代i线步进式光刻机(2022-12-08)
”。
据了解，在半导体芯片的制造工艺中，光刻机负责“曝光”电路图案。在曝光的一系列工艺中，在硅晶圆上制造出半导体芯片的工艺称为前道工艺。
保护精密的半导体芯片不受外部环境的影响，并在......
另一家中国光刻机厂商浮出水面！(2024-07-04)
重要零部件专有技术。在光刻机关键子系统如全波段近、中、深紫外光源系统和折反射镜组、精密工件台等方面，ABM Inc.均实现了自研自制，并拥有独立的知识产权。
产品线：ABM Inc.的光刻机......
年产1100吨光刻材料，这个光刻胶项目即将投产(2021-03-23)
大UBC大学等高校科研机构合作建设了光刻材料研发实验室，成功研发出世界最先进的193纳米光刻胶单体并实现规模化生产，成为中国唯一的高端光刻胶单体材料研发和规模化生产企业。
此外，为助......
佳能发售面向后道工艺的3D技术i线半导体光刻机新产品(2022-12-07)
是半导体制造的后道工艺〉
在半导体芯片的制造工艺中，半导体光刻机负责“曝光”电路图案。在曝光的一系列工艺中，在硅晶圆上制造出半导体芯片的工艺称为前道工艺。另一方面，保护精密的半导体芯片不受外部环境的影响，并在......
佳能发售面向后道工艺的3D技术i线半导体光刻机新产品(2022-12-07)
光的一系列工艺中，在硅晶圆上制造出半导体芯片的工艺称为前道工艺。另一方面，保护精密的半导体芯片不受外部环境的影响，并在安装时实现与外部的电气连接的封装工艺称为后道工艺。
〈关于半导体光刻机解说的网站〉
我们......
EUV光刻新突破，是不是真的？(2023-09-18)
技术也远比想象中要多。
虽然EUV并非通向先进制程的唯一之路，但只是都没那么好，或者太贵了，EUV仍然是现在最主要的方向。
对芯片行业来说，理想的光刻机技术应该是成本较低、通量高、特征尺寸小、材料......
ASML新一代EUV光刻机，一台售价近27亿元(2022-05-23)
年投入使用，2026年到2030年主力出货。
消息显示，新一代High-NA EUV光刻机机型约双层巴士大小，重量超过200吨。该设备精密度更高、所使用的零部件更多，可用于生产下一代芯片，芯片......
首台ASML光刻机搬入！中国再添一座12英寸车规级晶圆厂(2022-11-28)
所有制造芯片所需的主流技术。
要知道，目前全球只有ASML能够生产先进的EUV光刻机，但ASML的光刻机汇集了世界高端技术的结晶，其中自然用到了很多含有美国设备的技术，所以ASML自由出货被美方拿捏得死死的。
不过......
台积电CEO秘访ASML，High-NA EUV光刻机竞赛提前打响？(2024-05-30)
-NA光刻机？
从早期的深紫外光刻机（DUV）起步，到后来的极紫外光刻机（EUV）以其独特的极紫外光源和更短的波长，再到如今的高数值孔径光刻机（High-NA）正式登上舞台，为制造更小、更精密的......
清华大学科研团队新成果：有望为EUV光刻光源提供新技术路线(2021-02-26)
国际社会重点关注
“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源，这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。”唐传祥告诉记者。
在芯片制造的产业链中，光刻机是必不可少的精密设备，是集......
成本几十万元，俄罗斯自研光刻机又突破了？(2023-10-11)
://bbs.eeworld.com.cn/thread-1258802-1-1.html）
俄罗斯所说的光刻机究竟是什么？国内有吗？
付斌丨作者
电子工程世界（ID：EEWorldbbs）丨出品
断供......
云计算、AI对算力需求的快速增长成驱动数据中心增长的第一要素(2022-12-23)
导体芯片的制造工艺中，光刻机负责 " 曝光 "
电路图案。在曝光的一系列工艺中，在硅晶圆上制造出半导体芯片的工艺称为前道工艺。保护精密的半导体芯片不受外部环境的影响，并在......
佳能 3D 技术 i 线光刻机将实现大型高密度布线封装的量产(2022-12-16)
佳能 3D 技术 i 线光刻机将实现大型高密度布线封装的量产;芯片制造的核心设备则是光刻机。光刻机通过发光将光掩膜上的图形投射在硅片上，制作成芯片。随着芯片精密程度越来越高，光刻机......
佳能 3D 技术 i 线光刻机将实现大型高密度布线封装的量产(2022-12-16 14:34)
佳能 3D 技术 i 线光刻机将实现大型高密度布线封装的量产;芯片制造的核心设备则是光刻机。光刻机通过发光将光掩膜上的图形投射在硅片上，制作成芯片。随着芯片精密程度越来越高，光刻机......
信越化学停止供货，光刻胶再现缺货潮(2021-06-02)
少业内人士来说仍然历历在目，最近，被誉为“半导体基石”的光刻胶又出现了供货难问题。
当前，全球光刻胶市场由日本大厂主导，日本厂商总共占据了全球光刻胶市场份额的80%。信越......
国产刻蚀设备凭什么后发赶超？（附厂商盘点）(2020-08-18)
光刻的水平，与世界最先进的7nm制程相距甚远。因此，想要打造一个全制程国产化的 “中国芯”，光刻与刻蚀工艺的齐头并进尤为重要。
国产刻蚀厂商凭什么后发赶超？
以下......
俄罗斯：2024年将制造350nm光刻机(2023-11-06)
俄罗斯：2024年将制造350nm光刻机;根据俄罗斯媒体报道指出，俄罗斯本身正在研发生产芯片的光刻机。其工业和贸易部副部长Vasily Shpak在接受媒体访问时指出，2024年将开始生产350纳米光刻机......
EUV到来之前的顶梁柱，你真的了解浸入式光刻吗？(2017-02-06)
有一定难度；二是寻找高折射率的光学主镜头材料。目前193nm ArF浸入式光刻机主镜头折射率为1.56，IBM与JSR联合推出Nemo系统主镜头采用高密度石英材料，其折射率为1.6。折射率为2.1的镥......
霸道至极！传美国对ASML施压：不准向中国厂商提供光刻机工具维修服务！(2024-04-07)
外交部确认了即将举行的会议，但没有详细说明议程上的议题。“荷兰总是与我们的合作伙伴进行良好的讨论。周一的官员会议就是一个例子，”该部告诉路透社。
ASML是全球最大的光刻机制造商，也是唯一的极紫外（EUV......
EUV光刻机缺货问题要持续3年，瓶颈居然是...(2022-05-05)
EUV光刻机缺货问题要持续3年，瓶颈居然是...;细致到可以深究成熟工艺的光掩模（photomask）短缺问题——据说也是近期才发现的，尤其是28nm及以上工艺的产能开始受到掩模短缺问题的影响。不过......
中科院中紫外光刻设备研制成功，国产光刻机有望突破(2017-04-14)
193nm光刻技术应用在远低于这个波长的场景。
有了RETs，光刻机在28nm的时候只需要一次的光刻曝光就可以实现了。但到了22nm/20nm，单次曝光有时候就不能给临界层提供足够的分辨率。芯片......
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清(2023-09-20)
国电子院官微进行了澄清。该项目不是国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目（HEPS），而且项目位于北京怀柔雁栖湖畔。
HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机。它产......
持股4.76%，哈勃科技投资科益虹源(2021-06-04)
亦庄此前报道，作为北京亦庄开发区光刻机零部件技术创新中心建设的牵头单位，科益虹源自主研发的光刻用准分子激光系统打破了美国和日本的长期垄断地位。
国家财经周刊曾发文称，上海微电子将在2021年交付的28nm光刻机......
俄罗斯要建 10 台超级计算机，还要自研光刻机?(2023-10-11)
俄罗斯要建 10 台超级计算机，还要自研光刻机?;
业内消息，近日多家外媒报道俄罗斯定下多个宏大科技领域的目标，其中包括在 2030 年之前建造 10
台的，此外还包括在圣彼得堡理工大学的光刻......
纳米压印光刻，能让国产绕过 ASML 吗(2023-03-20)
纳米压印光刻，能让国产绕过 ASML 吗;自从国产替代概念兴起，很少关注半导体行业的人都对有所耳闻。目前，全世界最先进的芯片，几乎都绕不开 ASML（阿斯麦）的 DUV（深紫外）和 EUV（极紫......
芯碁微装设备成功开拓日本载板市场(2022-11-29)
DMD直接成像技术，配合合理的光路设计，使得解析精度可至6/6μm；采用高精度的精密位移平台系统，配合高精度的环境温度控制，使得对位精度达到5μm。
芯碁微装成立于2015年，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻......
沙子做的芯片凭啥卖那么贵？(2016-11-25)
线投资起码要数十亿人民币，而且其中占大头的是前工程里面的光刻机、掩膜板、成膜机器、扩散设备，占到总投资的70%，这些都是世界上最精密的仪器，每一台都价值不菲。作为参照，CPU工厂建设、辅助设备、超净间建设费用才占到20......
成本几十万，俄罗斯也要自研“光刻机”？(2023-10-10)
，与微电子行业最大的光刻设备制造商 ASML 的光刻机相比，下诺夫哥罗德模型中的辐射源在运行中更加紧凑。据他介绍，后一种情况极大地影响了设备的成本、尺寸和复杂性。
在输出方面，同等辐射源功率下，俄罗......
ASML再次改口！国家迅速回应，外媒：荷兰将光刻机事情闹大了(2023-10-08)
直接影响到ASML公司光刻机的研发和制造。这一技术依赖的情况为ASML公司带来了一定的风险。
我国光刻机技术的突破
相比于对华出口光刻机受限，我国光刻机技术取得了重大突破。中微公司自主研发的光刻机，产能......
可绕过EUV量产5nm！佳能CEO：纳米压印设备无法卖到中国(2023-11-07)
备无法出口到中国。
尖端制程严重依赖EUV光刻机
总部位于荷兰的ASML是目前全球最大的光刻机厂商，同时也是全球唯一的极紫外光刻设备供应商。EUV光刻机是目前世界上最先进的芯片制造设备，每台......
ASML被禁止维修售华光刻机！CEO：基本不影响赚钱(2024-04-29)
ASML被禁止维修售华光刻机！CEO：基本不影响赚钱;4月29日消息，美国对中国的封锁进一步加剧，甚至不想让ASML为已经卖给中国的光刻机提供售后维护服务，不过在ASML看来，这么做影响并不大，至少......
三家光刻机龙头企业积极回应半导体市场需求(2022-08-23)
市场实力，尼康还将推出适应3D堆叠结构器件如存储半导体、图像传感器制造需求的光刻机新产品，已提高其在成熟制程设备市场的竞争力。
佳能
研发3D技术光刻机、满足生产需求
无独有偶，另一大日本光刻机企业佳能也被报道在研发光刻机......
中国半导体该如何崛起？材料/设备/软件国产化才是重点！(2020-06-19)
能是因为美国向荷兰政府施压。
中国的上海微电装备、中电科45/48所、成都光机所等企业/机构正围绕光刻机而积极研发。现在国内已经成功量产的光刻机只能最高生产90nm的芯片，中科院曾公开表示，中国的光刻机......
ASML全年净销售额增30.2%，2030冲击0.7nm工艺(2024-02-18)
元。
ASML是世界上最大的光刻系统制造商。这种设备在制造半导体的过程中起着至关重要的作用。尽管英特尔、德州仪器和英飞凌科技等芯片制造商都警告今年销售疲软，但对......
美国：不准向中国厂商提供光刻机维修服务！ASML回应服务正常(2024-04-18)
，这种限制可能对中国的晶圆制造商产生重大影响，特别是对于维护产线稳定运行所必需的光刻机核心部件的供应和维护。
之前外界担心，受限的光刻机主要是NXT:2000i及更先进的机型，而其他未受限的光刻机型销售和维护则不受影响。
......
一台3亿欧元！ASML CEO：High-NA EUV将于2024年出货(2022-11-28)
克还介绍了ASML新一代High-NA
EUV光刻机的进展，预计将于2024年开始发货，每台设备的价格在3亿至3.5亿欧元之间。
众所周知，目前ASML是全球最大的光刻机供应商，同时......
全球光刻机市场竞争加剧，ASML财报引发关注...(2024-10-26)
全球光刻机市场竞争加剧，ASML财报引发关注...;
近日，ASML发布最新三季度财报后，股价创26年来最大跌幅引起市场极大关注。在此期间，尼康和佳能陆续发布的光刻机......
上海新阳半导体：公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付(2021-03-08)
胶产品开发进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。
不过该光刻机尚须经过装机、调试等相关环节，若相关环节出现工作疏漏或失误则存在造成所购买的光刻机......
上海新阳：ASML干法光刻机设备顺利交付(2021-03-09)
尚须经过装机、调试等相关环节，若相关环节出现工作疏漏或 失误则存在造成所购买的光刻机投入使用的过程较长甚至无法投入使用的风险。
光刻胶研发项目技术壁垒高、周期长、至产......
ASML 着眼未来：考虑推出通用 EUV 光刻平台，覆盖不同数值孔径(2024-05-23)
瑞利判据公式，更高的数值孔径意味着更好的光刻分辨率。
范登布林克表示，未来的 Hyper NA 光刻机将简化先进制程生产流程，规避通过 High NA 光刻机......
ASML堵了EUV光刻机的路，但国产光刻机有3大新方向(2023-02-24)
的效果。
第一条路是电子束光刻——用电子束在硅片上进行雕刻。
这条路的优点是精细，分辨率高，比EUV光刻机还要高，美国公司Zyvex Labs生产出了这样的光刻机，实现0.768nm芯片的光刻，但缺......
晶瑞股份顺利购得ASML ArF浸入式光刻机(2021-01-21)
2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。
据悉，晶瑞化学此次采购的光刻机设备为ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机，可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻......
俄罗斯首台光刻机，真的制造成功了(2024-05-26)
斯社报道，俄罗斯第一台能够生产最大350nm（行业一般说0.35μm）尺寸芯片的光刻机已经创建并正在测试中。俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在CIPR期间......
三星3nm芯片将于Q2开始量产，压力给到台积电、英特尔？(2022-04-30)
也成为欧洲最先进的芯片制造工厂。
据ASML发言人称，更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍，同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺，将极度依赖高NA EUV光刻机。
极紫......
ASML首席技术官：明年交付首台High-NA EUV光刻机(2022-09-28)
一定能真正投入生产，当前半导体光刻技术之路或已走到尽头。
众所周知，ASML是全球最大的光刻机设备厂商，2021年，ASML曾2次提高生产目标，希望到2025年，其年出货量能达到约600台DUV（深紫......
7nm 是物理极限？ 那刚发布的 1nm 是什么概念？有商业化价值吗？(2016-10-18)
年来，芯片制造技术进步放慢，摩尔定律出现失效的客观现象，对于苦苦追赶西方的中国半导体产业来说是可是一大利多。摩尔定律失效，一方面既有技术因素——先进光刻机、刻蚀机等设备以及先进芯片制造技术研发技术难度大、资金......
相关企业
;怡合瑞丰科技发展有限公司;;注册于香港，代理美国ABM公司的光刻机及其他半导体设备。可以为客户提供先进的凸点制造等封装工艺与设备
;江苏美方机电有限公司;;苏州美方机电有限公司正努力打造全球知名的仪器销售商，为我们国内精密加工企业提供全球最精密的检测仪器，同时也是三丰Mitutoyo在中国的销售服务商，我们汇聚世界
和能源是有限的，但人民的智慧是无限的，我们为社会提供精密的检测仪器，为推动科技的进步不断的努力。 三本精密量仪是全球知道的仪器销售商，我们专业代理全球最精密的检测仪器，我们汇聚世界顶级品牌，***一批
销售量也很大。公司开发了当今世界最先进的LM-FL光纤激光刻字机，它的特点是：寿命长(50,000-100,000小时)、免维护、空气冷却、体积小、重量轻和刻写特别精细。主要
;乐清市丹龙继电器有限公司;;浙江省乐清市丹龙继电器有限公司本公司地处浙江省乐清市柳市马仁桥工业区，本司系专业生产时间继电器的大型企业。有十五年的生产经验。最新型的生产流水线，最精密的调式台，最严密的
安川伺服电机及驱动、日本安川注塑机电脑控制、冷水机、自动化元器件，自动化电动直线滑台、十字双轨滑台、电磁阀、气动元件、尼康光刻机精密开关电源及风扇、花岗石平台、隔振光学平台、美国进口高压阀、东方
;苏州汶颢芯片科技有限公司;;苏州汶颢芯片科技有限公司主营微流控芯片、光刻胶、光刻机、注射泵、烘 箱、干燥箱、培养箱、烧结箱、消毒箱、试验箱、水槽、油槽、马弗炉、振（震）筛机、破碎机等。公司
;深圳市亚太电子有限公司;;我公司作为电池.电源插头.连接器的最专业的生产厂家广为电池业内人士认同,广泛用在比亚迪.华为.中兴 ,普天等公司产品上.联创小家电,以及其他汽车上.全面采用环保材料.我公司采用世界最
;成都鑫南光机械设备有限公司;;成都鑫南光机械设备有限公司专业提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机；在真空器件生产方面使用的排气设备（真空排气台）；在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢
阵列等领域。公司一直专注于为光器件行业提供最可靠、最精密的光纤基础材料。 泰科光纤研发团队由来自光学、机械、材料及计算机软件等领域，有着丰富经验的专业研发人才组成，核心