ASML 着眼未来:考虑推出通用 EUV 光刻平台,覆盖不同数值孔径

发布时间:2024-05-23  

5 月 23 日消息,据荷兰媒体 Bits&Chips 报道,ASML 顾问、前任 CTO 马丁・范登布林克(Martin van den Brink)近日称,这家光刻机制造商考虑推出一个通用 EUV 光刻平台。

范登布林克在本月 21~22 日举行的 2024 年度 imec ITF World 技术论坛上表示:

我们提出了一个长期(也许十年)的路线图:我们将拥有一个包含 Low NA(0.33NA)、High NA(0.55NA)和 Hyper NA(预计为 0.7NA 以上) EUV 系统的单一平台。

根据瑞利判据公式,更高的数值孔径意味着更好的光刻分辨率。

范登布林克表示,未来的 Hyper NA 光刻机将简化先进制程生产流程,规避通过 High NA 光刻机双重图案化实现同等精度带来的额外步骤与风险。

多种 EUV 光刻机共用一个基础平台,在降低开发成本的同时,也便于将 Hyper-NA 机台的技术改进向后移植到数值孔径更低的光刻机上。

根据此前报道,ASML 最新的 0.33NA EUV 光刻机 ——NXE:3800E 就导入了为 High NA 光刻机开发的快速载物台移动系统。

此外,ASML 还计划将其 DUV 和 EUV 光刻机的晶圆吞吐量从目前的每小时 200~300 片增加到每小时 400~500 片,从而提升单台光刻机的生产效率,在另一个侧面降低行业成本。

在演讲中范登布林克还提到:“当前人工智能的发展趋势表明,消费者对多种应用有着强烈的需求。而限制需求的因素包括能耗、计算能力和所需的海量数据集。”


文章来源于:电子工程世界    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。
服务
平台入驻

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

原厂代理商合作

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

闲置物料合作

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

生态合作

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

加工与定制类服务商合作

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

线上代理合作

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

邮件营销及广告服务

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>