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首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶，计划2024年6月投产(2024-01-19)
首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶，计划2024年6月投产;据中电二公司消息，近日，江苏首芯半导体项目生产厂房主体结构封顶仪式举行。江苏首芯半导体薄膜沉积设备研发及生产项目位于无锡江阴高新区，为集半导体前道制程薄膜沉积......
芯屏高科技产业园开园，半导体薄膜沉积设备等5项目集中签约(2023-12-04)
芯屏高科技产业园开园，半导体薄膜沉积设备等5项目集中签约;近日，蓝科·新站芯屏高科技产业园开园，现场5个入园项目集中签约、3家投资基金签订战略合作。
现场，半导体刻蚀机用陶瓷材料、半导体薄膜沉积......
总投资5亿元 衍梓智能科技薄膜沉积设备项目落户青岛(2022-04-12)
设备项目签约仪式在莱西市行政办公中心举行。
图片来源：莱西经济开发区
莱西经济开发区消息显示，该项目总投资5亿元，拥有自主核心技术，落户经济开发区领芯芯片产业园，投产后将成为该行业全国第三家、山东省首家接入芯片头部企业生产线并实现量产的半导体薄膜沉积......
原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程(2023-08-31)
原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程; 本文引用地址：
在半导体工艺中，薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于......
拓荆科技拟投资2.5亿元建设高端半导体设备产业化基地建设项目(2024-03-04)
科技已形成 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD 等薄膜设备产品系列，广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。
拓荆科技表示，公司本次新建项目通过提升公司半导体薄膜沉积设备的产能，可以......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW(2023-05-09)
(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex CW(2023-05-10)
(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是实现公司业务多元化增长的新动能。
图片注释：中微公司12英寸低压化学气相沉积......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW(2023-05-09)
自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是......
大基金持股26.48%，这家半导体设备厂商拟冲刺IPO(2021-02-20)
海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业，专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。
该公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维......
半导体专用设备商拓荆科技拟5亿设立全资子公司(2023-01-29)
）有限公司（以最终实际投资金额为准），主要围绕公司现有主营业务开展相关经营活动，从事高端半导体薄膜沉积设备的研发、生产、销售与技术服务。
拓荆科技（沈阳）有限公司经营范围包括技术服务、技术......
大基金持股26.48%，设备厂商拓荆科技科创板首发过会(2021-11-01)
。
△Source：拓荆科技公告截图
资料显示，拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀......
研究人员已经开发出新方法制造用于高级电路的柔性半导体(2023-01-09)
作者 Manish Pandey
解释说。“与传统的溶液处理相比，我们的策略可以更好地控制由此产生的半导体薄膜形态，这对电性能至关重要。”
这项工作是基于单向浮膜转移。通过......
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制(2023-08-28)
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制;据电子时报报道，随着日本对华半导体设备出口禁令于7月23日正式生效，业内普遍想知道这将对中国半导体行业产生的影响。此次出口管制共计23品类半导体......
半导体设备需求增长 拓荆科技净利1.08亿元，同比扭亏为盈(2022-08-29)
收入较上年同期增长364.87%，主要原因为，受益于国内半导体行业良好的发展态势，国内晶圆厂扩产带动半导体设备需求增长，公司作为国内半导体薄膜沉积设备主要厂商，持续保持高强度的研发投入，产品竞争力和客户认可度不断提升，销售......
5家半导体企业科创板IPO迎来新进展！(2022-04-08)
公开发行后总股本为12,647.8797万股。招商证券为其保荐机构。
拓荆科技是国内半导体薄膜沉积设备领军企业之一，也是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD. SACVD设备厂商。公司主要从事高端半导体......
募资10亿，国产设备厂商微导纳米科正式闯关科创板(2022-03-04)
电子领域的ALD设备，以及年产40套半导体领域ALD设备的生产规模。
微导纳米表示，通过募投项目的实施，将有助于公司把握下游行业发展趋势，持续升级现有产品，提高公司薄膜沉积设备的生产能力和市场占有率，促进半导体......
聚集集成电路领域，嘉芯半导体与嘉善复旦研究院达成战略合作(2023-08-18)
2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积......
中科院化学所在印刷制备单一取向有机半导体单晶阵列方面取得进展(2022-04-06)
晶体的成核和生长过程复杂，实现取向一致的有机半导体单晶阵列的图案化制备颇具挑战性。
近日，中国科学院化学研究所绿色印刷院重点实验室宋延林课题组提出了利用微观弯液面形变及沉积操控实现单一取向晶体薄膜......
先导集团半导体沉积及镀膜设备生产基地项目签约徐州(2021-06-17)
（全球领先的薄膜真空设备制造的供应商），拟建设半导体沉积及镀膜设备的国产化生产基地。项目产品包括：化合物半导体薄膜设备、MEMS薄膜设备、MDS薄膜生产线、精密光学薄膜设备、TCO镀膜设备、HIT玻璃......
普达特科技进军CVD设备领域 前期投入1.4亿元(2022-10-17)
的范围包括用于制造12吋芯片的多种先进热CVD设备，公司预期相关产品将于2024年进入商业生产阶段。
普达特科技表示，热CVD设备应用于半导体设备制造业薄膜沉积过程中，在该过程采用的产品中，发挥......
先导徐州51亿元半导体高端设备生产研发项目，预计10月投产(2022-05-13)
真空设备制造的供应商），拟建设半导体沉积及镀膜设备的国产化生产基地。产品包括：化合物半导体薄膜设备、MEMS薄膜设备、MDS薄膜生产线、精密光学薄膜设备、TCO镀膜设备、HIT玻璃镀膜设备、平板......
1.8亿！四家国产半导体设备商成立合资公司(2024-01-04)
集成电路制造前道生产线的国产设备公司。据悉，2023年上半年，微导纳米通过原有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验，成功推出了半导体集成电路薄膜沉积CVD产品，已在客户端验证。
盛美上海是一家半导体设备制造商，主要......
2家半导体企业同日登陆科创板，上市首日表现如何？(2022-04-20)
，截至今日中午收盘，拓荆科技股价报收91.24元，总市值115.4亿元。
资料显示，拓荆科技成立于2010年，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积......
设备业繁荣期冲进世界前十，ASM的ALD和EPI有何特色？(2023-01-07)
1999年就开始研制ALD设备。但由于ALD工艺对均匀度要求高，生长薄膜的速度较慢，所以成本很高，过去在半导体制造中被接受度不高。不过随着先进工艺发展对薄膜沉积质量、厚度和精度要求的提高，ALD需求......
工业大盘点的风吹到了半导体设备(2024-02-06)
上领先，盛美上海则在近年切入薄膜沉积赛道。
拓荆科技
拓荆科技前身为中科仪PECVD事业部，自其成立始便聚焦半导体薄膜沉积设备的研发生产，拥有PECVD、SACVD和ALD三大产品系列，行业......
半导体设备高光时刻来临，景气度有望拉满第三年(2022-10-08)
厂商景气度连涨两年
按照工艺流程划分，半导体设备可分为晶圆制造（前道设备）和封装、测试设备（后道设备）。
前道晶圆制造设备占据了市场80％以上的份额，设备类型主要包括薄膜沉积、光刻机、刻蚀......
半导体CVD设备国产化进行到哪步了？(2023-07-24)
半导体CVD设备国产化进行到哪步了？;近日，微导纳米发布官方消息，公司的首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货。
CVD设备需求提升
薄膜沉积分为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积......
北方华创、拓荆科技、芯源微中标上海积塔项目， 国内半导体设备市场持续升温(2022-05-12)
备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积......
在爱旭、隆基的BC类电池生产线中，他的ALD占比保持领先(2024-01-03 09:29)
在手订单同比增长244.32%。
二、主要交流问题及回复
1、目前半导体领域内的订单和趋势如何？
在半导体制造过程中，ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）等薄膜沉积......
产品应用于国内晶圆厂14nm及以上制程产线 拓荆科技叩响科创板大门！(2021-07-13)
，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个系列，已广......
比亚迪再扩大投资版图，入股嘉芯半导体(2023-07-12)
。
据当时消息，嘉芯半导体将设立6个子公司，2个事业部，主要从事刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等8寸和12寸半导体新设备开发生产及设备再制造等相关业务，产品......
总投资约3.2亿元 合肥升滕半导体正式投产(2021-10-18)
、零部件翻新及新品制造的高新技术企业。该公司主要从事产线泵、通道连接件、气体分配件、阀门、运输腔管路、制程腔体等化学气相沉积工艺设备、离子薄膜沉积工艺设备、半导体蚀刻工艺设备的关键零部件的国产化。主要......
国内半导体设备频传佳音：签单、合作…(2023-09-05)
是中车时代首次批量采购国产设备。
邑文科技成立于2011年，主营业务为半导体前道工艺设备的研发、制造，公司主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备，应用于半导体（IC及OSD）前道工艺阶段，尤其是化合物半导体......
ReRAM即将跨入3D时代(2017-07-04)
氧空缺的消失。」
用于生长和研究薄膜的实验丛集，可在真空状态下实现3D堆叠（来源：MIPT）
任何半导体研究实验室都可以建构这种独特的原子层沉积(ALD)丛集，其方式是连接PEALD和XPS腔室，然后......
应用材料停止收购日本国际电气(2021-03-30)
KKR收购。其以制造薄膜沉积设备闻名，薄膜沉积工序是在硅晶圆上添加薄膜层，以便形成电路。
封面图片来源：拍信网......
消息称苹果正测试 ALD 工艺，为下一代 iPhone Pro 镜头添加抗反射光学涂层(2024-04-16)
（Atomic layer deposition，ALD）是一种基于连续使用气相化学过程的薄膜沉积技术，将物质以单原子膜形式逐层镀在衬底表面的方法。ALD 是一种真正的纳米技术，以精确控制方式实现纳米级的超薄薄膜沉积......
东华大学在透明导电薄膜材料方面取得进展(2022-10-24 10:36)
。未来，通过使用狭缝挤压涂布法等工业化兼容的薄膜沉积法，制备具有更大面积的逐层沉积的紫外光掺杂氧化锌薄膜或将助推有机光伏市场化进程。......
盛美上海进军PECVD市场，首台PECVD设备将于几周内交付(2022-12-13)
了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。
盛美上海首席执行官王坚表示，“Ultra PmaxTM PECVD设备的推出，标志着我们在前道半导体......
太阳能发电材料技术迎来突破 浙大成果登上《自然》(2023-07-05)
成果刊登在国际顶级期刊《自然》。
有数据统计，国内市场单晶硅电池占有率超过了90%。而相比单晶硅电池，钙钛矿太阳能电池是极具发展潜力的新一代半导体光伏技术，钙钛矿光吸收率比硅高出整整一个数量级。
此外，钙钛矿是属于薄膜......
至纯科技：年底半导体设备产能将达150台(2022-10-11)
圆制造的湿法工艺设备，其产品主要应用于泛半导体、光纤、生物医药、液晶行业和汽车行业。此前，至纯科技表示，公司在12寸28纳米节点可提供全部工艺的设备。
在半导体制造设备中，一般包含光刻、刻蚀、薄膜沉积、两侧、清洗......
半导体装备巨头泛林集团开设印度工程中心 推进下一代芯片技术(2022-09-21)
产业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商之一，面向薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻胶去胶和硅片清洗提供多种产品组合，它们是互补性加工步骤，用于整个半导体制造过程中。
封面图片来源：拍信网......
国内又一批半导体产业项目上马(2024-02-02)
立垂直一体化的高端滤波器晶圆厂和滤波器及射频前端模组封测产线，晶圆厂将全部生产基于新声半导体自有先进技术的滤波器产品，项目建成后将实现年产射频滤波器芯片36亿颗。
首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶
据中电二公司消息，近日，江苏首芯半导体......
2023年最新国产半导体设备厂商名录(2023-02-21)
微电子和中科院光电所技术创新优势明显，位列前三位。作为半导体设备行业龙头，它们也是当前设备领域国产替代的主力军。北方华创一直致力于生产薄膜沉积、刻蚀两种核心工艺设备。上海微电子以光刻设备研发为核心，其专......
应用材料35亿美元收购国际电气接近终止(2021-03-23)
元授权的回购计划。
据了解，国际电气于2018年从日立国际电气独立，随后纳入了美国投资公司KKR集团旗下。国际电气以制造用于薄膜沉积的设备而闻名，该设备是在硅晶片上添加薄膜薄层以形成电路的工艺。2019年7月......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前......
佰维上市/联芸获受理...6家半导体企业IPO上市迎新进展(2022-12-30)
万元，募集资金净额为102,347.14万元。招股说明书显示，公司拟募集资金10亿元，分别用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成......
新一代化合物半导体有望在2027年大规模生产？(2024-02-28)
司还将努力把用于大规模生产的衬底直径增加到4-6英寸。通过利用Patentix的研究成果，让GeO2晶圆直径增大的同时，也有望实现缺陷更少且低成本的薄膜沉积。
值得一提的是，2023年12月，Qualtech向立......
富创精密成功登上科创板 募资总额为36.58亿元(2022-10-11)
全球为数不多的可以量产应用于7nm工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。
产品方面，富创精密主要产品应用于半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节，部分......
新一代化合物半导体有望在2027年大规模生产？(2024-02-28)
司还将努力把用于大规模生产的衬底直径增加到4-6英寸。通过利用Patentix的研究成果，让GeO2晶圆直径增大的同时，也有望实现缺陷更少且低成本的薄膜沉积。
值得一提的是，2023年12月，Qualtech向立......
中国半导体设备产业正经历“四大挑战”(2016-10-18)
产线机台验证效率较低。
厂商技术分散，未形成集聚效应：例如在薄膜沉积设备方面，中国有北方微电子、七星华创、中微半导体、拓荆、理想、中科院沈阳科学仪器研制中心等企业和研究所进行相关技术开发，表面上看，各企......
相关企业
闭状态容器内部活动多余物的检测，此产品获得过科工委科学进步奖； （二）代理国际知名品牌的半导体材料制备和分析检测设备，例如: 超高真空薄膜沉积系统;分子束外延系统；脉冲激光沉积系统；感应
塑料加工行业木材加工行业卫生消毒巴式杀毒微波炉行业食品加工行业食品技术化学实验硫化工艺工业烘干草药/香料加工木材工业陶瓷烧结工艺溶济回收相片处理薄膜蒸镀（PVD/CVD）蚀刻技术等离子清洁ECR等离子处理反应性离子蚀刻技术下游等离子技术蚀刻工艺薄膜沉积
的石英晶体膜厚控制仪,传感器。其主要产品有：SC系列石英晶片（5MHz，6MHz）,S,D,B,R系列晶振传感头(单晶,双晶,6晶,可烘烤,可调节),TM-100,TM-350,TM-400薄膜沉积监测仪,MDC-360C
;东莞市东钰电子贸易有限公司;;东钰电子贸易有限公司成立与2009年8月21日，是一家专业从事半导体行业耗材销售的贸易型公司。公司主要面对客户为半导体切割代工厂、半导体封装厂。经营半导体
;广州市伊恩埃半导体技术有限公司;;AENI等离子体电源亚太（上海/广州/香港）维修中心 www.aeni.com.cn 是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE（Advanced
设备：LPCVD、微波PCVD、光PCVD沉积设备 8、工厂环境系列：各种清洗台、无尘车间设计与施工、超净台等 昊光科技公司的系列产品在光盘母盘制造、半导体制造、芯片领域、光伏太阳能产业、光电
设备：LPCVD、微波PCVD、光PCVD沉积设备 8、工厂环境系列：各种清洗台、无尘车间设计与施工、超净台等 昊光科技公司的系列产品在光盘母盘制造、半导体制造、芯片领域、光伏太阳能产业、光电
设备：LPCVD、微波PCVD、光PCVD沉积设备 8、工厂环境系列：各种清洗台、无尘车间设计与施工、超净台等 昊光科技公司的系列产品在光盘母盘制造、半导体制造、芯片领域、光伏太阳能产业、光电
高品质的产品，先进的技术，过硬的质量和周到的技术服务，DE公司正在稳步向前发展。 十几年来，DE已成功地为国内近百家企业、高校实验室和科研院所提供了全球最先进的真空镀膜沉积设备和优质的技术服务。
高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉， 同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立