日前,全球首颗采用嵌入式RRAM(Resistive Random Access Memory,阻变存储器)存储技术AMOLED显示驱动芯片完成开发和认证。该新型嵌入式RRAM显示驱动芯片由存储器设计公司睿科微电子[1]提供技术支持,由北方华创提供刻蚀和薄膜设备及工艺解决方案。
[1]合肥睿科微电子有限公司,专注于新型存储器领域的独角兽企业,已获得多家创投机构投资。
嵌入式RRAM显示驱动芯片,突破了内置SRAM(静态随机存取存储器)+外置NOR Flash(NOR型闪存)的传统方案,显著提高补偿参数读取速度[2],降低成本和功耗,并优化空间利用,解决了显示驱动芯片行业中长期存在的生产成本高、效率低、面积大的痛点问题。嵌入式RRAM显示驱动芯片能够在保证高质量显示效果的同时,大幅提升生产效率和产品良率,为AMOLED显示/触控以及更先进显示技术提供更为高效和经济的解决方案。
不同于传统存储芯片,RRAM对芯片制造过程中的低温沉积、低损伤刻蚀等工艺提出了更严格的要求。作为国内领先的半导体设备供应商,北方华创提供了包含刻蚀、薄膜在内的关键RRAM设备及工艺解决方案。在薄膜沉积方面,北方华创eVictor系列薄膜沉积系统,在同一平台上集成多类薄膜加工腔室,单系统可实现包括基底清洁、电极沉积、阻变材料沉积工艺,显著提高生产效率,改善界面态,有效提升RRAM存储单元的性能一致性、芯片良率和可靠性;在刻蚀方面,北方华创NMC612系列设备加工能力出色,新型等离子体产生系统可保证RRAM器件低损伤,多区温控静电卡盘可实现晶圆精准温度控制,良好的控制均匀性、精准的电路图案转移、出色的反应腔内颗粒污染控制能力,可提高产品良率、延长设备维护周期、提升设备可靠性和稳定性。上述北方华创薄膜与刻蚀设备为睿科微在RRAM产品的研发与生产道路上提供了坚实的技术支撑。
展望未来,伴随MCU[3] 、BCD[4]、AI IoT(智能物联网)以及LLM(大语言模型)技术的进步,采用RRAM作为嵌入式存储的OTP(一次性可编程存储器)、MTP(多次可编程存储器)、SRAM(静态随机存取存储器)和eNVM(嵌入式非易失性存储器)已成为业界趋势,将为人工智能与机器学习、智能移动终端、可穿戴设备、车载显示系统及未来众多应用领域带来无限发展机遇[5]。
[2]信息来源:2022年IEEE VLSI技术与电路研讨会(VLSI技术和电路)
978-1-6654-9772-5,2022 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits)
[3] 微控制器单元,是集成了处理器、内存和输入/输出接口的微型计算机,广泛应用于嵌入式系统中。
[4] 双极CMOS DMOS,是混合技术集成电路,结合了双极型晶体管、CMOS(互补金属氧化物半导体)和DMOS(双扩散金属氧化物半导体)的优点,常用于功率放大器和电源管理电路。
[5] 信息来源:英飞凌官网
https://www.infineon.com/cms/en/about-infineon/press/market-news/2023/IN...
来源:北方华创