近日，据发展怀柔消息，由北京海创微芯科技有限公司牵头，联合北京赛莱克斯国际科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京中科赛微电子科技有限公司，共同组建的先进MEMS工艺设计与服务北京市工程研究中心正式获得市发改委批复。

据发展怀柔介绍，该中心针对我国MEMS工艺制造起步晚、能力不足的瓶颈问题，联合产业链上下游企业和科研院所等机构，围绕MEMS器件制造关键工艺和工程化实现的核心技术，将通过搭建先进MEMS工艺研发体系、打造中试公共服务中心、引进吸收国际先进MEMS代工技术、培养MEMS工艺和设备制造人才等路径来填补产业创新各环节间的脱节与断层，形成有效的自主创新机制，形成产品需求到能力建设再到推动行业发展的良性循环，吸引一批MEMS产品设计公司在北京聚集，以实现6寸MEMS产品中试到8寸MEMS产品量产的连贯衔接，整合各方资源协同发展北京市智能传感器千亿级产业。

组建成员中，企查查资料显示，北京赛莱克斯国际科技有限公司是赛微电子的全资子公司，北京海创微芯科技有限公司、北京中科赛微电子科技有限公司（与中科院合资）均为赛微电子的控股子公司。此外，北京北方华创微电子装备有限公司是半导体设备厂商北方华创的全资子公司。

据了解，赛微电子是MEMS芯片专业制造厂商及GaN材料及芯片厂商，其全资子公司瑞典Silex专注于MEMS芯片的工艺开发及晶圆制造，控股子公司赛莱克斯北京拥有标准化规模产能且正持续积累工艺开发经验。北方华创则是国内知名半导体设备厂商，主要产品包括刻蚀、PVD、CVD等高端半导体工艺装备及核心零部件等。

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