2017年6月14日下午，中国科学院微电子研究所与日本爱发科集团联合实验室签字仪式在中科院微电子所会议室隆重举行。中科院微电子所所长叶甜春，副所长刘新宇，处长王文武，爱发科集团代表取締役執行役員社長小日向久治，执行役員齐藤一也，室长鄒弘綱，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司总经理杨秉君等领导以及来半导体领域的各企业专家包括北京耐威科技、歌尔声学股份、中芯国际、上海华宏宏力、华润微电子、中科微机电技术、中科汉天下、华进半导体封装公司等研究者共约50多人出席并见证了签字仪式。

株式会社ULVAC是以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础，以开创精细加工工艺为追求目标的研究开发综合企业。其产品从FPD，电子半导体，太阳电池作用的真空设备到标准零部件，材料及真空镀膜等业务。目前在中国已经设立了15家公司，未来在中国的投资还会不断扩大，在以电子技术和通讯技术为首的包括能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域中，株式会社ULVAC以设备生产为中心，提供先进的真空技术产品，优质完善的服务，不断满足顾客的需求。

叶甜春所长致辞

这次成立联合实验室，双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术，在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域，针对开发主题共同实施开发，互相协助力求其实用化。双方一致认为，双方具有非常强的优势互补关系，是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室，在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作，以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

联合实验室将利用ULVAC制造 SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发，ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备，最多可以搭载八个腔室，可针对研究开发和少量生产用途，在8inch Si基板上进行沉积金属，氧化物，氮化物薄膜等先进材料，设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备，双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。

小日向久治社长致辞

联合实验室的成立，体现了爱发科集团大力推进本土化产业的战略方针。与中科院微电子所共同合作，针对中国正在大力发展的电子半导体产业，提高研发实力，加快推进前沿技术产业化，以产学研结合的模式，实施人才与科技创新双轮驱动战略，为国内的半导体企业提供技术支持、工艺验证的平台。

这次签字仪式的获得圆满成功，期待着爱发科集团与中科院微电子所合作的积极进展结果，将推动中国半导体MEMS传感器技术实现跨越式发展。