在经济逆风、消费电子需求萎靡等因素冲击下，全球半导体产业迎来挑战。与此同时，受益于国内政策力挺以及本土化替代趋势，国内半导体设备等上游赛道正保持着增长的态势。

壹
国产设备频传佳音

01
邑文科技获中车时代批量订单

9月4日，国产半导体设备企业邑文科技官微宣布，2023年8月，邑文科技产品喜获中车时代的批量订单，数量为8台，这也是中车时代首次批量采购国产设备。

邑文科技成立于2011年，主营业务为半导体前道工艺设备的研发、制造，公司主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备，应用于半导体（IC及OSD）前道工艺阶段，尤其是化合物半导体和MEMS等特色工艺领域。

02
华海清科HSC-F3400出机

9月1日，高端半导体设备供应商华海清科宣布，首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。

华海清科表示，HSC-F3400机型是面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备，其颗粒与金属污染控制系统可稳定实现超洁净清洗功能，新颖的清洗及干燥模块为晶圆正面及背面的高效率清洗提供技术保障。该机型将广泛应用于大硅片等制造领域。

此前5月，华海清科新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。12英寸超精密晶圆减薄机是业内首次实现12英寸晶圆超精密磨削和CMP全局平坦化的有机整合集成设备，Versatile-GP300量产机台可稳定实现12英寸晶圆片内磨削总厚度变化＜1um和减薄工艺全过程的稳定可控。

6月，华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目奠基。该项目位于马驹桥镇智能制造基地，由子公司华海清科（北京）科技有限公司负责，主要涉及化学机械抛光（CMP）设备、减薄机的研发和产业化。项目达产后，将具备28纳米以下先进制程CMP设备研制能力，以及每月20万片12英寸再生晶圆代工能力。

03
晶升股份与客户签订碳化硅炉设备合同

8月28日，晶升股份发布公告称，其与客户J签订了《【碳化硅炉】设备买卖合同》。合同价款合计暂估金额为1.2亿元，分三批执行，第一批次预付款支付后3-4个月交付，第二批次和第三批次的设备数量、型号、价格及交货时间以双方签订的订单为准。

对上市公司当前业绩的影响，晶升股份表示，本合同为销售合同，属于公司日常经营业务，根据其约定的履行进度，若本合同顺利履行，将会对公司 2023 年及以后年度的营业收入和净利润产生积极影响，公司将根据合同规定及收入确认原则在相应的会计期间确认收入。

资料显示，晶升股份成立于2012年2月，是一家专业从事8-12英寸半导体级单晶硅炉、6-8英寸碳化硅、砷化镓等半导体材料长晶设备及工艺开发的国家高新技术企业。

据相关信息显示，晶升股份的碳化硅单晶炉于2019年实现量产销售，目前已经拥有JSSD、SCET420、SCMP、SCR950以及SCMP/LP在内的五个系列的碳化硅单晶炉，可用于生产6~8英寸碳化硅单晶衬底，并拥有碳化硅原料合成炉、氧化铝原料提纯炉等化合物半导体制造设备。

04
凯世通签署晶圆厂新客户订单

8月13日，万业企业旗下凯世通半导体宣布，近日与一家晶圆厂新客户签署了12英寸低能大束流离子注入机销售订单。

此前1月，凯世通半导体与该重要芯片制造厂签署了近7亿元的设备订单，4月，凯世通半导体大束流离子注入机在客户工厂举行了首台move in仪式，成功向客户交付新订单的首批设备。

2020年至今，凯世通半导体已与多家12英寸集成电路制造厂主流客户签署了采购订单，累计金额超10亿元。

官方显示，凯世通半导体成立于2009年4月，是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业，主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池，新型平板显示，和半导体集成电路领域。

05
嘉芯半导体与嘉善复旦研究院合作

8月16日，万业企业旗下嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”）与嘉善复旦研究院宣布达成战略合作。

根据战略合作协议的内容，双方建立战略合作伙伴关系，就集成电路领域的科研合作、产业合作、人才交流等方面形成长期稳定的合作关系。

资料显示，嘉芯半导体于2021年4月由半导体设备上市公司万业企业携手全球产业专家共同投资成立，总投资规模达20亿元，用地面积109亩，公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等等集成电路成熟工艺的关键设备，产品范围覆盖芯片制造核心设备的多个重要品类。

据了解，自2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速热处理（RTP）设备以及双燃烧+双水洗尾气处理等多类设备。

贰
本土设备厂商溯游而上

根据全球半导体观察此前发布《半导体设备狂飙，本土厂商强势溯游而上》文章指出，2021年至今年一季度，国内设备厂商保持上涨趋势，受益于本土替代黄金契机，厂商抵抗风险能力得到增强。

根据图表，北方华创、长川科技、盛美上海、华海清科、拓荆科技、芯源微、等六家A股半导体设备公司2022年业绩同比增速上限大于100%。今年一季度业绩方面，北方华创、中微公司、晶盛机电、至纯科技、盛美上海、华海清科六家业绩同比增速上限大于100%。

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图表来源：全球半导体观察根据公开信息整理

另外，据中国电子专用设备工业协会统计，2022年，国内77家规模以上半导体设备制造商销售收入累计完成593亿元，与2021年386亿元相比，同比增长53.6%。其中，2022年前十家设备制造商完成销售收入438亿元，占77家合计收入73.9%。目前我国半导体设备及零部件企业的数量也已经超过200家。

当前，中国是全球最大的半导体设备市场，然国内本土半导体设备市场在全球市场占比率仍较低，在国内市场推动下，国内半导体设备有望步入发展快车道。

封面图片来源：拍信网