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仅次于光刻！我国突破氢离子注入核心技术 100％国产(2024-09-11)
芯片质子辐照)研发中心，完成了首批氢离子注入性能优化芯片产品客户交付。
这标志着，我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺......
我国突破氢离子注入核心技术 100％国产(2024-09-13)
性能优化芯片产品客户交付。
这标志着，我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺的全面国产替代奠定了基础。
工程师进行晶圆离子注入......
大基金二期投资这家SiC设备厂！(2022-12-07)
机研发及产业化项目，实现全系列集成电路离子注入机批量应用，产业化能力达到28nm，面向第三代半导体离子注入机实现批量销售。
由此可见，烁科中科信将成为我国实现电子元器件制造工艺......
大陆半导体设备公司发动“初”击，AIBT违约遭凯世通起诉(2021-01-07)
芯”的自主制造。在面临国产化半导体设备遭受多方掣肘的背景下，KINGSTONE持续发力攻坚，现已拥有原创的超越7纳米芯片半导体离子注入机技术，并实现我国半导体设备领域国产设备商用化重大突破。随着半导体......
Axcelis宣布：向碳化硅芯片制造商批量出货Purion Power系列离子注入机(2023-07-13)
Axcelis宣布：向碳化硅芯片制造商批量出货Purion Power系列离子注入机;7月11日，半导体离子注入解决方案供应商Axcelis Technologies，Inc.（以下......
中国科大首次研制出氧化镓垂直槽栅场效应晶体管(2023-02-28)
采用了氧气氛围退火和氮（N）离子注入工艺制备了器件的电流阻挡层，并配合栅槽刻蚀工艺研制出了不需P型掺杂技术的氧化镓垂直沟槽场效应晶体管结构。
图1(a)氧化镓垂直槽栅场效应晶体管结构示意图；(b......
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线(2021-07-09)
内外芯片制造企业提供一站式解决方案。
作为集成电路制造前道工序中的关键设备，离子注入机的研发难度仅次于光刻机。由于离子注入机对洁净度要求很高。在芯片制造过程中，通常有70多道离子注入工序，因此，这种装备的注入......
国产离子注入机未来可期，半导体设备潜力股思锐智能落子布局！(2023-08-16)
市场，但半导体自主生产率低下，仍面临依赖海外先进半导体制造设备的现状。就国内来看，离子注入机是在集成电路前道工艺设备中国产化率最低的环节之一，也因此被认为是破除高新技术壁垒、实现......
中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖(2023-07-11)
掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。据介绍，电科......
凯世通斩获三家12英寸晶圆厂离子注入机采购订单(2024-08-16)
凯世通斩获三家12英寸晶圆厂离子注入机采购订单;近日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）宣布成功斩获三家12英寸晶圆厂客户离子注入机采购订单，包括......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25 11:14)
下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺之一。2000......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
元，同比下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
亿美元，同比下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
下降1.9%，而中国大陆地区半导体设备销售额同比增长28.3%。中国对成熟节点技术表现出了强劲的需求和消费能力。
纵观全局，离子注入已成为半导体器件制备中最主要的掺杂方法，是最基础的制备工艺......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
，补全了我国半导体产业链中缺失的重要一环，为半导体离子注入设备和工艺的全面国产化奠定了基础。
据国家电投介绍，氢离子注入是半导体晶圆制造中仅次于光刻的重要环节，在集......
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造(2024-03-25)
建设高端半导体装备，SRII赋能新一代集成电路制造;
思锐智能携业界尖端的离子注入（IMP）和原子层沉积（ALD）技术亮相SEMICON China 2024，持续......
RTP快速退火炉提高SiC晶体生长质量(2024-07-08 15:02)
RTP快速退火炉提高SiC晶体生长质量;SiC器件制造过程主要包括“光刻、清洗、掺杂、蚀刻、成膜、减薄”等工艺，其中，离子注入工艺是SiC掺杂的重要步骤，以满足SiC器件耐高压、大电......
万业企业获6.58亿元离子注入机大单(2022-02-08)
万业企业获6.58亿元离子注入机大单;2月7日，万业企业发布最新公告，公司控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（以下简称“北京凯世通”）拟向重要客户出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入......
国产半导体设备新动向，离子注入等迎新局(2024-12-25)
等多个应用领域的业务范围。
图表来源：全球半导体观察根据公开信息整理
此外，业界强调，离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，离子注入设备销售额占半导体工艺......
大基金二期投资后，这家SiC设备厂获2亿大订单！(2023-01-11)
片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
烁科......
芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化(2021-03-17)
流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
图片来源：新华社
封面......
登上《Nature》，南大团队在二维半导体领域取得新突破！(2023-01-13)
对接触区域进行高浓度掺杂，通过接触与沟道界面的化学键实现欧姆接触，其接触电阻约为100Ω·μm。由于原子级厚度，二维半导体与高能离子注入工艺不兼容，需要发展全新的欧姆接触技术。与硅......
中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖(2023-06-30)
制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
消息称，电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现......
总投资超200亿，长飞先进武汉基地SiC项目首批设备搬入(2024-12-20)
搬入的设备涵盖芯片制造各个环节，包括薄膜淀积、离子注入、光刻、刻蚀等，较原定设备搬入时间大幅提前。
长飞先进总裁陈重国表示，首批设备的进驻，标志着武汉基地项目正式进入产能建设新阶段，接下来还将面临工艺......
万业企业旗下凯世通跻身“上海市集成电路设备业销售前十名”(2021-04-26)
京凯世通共获得4个集成电路离子注入机设备订单，涵盖低能大束流(重金属、超低温)、高能离子注入等工艺，同时上海凯世通超越7纳米离子注入平台已通过客户验证并取得验收。凭借离子注入......
再获近7亿采购订单，国产厂商出售多台12英寸集成电路设备(2022-02-08)
公告，万业企业控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（以下简称“北京凯世通”）于2022年1月30日和重要客户签订《采购订单》，北京凯世通向其出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入......
中国高能离子注入机核心技术难关得到突破！(2022-08-29)
机已顺利进驻国内先进集成电路大生产线。
作为集成电路芯片制造的关键设备，离子注入机设备的研制难度极大、研制基础薄弱，其应用也非常广泛，不仅可以用做大规模集成电路和器件和半导体材料的离子注入，还能......
凯世通收获重点晶圆厂客户多台重复订单(2024-06-05)
凯世通收获重点晶圆厂客户多台重复订单;6月5日，上海凯世通半导体宣布，近日公司再次获得一家12吋主流晶圆厂客户的低能大束流离子注入机复购订单。该重点客户自去年一季度起已多次向凯世通采购设备，累计......
打破国外垄断，首台国产低能离子注入机顺利完成验证(2021-08-30)
打破国外垄断，首台国产低能离子注入机顺利完成验证;在全球产能紧缺以及半导体国产化的浪潮下，国产半导体正面临前所未有的发展机遇，尤其是国产半导体设备中的离子注入机，近期好消息不断。
8月27日......
万业企业：2020年的“势”与“实”(2021-02-11)
是由凯世通研发团队潜心研究深耕的关键技术，针对集成电路离子注入机对射频电源及匹配器高效、稳定可靠要求，研制适用于集成电路设备的5KW/13.56MHz射频电源系统和匹配器样机，形成射频电源系统在离子注入机等半导体......
“一枝独秀”，国内半导体设备领域佳音频传(2023-04-23)
为国产化替代化目标加速努力中。而近期，国内部分半导体设备企业陆续传来佳音。
01
万业企业：凯世通离子注入机订单均为集成电路离子注入机
4月19日，万业企业在投资者互动平台表示，嘉芯半导体......
华海清科拟10.05亿元收购芯嵛公司82%股权(2024-12-25)
设备，相关产品已发往客户端验证。核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子......
全球再添12英寸代工厂和存储厂；NAND Flash最新排名(2022-09-05)
烁科中科信设备研发团队实现了中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全谱系离子注入机自主创新发展，大幅缩小了与国际一流水平差距。
中导光电新设备出机客户
近日，由中导光电研发制造的“纳米......
一文看懂MOS器件的发展与面临的挑战(2017-07-10)
– HCI）和栅氧化层漏电等问题。为了克服这些挑战，半导体业界不断开发出一系列的先进工艺技术，例如多晶硅栅、源漏离子注入自对准、LDD离子注入、polycide、Salicide、SRD、应变硅和HKMG......
北京烁科中科信大束流离子注入机交付(2023-02-16)
年6月17日，公司源于中国电科第48研究所，是国内唯一一家专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。公司产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束......
研制装备实现国产化，湖南半导体技术攻关取得突破(2023-07-27)
顺利通过综合验收。
报道称，“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”项目由中国电子科技集团公司第四十八研究所承担。项目突破了6英寸SiC（碳化硅）外延生长设备和高温高能离子注入机的工艺性能、产能、稳定......
这家A股厂商实现重要突破，国内半导体设备领域佳音频传(2023-05-22)
年7月投入试生产；其位于上海临港的生产和研发基地预计2023年将部分投入使用
此外，芯米半导体首台自研自创幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300已成功交付国内一线客户；北京烁科中科信碳化硅离子注入机顺利交付等都为半导体......
自主创新+产业整合，万业企业“双轮驱动”战略转型获市场高度认可(2020-12-04)
电子为代表的消费电子需求增长及供应链本土化趋势将推动产业链国产化进程。政策、资金、市场三大因素助力，国内市场迎来晶圆建厂潮，半导体设备迎来高景气度。
政策暖风下万业企业战略布局的各环节陆续取得阶段性突破。万业企业12月1日晚间发布公告，旗下凯世通集成电路离子注入......
应用材料公司全新技术助力领先的碳化硅芯片制造商，加速向200毫米晶圆转型并提升芯片性能和电源效率(2021-09-11)
去除测量、清洗和干燥于一身，可量产具有极高质量表面的均匀晶圆
热注入提升 SiC 芯片性能和电源效率
在 SiC 芯片制造期间，离子注入在材料内加入掺杂剂，以帮助支持并引导大电流电路内的电流流动。由于......
北京烁科中科信碳化硅离子注入机交付！一季度新签合同总额突破3.5亿元(2023-04-06)
北京烁科中科信碳化硅离子注入机交付！一季度新签合同总额突破3.5亿元;据“北京烁科中科信”消息，北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“北京烁科中科信”）碳化硅离子注入机顺利交付。
资料......
研发费同比增加671%，万业企业的半导体设备“王国”雏形显现(2021-04-19)
过收购扩展了企业版图。
订单量增加
2018年，万业企业收购凯世通，向集成电路转型迈出重要一步。凯世通是国内唯一覆盖集成电路光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业，其研发生产的离子注入机是半导体制造工艺......
万业企业四季度业绩暴涨：传统业务收入同比增长337%，集成电路战略转型显成效(2021-02-01)
于公司整体收入和利润提高，公司目前充裕的现金，为加快向集成电路战略转型奠定了良好的资金基础。
近年来万业企业围绕半导体设备加速国产化布局，一直持续加大对旗下离子注入机制造商凯世通在集成电路设备的支持强度。离子注入......
万业企业：2022年累计新增集成电路设备订单超6.80亿元(2022-04-11)
企业集成电路业务版块主要为三块，分别有凯世通的离子注入机设备项目、收购的CompartSystems公司、旗下的嘉芯半导体项目。
01今年年初凯世通取得6.58亿元采购订单
万业企业旗下控股子公司上海凯世通半导体......
零的突破！ENTEGRIS 成为首家在中国制造的半导体特殊材料公司(2017-08-16)
险品库房以及 20 多个电子气体包装、纯化和合成工艺中心。该工厂可在国内制造世界上最先进的半导体离子注入材料，同时也帮助当地创造了就业机会。
图：博纯......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
被添加到硅晶片中以改变其电特性。最常用的材质是硼或磷，少量加入可以分别产生p型或n型的半导体。这些材质是通过一种称为离子注入的工艺，利用离子加速，将被加速的离子注入到晶片的表面。
第四步：晶片沉积处理
在这......
凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机(2024-03-25)
凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机;近日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。
据介绍，凯世通自主研发的适用于CIS器件的低能大束流离子注入......
CSEAC 2024专题论坛九：半导体设备如何作用制造工艺(2024-10-11)
提高我们的氧化效率。
上海凯世通半导体股份有限公司副总经理张长勇发表《凯世通离子注入设备产业化进程》演讲，汇报了半导体设备的细分领域离子注入机国产化的进展情况。张长勇表示，现在在现代芯片制造工艺......
24.97亿元，万业企业实控人变更(2024-11-29)
权益变动尚需通过反垄断主管部门的经营者集中审查（如需）、相关法律法规所要求的其他可能涉及的批准或核准后，方可办理工商变更等手续。
资料显示，万业企业近年来专注于半导体集成电路设备领域，覆盖了离子注入......
碳化硅市场快速崛起，IDM和代工厂加快布局，产业链打响“最后的战役”(2023-01-24)
：“专用于 SiC 的设备的主要挑战与晶圆处理有关，此外还有多个工艺要求。” “由于宽带隙材料固有的化学物理特性，我们在制造流程中使用了一些新的设备和工艺。与通常用于硅基功率器件的工艺相比，高温外延和离子注入工艺......
中国科学家在半导体领域获突破(2024-06-11)
电路以实现三维集成技术的突破，已成为国际半导体领域积极探寻的新方向。
由于硅基晶体管的现代工艺采用单晶硅表面离子注入的方式，难以实现在一层离子注入的单晶硅上方再次生长或转移单晶硅。虽然......
相关企业
;上海财盈电子有限公司;;上海财盈电子有限公司是一家专业的无原理图芯片级电路板维修、半导体设备维修、光刻、离子注入、蚀刻、镀膜、光电、LED晶片、传感器、触控、太阳
、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 致力
到150kW，电压范围从300V到500kV。我们的产品主要应用于以下领域：X光射线管、骨密度测试、分析仪器、电泳，半导体、离子注入、平板印刷， 无损检测、X射线呈像、静电除尘、油烟净化、静电
整流组件、高压模块。 产品广泛应用于行医疗器械、静电除尘、喷涂喷塑、高频热合、 石油脱水、高压检测、 等离子注入、离子加速 、电子束焊接、 电子显微、空气净化、真空镀膜、超声清洗、高能点火、X光机
硅整流桥、高压整流组件、高压模块。 产品广泛应用于行医疗器械、静电除尘、喷涂喷塑、高频热合、 石油脱水、高压检测、 等离子注入、离子加速 、电子束焊接、 电子显微、空气净化、真空镀膜、超声清洗、高能点火、X光机
硅片用石墨垫.电子束蒸发用石墨坩埚.玻璃金属封装用石墨烧结板.拉制单晶用石墨加热器.离子注入和等离子体蚀刻用石墨部件以及拉制光纤用石墨模等）；-电火花放电加工用石墨电极；-机械用碳石墨（如机
和印度等国。、 LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉
;北京永固运通表面合金科技有限公司;;渗碳化钨处理是荣获国家发明专利（ZL01113768.1）技术开发的碳化钨-钢梯度高级耐磨材料，是碳化钨经高能离子注渗进钢基体内，形成1.2-1.5
;上海双岸电子科技有限公司;;上海双岸电子科技有限公司是一家专门从事于等离子清洗系统、半导体分析仪器、半导体封装设备及视频显微镜等领域的公司，主要是为半导体工业、电子
液晶、PCB产品、电子厂、半导体、线路板、芯片、精密仪器、医疗设备、印刷、丝印、包装、喷涂、塑胶、光学树脂镜片等行业，客户遍及全国各地的大中小型企业、高科技企业、航天工业、上市公司、外资企业、跨国