资讯
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
在封闭的反应室中进行，使用光纤和余弦校正器耦合到光谱仪，通过反应腔体中的小窗口进行观察。测量结果表明模块化光谱组件可实时获取等离子体发射光谱。通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
辉光的存在，这是一项非常实用的功能（如图4所示）。
图4：即使在低功率设置下的等离子体，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应。
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体蚀刻过程方面被证明是一种高效的技术。通过结合光谱硬件和技术，半导......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案(2023-06-27)
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言：
锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
TUV莱茵长三角运营中心二期盛大开业 助推区域一体化高质量发展(2024-08-02 09:00)
实验室测试容量相较原上海实验室扩大一倍，新增多台液相色谱三重串联质谱、气相色谱质谱、电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）等大型分析测试设备；轻工产品实验室实现机械安全、厨房用品、家具......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
测量学中使用的重要测量仪器，被广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。
光纤光谱仪应用的详细介绍：
1、发射光谱测量
发射光谱......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反，制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率，以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求，同时保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点微弱等离子体或晶圆光谱......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
组变压器冲击试验、冷却水泵带载试运、等离子体发生器拉弧均一次成功。
据介绍，新系统的成功应用，可显著提升锅炉低负荷稳燃点火能力，设备电耗降低 20％至 40%，设备重量减轻近 80%，阴阳极使用寿命周期提升 3......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
据悉......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.79%，毛利率达到44.29%。
【编辑注：根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP......
高效环保低成本！回收废锂离子电池活性材料新策略(2023-08-10)
)。由于PA溶液快速渗透到活性材料层中，Ni55层在5分钟内从Al箔上完全剥离(图2b)。有趣的是，得到的铝箔表面干净，没有任何残留的活性物质和损伤(图2c)。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测量......
复享光学显微角分辨光谱仪完成国家科技部科技成果入库(2022-09-28)
-激子强耦合、二维材料、有机发光、等离子体激光、纳米线激光、量子点、光学天线、纳米颗粒、SERS、光子芯片、LED/OLED等多学科领域。
ARMS发现光子晶体动量空间偏振新自由度
Physical......
光谱分析仪测金属元素原理(2023-04-26)
光谱分析仪测金属元素原理; 光谱分析仪的原理
光谱分析仪的分析原理是将光源辐射出的待测元素的特征光谱通过样品的蒸汽中待测元素的基态原子所吸收，由发射光谱被减弱的程度，进而......
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用(2023-03-21)
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用;国内外研究概况
LIBS（激光诱导击穿光谱）技术是上世纪60年代提出的，这是一种利用超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，再利用光谱仪对等 离子体发射光谱......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体......
大屏幕三大拼接技术之比较与分析(2024-07-30)
放电现象。气体等离子体放电产生紫外线，紫外线激发荧光屏，荧光屏发射出可见光，显示出图像。当使用涂有三原色荧光粉的荧光屏时，紫外线激发荧光屏，荧光屏发出的光则呈红、绿、蓝三原色。当每......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体......
挑战 ASML，应用材料公司重新定义了光刻和图案化市场(2023-03-13)
，半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新东西，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们......
Al和阳离子空位促进无钴层状阴极的可逆性(2024-05-06)
)。所得材料的电感耦合等离子体发射光谱(ICP)估计的成分接近其设计的化学式(表S1，支持信息)，并且Mn缺乏的设计是为了在NMA-δ中产生阳离子空位。利用高分辨率X射线衍射(XRD)数据......
使用新一代高度可调的低介电薄膜来解决串扰、隔离等制造挑战(2023-08-04)
从环栅结构内隔离层到后段介电层再到先进的光刻工艺，刻蚀选择性在许多应用中变得越来越重要。同时，等离子体对电路的损伤也越来越令人担忧。
l 那么，隔离的探索方向在哪里？
一种方向是新的沉积技术SPARC，它可......
事关光刻机！美国开发新光源：效率有望提升10倍(2025-01-08 14:03:24)
功耗分别高达1,170千瓦和1,400千瓦，高能耗来自EUV原理，也就是藉由高能激光脉冲，以每秒数万次频率蒸发锡球（约50万°C）以形成等离子体，然后发射13.5纳米波长光。这不仅需庞大雷射基础设施和冷却系统，还需......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
国际最新研究将3D NAND深孔蚀刻速度提升一倍(2025-02-07)
刻速度提高了一倍，提高了精度，为更密集、更大容量的内存存储奠定了基础。
这项研究是由来自Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校和美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室（PPPL）的科......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
等先进封装领域的薄膜沉积设备，目前北方华创的TSV刻蚀设备已广泛应用于国内主流晶圆厂和先进封装厂，是国内TSV量产线的主力机台。12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备目前已正式进入客户端验证，电容耦合等离子体、晶边......
无线移动电池充电器电路(2023-07-25)
电池充电器电路等。
无线电池充电器电路原理：
该电路主要利用互感原理工作。根据 "电感耦合 "原理，电源通过无线方式从发射器传输到接收器。
电感是导体的一种特性，在导......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
汽车线束EMC设计基本原则(2024-04-08)
的将导致车辆法规不通过、功能失效等现象，为此在整车线束设计时，要明确需遵循哪些EMC设计原则。
01 汽车线束电磁干扰机理线束间电磁干扰的耦合途径主要有公共阻抗耦合、电容耦合、电感耦合等， 整车......
欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器(2023-10-11)
帝国理工学院）
非常规的制造方法
该推进器是在伦敦帝国理工学院帝国等离子体推进实验室（Imperial Plasma Propulsion......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。”
消毒和灭菌方法
医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。
当今，大部......
光谱分析仪光源和氩气的作用(2023-04-26)
来说真正的光源应该是火花放电产生的火花，它的作用是将金属样品熔融蒸发、原子化、激发。
2.直读发射光谱的基本原理是火花源将金属样品熔融蒸发、原子化、激发，当被激发的原子或离子回到基态的时候会发射出特征光谱，各元素发射......
国产半导体设备厂商，刷新成绩单(2025-01-15)
亿元至59.5亿元，同比增长32.60%至52.60%；扣除非经常性损益后的净利润为51.2亿元至58.9亿元，同比增长42.96%至64.46%。
业绩增长主要源于新产品开发成果显著，电容耦合等离子体......
“一路前行，加速中国布局”——聚焦TESCAN与乾照光电合作签约仪式(2017-03-30)
束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
FIB是Focused Ion Beam的简......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
什么是红外辐射？红外热像仪及其工作原理(2023-01-04)
什么是红外辐射？红外热像仪及其工作原理;1800年，英国天文学家弗里德里希?威廉?赫歇尔第一次发现了红外辐射的存在。为了解不同颜色的光所产生的热量有何不同，他将太阳光用三棱镜分解成一个彩虹样的光谱......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器(2023-06-09)
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器;
【导读】作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU 300A-S/LF系列电感耦合器，该系......
普莱默推出了应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器，最新MICU 300A-S/LF系列，彻底改变了高压系统监控;
作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。
据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。
整个......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。
北方......
相关企业
,销售的上市企业，注册资本15392万，股票代码300165，主要产品包括X荧光光谱仪（XRF），电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP），气象色谱仪（GC），液相色谱仪（LC），原子荧光光谱仪（AFS
;宁波市鄞州天行健仪器有限公司;;宁波市 鄞州天行健仪器有限公司位于中国浙江省宁波市鄞州区古林镇包家工业区，宁波市 鄞州天行健仪器有限公司是一家XRF能量色散荧光光谱仪、ICP电感耦合等离子荧光光谱
;深圳市鸿瑞仪器有限公司;;深圳市鸿瑞仪器有限公司主要生产和销售ROHS环保检测仪器（XRF）（金镍镀层测厚仪）（ICP电感耦合等离子发射光谱仪）（LC液相色谱仪）（GC气相色谱仪）AA（原子吸收光谱
安全检测仪,RoHs测试仪器 ,无卤检测仪器. X荧光光谱仪、ICP等仪器。 产品包括X射线荧光光谱仪（XRF）,电感耦合等离子体发射光谱仪、原子荧光光谱仪、气相色谱仪、液相色谱等。产品
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立叶变换红外光谱
;杭州博朗科技有限公司;;专业进口，代理德国鲁克红外光谱．美国戴安的液相色谱和离子色谱．德国斯派克的荧光光谱仪和等离子发射光谱仪(ICP)．瑞士华嘉的激光粒度仪．元素分析仪．定氮仪表面张力仪等等
市分析仪器工程技术研究中心”、“江苏省昆山市重点民营企业”、“江苏省昆山市企业技术中心”、“江苏省昆山市产品质量监督检验所RoHS检测二室”等称号。 公司产品包括X射线荧光光谱仪（含能量色散和波长色散型）（XRF）、电感耦合等离子体发射光谱
-QP2010 Ultra ,X射线荧光光谱仪EDX-720 & EDX-GP ,电感耦合等离子体发射光谱仪ICPS-7510 &ICPE-9000 ,傅立叶变换红外光谱仪IRPrestige-21
）、气相色谱仪（GC）、电感耦合等离子发射光谱（ICP）、紫外分光光度计（UV）、原子吸收光谱仪（AAS）、红外光谱仪（FTIR）、X荧光检测仪（XRF）等。并拥有专业能力强、经验
元素分析仪器用的备件、耗材，如高氯酸镁、碱石棉、各类助熔剂、燃烧管、O型圈等等，可以用于美国LECO公司、德国ELTRA公司等。 11、 各类ICP等离子体发射光谱仪用的矩管、雾化器、泵管、标准溶液，可以