资讯
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案(2023-06-27)
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言：
锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
辉光的存在，这是一项非常实用的功能（如图4所示）。
图4：即使在低功率设置下的等离子体，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应。
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
在封闭的反应室中进行，使用光纤和余弦校正器耦合到光谱仪，通过反应腔体中的小窗口进行观察。测量结果表明模块化光谱组件可实时获取等离子体发射光谱。通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体蚀刻过程方面被证明是一种高效的技术。通过结合光谱硬件和技术，半导......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
测量学中使用的重要测量仪器，被广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。
光纤光谱仪应用的详细介绍：
1、发射光谱测量
发射光谱......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.79%，毛利率达到44.29%。
【编辑注：根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
业收入增长了58.5%，其中，新产品电感性等离子体ICP刻蚀机销售台数比2019年增长了100%。
封面图片来源：拍信网......
高效环保低成本！回收废锂离子电池活性材料新策略(2023-08-10)
)。由于PA溶液快速渗透到活性材料层中，Ni55层在5分钟内从Al箔上完全剥离(图2b)。有趣的是，得到的铝箔表面干净，没有任何残留的活性物质和损伤(图2c)。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测量......
光谱分析仪光源和氩气的作用(2023-04-26)
来说真正的光源应该是火花放电产生的火花，它的作用是将金属样品熔融蒸发、原子化、激发。
2.直读发射光谱的基本原理是火花源将金属样品熔融蒸发、原子化、激发，当被激发的原子或离子回到基态的时候会发射出特征光谱，各元素发射......
复享光学显微角分辨光谱仪完成国家科技部科技成果入库(2022-09-28)
-激子强耦合、二维材料、有机发光、等离子体激光、纳米线激光、量子点、光学天线、纳米颗粒、SERS、光子芯片、LED/OLED等多学科领域。
ARMS发现光子晶体动量空间偏振新自由度
Physical......
中微半导体中标华虹半导体12台刻蚀设备(2022-04-02)
来源：全国招标投标公共服务平台公告截图
资料显示，本次中标的12台刻蚀机，分别是3台钝化层刻蚀、7台氧化膜刻蚀、2台SiN刻蚀，均为等离子体刻蚀工艺。
近日，中微半导体发布2021年年......
光谱分析仪测金属元素原理(2023-04-26)
长顺序记录在感光板上，就可呈现出有规则的光谱线条，即光谱图。系借助于摄谱仪器的分光和检测装置来实现。
3、根据所得光谱图进行定性鉴定或定量分析。由于不同元素的原子结构不同，当被激发后发射光谱......
中微公司：正进行高产出的ICP刻蚀设备的研发(2021-06-02)
会在保持当前市场地位和技术竞争优势的基础上，在Mini－LED新型显示及功率器件等领域进行布局。
ICP刻蚀产品方面，中微公司称，电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，截止2020年底，公司......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
组变压器冲击试验、冷却水泵带载试运、等离子体发生器拉弧均一次成功。
据介绍，新系统的成功应用，可显著提升锅炉低负荷稳燃点火能力，设备电耗降低 20％至 40%，设备重量减轻近 80%，阴阳极使用寿命周期提升 3......
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用(2023-03-21)
LIBS煤质实时检测技术在电力行业的推广及应用;国内外研究概况
LIBS（激光诱导击穿光谱）技术是上世纪60年代提出的，这是一种利用超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，再利用光谱仪对等 离子体发射光谱......
“一路前行，加速中国布局”——聚焦TESCAN与乾照光电合作签约仪式(2017-03-30)
束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
FIB是Focused Ion Beam的简......
刻蚀设备收入增长58.49% 中微公司2020年营收22.73亿元(2021-03-31)
新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。
（2）在3D NAND芯片制造环节，其电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时......
首款基于色散分光并支持5μm波段测量的台式光谱分析仪发布(2020-01-16)
中的水汽，从而消除在特定波长产生的水汽吸收峰。其二是消除高阶衍射光的影响（高阶衍射光是所有光谱仪固有的现象，它产生一个波长比入射光的波长长两到三倍的光谱）。
主要目标用户
环境......
扩产受阻！传长江存储大砍设备采购订单：北方华创遭砍单70%！(2023-02-15)
厂商泛林集团占据超过一半的采购量。中微公司中标了50台CCP 等离子体刻蚀机；屹唐半导体中标了13台ICP 等离子体刻蚀机；北方华创则中标了24台ICP 等离子体刻蚀机。此外，北方华创还中标了2台清......
基于DLP技术的近红外光谱仪设计(2023-06-27)
基于DLP技术的近红外光谱仪设计;一、简介
近红外光谱分析是一种强大的技术，通过样品对不同波长的光的吸收或发射的变化，实现对物理材料的识别和分类。适用工作在700至2500 nm之间的波长下的手持式光谱......
透射/反射光谱测量解决方案(2023-03-27)
透射/反射光谱测量解决方案;透射/反射光谱测量是材料本身的一项重要光学特性，是光谱测量的基本手段，通常需要使用光谱仪、光源、光纤、测量支架、标准参比样品、测量软件等设备。对于不同种类的样品，为了获取更好的光谱......
浅谈成像光谱仪的原理及应用(2023-03-23)
浅谈成像光谱仪的原理及应用;成像光谱仪是20世纪80年代开始在多光谱遥感成像技术的基础上发展起来的，它以高光谱分辨率获取景物或目标的高光谱图像，在航空、航天器上进行陆地、大气、海洋......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体......
挑战 ASML，应用材料公司重新定义了光刻和图案化市场(2023-03-13)
，半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新东西，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体......
芳华十八，砥砺奋发：中微公司成立18周年(2022-08-03)
等均已在国际一线客户的集成电路加工制造及先进封装中得到批量应用。其中 ，CCP等离子体刻蚀设备产品持续保持竞争优势，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前两位； ICP刻蚀设备也在客户端取得突破性进展，2021年付......
使用新一代高度可调的低介电薄膜来解决串扰、隔离等制造挑战(2023-08-04)
从环栅结构内隔离层到后段介电层再到先进的光刻工艺，刻蚀选择性在许多应用中变得越来越重要。同时，等离子体对电路的损伤也越来越令人担忧。
l 那么，隔离的探索方向在哪里？
一种方向是新的沉积技术SPARC，它可......
清华大学电子系崔开宇等研制出国际首款实时超光谱成像芯片(2022-06-02)
清华大学电子系崔开宇等研制出国际首款实时超光谱成像芯片;近日，清华大学电子工程系黄翊东教授团队崔开宇副教授带领学生在超光谱成像芯片的研究中取得重要进展，研制出国际首款实时超光谱成像芯片，相比已有光谱检测技术实现了从单点光谱仪到超光谱......
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计(2023-06-13)
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计;1 引 言
随着空间探测技术的发展，空间的等离子体成分探测显得越来越重要，尤其对现在正在进行的深空探测，如探月计划。而空间等离子......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
汽车线束EMC设计基本原则(2024-04-08)
的将导致车辆法规不通过、功能失效等现象，为此在整车线束设计时，要明确需遵循哪些EMC设计原则。
01 汽车线束电磁干扰机理线束间电磁干扰的耦合途径主要有公共阻抗耦合、电容耦合、电感耦合等， 整车......
无线移动电池充电器电路(2023-07-25)
电池充电器电路等。
无线电池充电器电路原理：
该电路主要利用互感原理工作。根据 "电感耦合 "原理，电源通过无线方式从发射器传输到接收器。
电感是导体的一种特性，在导......
恭喜，本土厂商中微半导体杀入台积电7nm供应链(2017-07-19)
英寸的电感型等离子体 ICP 刻蚀机；此外，中微还开发了 8 英寸和 12 英寸 TSV 硅通孔刻蚀设备，不仅占有约50%的国内市场，而且已进入台湾、新加坡、日本和欧洲市场，尤其在 MEMS 领域......
光纤光谱仪的应用领域有多广泛(2023-03-23)
。在大多数应用中荧光能量仅为激发光能量的3%，波长要长于激发光，而且时散射光。在荧光测量系统中，一定要避免激发光进入到光谱仪中。
......
使用地物光谱仪进行测试时需要注意哪些问题？(2023-01-10)
使用地物光谱仪进行测试时需要注意哪些问题？;地物光谱仪可以实时测量反射、透射辐射和辐照度波谱曲线。
为了测试能够准确，在使用过程中需要注意一下事项：
1、基本要求：地物光谱仪......
欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器(2023-10-11)
帝国理工学院）
非常规的制造方法
该推进器是在伦敦帝国理工学院帝国等离子体推进实验室（Imperial Plasma Propulsion......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
与科创板共同成长，中微公司迎来上市三周年(2022-07-26)
以及更先进的集成电路加工制造及先进封装中得到批量应用，其中 CCP等离子体刻蚀设备产品持续保持竞争优势，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前两位；ICP刻蚀设备也在客户端取得突破性进展，2021年付运超过130腔，同比增长超过230%。
在......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
相关企业
,销售的上市企业，注册资本15392万，股票代码300165，主要产品包括X荧光光谱仪（XRF），电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP），气象色谱仪（GC），液相色谱仪（LC），原子荧光光谱仪（AFS
;宁波市鄞州天行健仪器有限公司;;宁波市 鄞州天行健仪器有限公司位于中国浙江省宁波市鄞州区古林镇包家工业区，宁波市 鄞州天行健仪器有限公司是一家XRF能量色散荧光光谱仪、ICP电感耦合等离子荧光光谱仪
;深圳市鸿瑞仪器有限公司;;深圳市鸿瑞仪器有限公司主要生产和销售ROHS环保检测仪器（XRF）（金镍镀层测厚仪）（ICP电感耦合等离子发射光谱仪）（LC液相色谱仪）（GC气相色谱仪）AA（原子吸收光谱仪
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立叶变换红外光谱仪
安全检测仪,RoHs测试仪器 ,无卤检测仪器. X荧光光谱仪、ICP等仪器。 产品包括X射线荧光光谱仪（XRF）,电感耦合等离子体发射光谱仪、原子荧光光谱仪、气相色谱仪、液相色谱等。产品
;杭州博朗科技有限公司;;专业进口，代理德国鲁克红外光谱．美国戴安的液相色谱和离子色谱．德国斯派克的荧光光谱仪和等离子发射光谱仪(ICP)．瑞士华嘉的激光粒度仪．元素分析仪．定氮仪表面张力仪等等
市分析仪器工程技术研究中心”、“江苏省昆山市重点民营企业”、“江苏省昆山市企业技术中心”、“江苏省昆山市产品质量监督检验所RoHS检测二室”等称号。 公司产品包括X射线荧光光谱仪（含能量色散和波长色散型）（XRF）、电感耦合等离子体发射光谱仪
-QP2010 Ultra ,X射线荧光光谱仪EDX-720 & EDX-GP ,电感耦合等离子体发射光谱仪ICPS-7510 &ICPE-9000 ,傅立叶变换红外光谱仪IRPrestige-21
）、气相色谱仪（GC）、电感耦合等离子发射光谱（ICP）、紫外分光光度计（UV）、原子吸收光谱仪（AAS）、红外光谱仪（FTIR）、X荧光检测仪（XRF）等。并拥有专业能力强、经验
元素分析仪器用的备件、耗材，如高氯酸镁、碱石棉、各类助熔剂、燃烧管、O型圈等等，可以用于美国LECO公司、德国ELTRA公司等。 11、 各类ICP等离子体发射光谱仪用的矩管、雾化器、泵管、标准溶液，可以