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全自动金刚石生长炉研发成功，晶盛机电破解“终极半导体”材料(2022-03-08)
了目前人工培育钻石过程中质量控制和规模化生产的瓶颈。
图片来源：晶盛机电
作为碳化硅、氮化镓之后具有代表性的新一代半导体材料，金刚石晶体又称钻石，被誉为“终极半导体”材料，此次金刚石晶体生长炉成功研制，标志......
产品供应华为/比亚迪等，河北一SiC晶片项目未来年产能达12万片(2022-04-27)
项目的首个试验点总投资7337.4万元，主要用于生产4英寸的碳化硅晶片。目前，已经投放使用54台单晶生长炉，年产量达到1.2万片。
此外，为进一步提高碳化硅晶片的产量，天达晶阳碳化硅晶片项目将再投资7.31亿元......
科友半导体6/8英寸碳化硅规模化生产取得重大技术突破(2023-05-15)
科友半导体6/8英寸碳化硅规模化生产取得重大技术突破;5月12日，科友半导体宣布，公司自主研发出两种不同加热方式的PVT法晶体生长炉，完成了国产自主1至4代感应炉和1至3代电阻炉的研发，形成大尺寸低成本碳化硅......
良率超 50%，全球第三大硅晶圆厂环球晶明年试产 8 英寸 SiC(2023-10-27)
兰表示客户都希望环球晶圆教书从 6 英寸到 8 英寸 SiC 量产的过渡，主要客户来自汽车领域。
环球晶圆设计并开发了专门的碳化硅晶体生长炉（Crystal Growth Furnace），增强了材料质量控制并降低了晶体生长......
碳化硅衬底又传新动态！涉及晶盛机电/天岳先进(2023-12-06)
推进第三代半导体材料国产化进程。
自2017年，晶盛机电开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发，通过研发团队的技术攻关，公司于2018年成功研发出6英寸碳化硅晶体生长炉，于2020年建......
2022年各省市重点/重大半导体项目盘点！（附项目名单汇总）(2022-05-05)
生产能力。
当时，同光科技董事长郑清超曾表示，下一步，同光正谋划建设2000台碳化硅晶体生长炉生长基地，以及年产60万片碳化硅单晶衬底加工基地，拟总投资40亿元，预计2025年末......
10万片SiC项目投产，60万片项目在路上，同光晶体拟科创板上市(2021-09-06)
单晶片生产线，产能爬坡迅速，获得多家行业标杆客户的订单。
据该公司董事长郑清超介绍，下一步，同光正谋划建设2000台碳化硅晶体生长炉生长基地和年产60万片碳化硅单晶衬底加工基地，拟总投资40亿元。到......
8英寸时代：国产碳化硅衬底如何升级？(2023-10-27)
，计划增购单晶生长炉600台，满产后达到年产10万片生产能力。
同光科技董事长郑清超当时表示，下一步，公司正谋划建设2000台碳化硅晶体生长炉生长基地，以及年产60万片碳化硅单晶衬底加工基地，拟总......
科友半导体拿下超2亿元欧洲SiC长订单(2024-03-21)
晶圆的材料端全产业链闭合。
2023年5月，科友半导体宣布，公司自主研发出两种不同加热方式的PVT法晶体生长炉，完成了国产自主1至4代感应炉和1至3代电阻炉的研发，形成大尺寸低成本碳化硅......
SiC赛道火热，比亚迪、意法半导体等传来新动态(2022-06-22)
大多数采用的是感应发热的方式。
据悉，感应发热晶体生长炉设备因其投资低、维护便利、热效率高等优点，被行业广泛使用。随着碳化硅8英寸时代的到来，坩埚的直径增长，制作中原料分解、晶体......
连城数控拟1.38亿元加码第三代半导体(2022-07-19)
设备、磨床、智能化生产线、电池片设备等。
据了解，2020年底，连城数控开始对碳化硅晶体生长炉进行研发立项，第一代机型已经成熟，第二代已经研发完成并在客户小批量测试中，现阶......
露笑科技：将有62台新长晶炉投入使用，持续加码碳化硅领域(2022-01-10)
英寸碳化硅晶体生长炉研制与销售、6英寸导电型碳化硅衬底中试线；2020年12月~2021年12月，5万片6英寸导电型碳化硅衬底片生产线。
露笑科技表示，公司预期2022年1月~2022年12月......
台湾中山大学突破6英寸碳化硅晶体生长！(2023-03-08)
台湾中山大学突破6英寸碳化硅晶体生长！;今日，据台媒报道，台湾中山大学晶体研究中心已成功长出6英寸导电型4H碳化硅单晶，中心厚度为19mm，边缘约为14mm，生长速度达到370um／hr，晶体生长......
打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力中国半导体产业高质发展(2024-03-22 15:23)
再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法(物理......
从基础到应用碳化硅晶体研制获突破(2023-01-29 10:07)
龙带领团队立足自主研发，从基础研究到应用研究，突破了生长设备、高质量碳化硅晶体生长和加工等关键技术，实现了整套技术路线的自主可控。通过多年不懈攻关，科研团队通过气相法将碳化硅晶体直径从小于10毫米不断增大到2......
碳化硅相关技术实现新突破(2024-08-22)
对浅沟槽隔离结构顶角区域处的栅氧化层的保护，增加浅沟槽隔离结构顶角区域处的栅氧化层工艺厚度，最终优化TDDB的可靠性，使得MOSFET器件拥有更高的击穿电压以及更长的可靠性寿命。
北方华创“碳化硅晶体生长装置”专利公布
天眼......
长城汽车投资同光股份 进军第三代半导体核心产业(2021-12-30)
股份的第一个扩产项目涞源工厂已投入运行。未来，同光股份还规划建设2000台碳化硅晶体生长炉生长基地和加工基地，碳化硅单晶衬底年产能将可达60万片。
长城汽车表示，此次投资同光股份，深入......
科友半导体开展“完美八英寸碳化硅籽晶”项目(2024-04-03)
关领域发表高水平文章及期刊百余篇。
科友半导体表示，通过与俄罗斯N公司的合作，科友半导体将研发获得“无微管，低位错”完美籽晶，应用品质优异的籽晶进行晶体生长，会进一步大幅降低八英寸碳化硅晶体内部的微管、位错等缺陷密度，从而提高晶体生长......
晶盛机电：已成功生长出8英寸碳化硅晶体(2022-09-02)
晶盛机电：已成功生长出8英寸碳化硅晶体;近日，晶盛机电在接受机构调研时表示，目前公司已成功生长出8英寸碳化硅晶体，并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线，实验......
第三代半导体SiC动态涌现！(2024-05-16)
第三代半导体SiC动态涌现！;近日，化合物半导体动态频频，国家标准GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》正式对外发布，并将于今年年末开始实施。另外晶升股份研发出液相法碳化硅晶体生长设备，多家碳化硅......
晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶(2021-07-22)
装备研发以及发展发展LED衬底材料，相继开发出全自动单晶生长炉、多晶铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石炉、碳化硅炉等晶体生长设备，同时开发销售晶体加工、光伏电池和组件等装备。
根据7月19日晶......
建筑面积约1.4万平方米。项目致力于打造一个引领发展、彰显特色的中国总部；一个技术、资金、创新资源集聚的中国市场总部。
汉虹二期建设工程项目，将为碳化硅晶体生长及切磨抛设备的制造、车载......
德国PVA TePla发布为中国定制的首款碳化硅生产设备“SiCN”(2024-03-29)
德国PVA TePla发布为中国定制的首款碳化硅生产设备“SiCN”;近日，在国际盛会SEMICON China 2024上，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团亮相，并向行业展示了其为中国市场定制化的碳化硅晶体生长......
科友半导体开展“完美八英寸碳化硅籽晶”项目(2024-04-08)
缺陷密度控制有着丰富的研究经验，在相关领域发表高水平文章及期刊百余篇。
签约现场合影
通过与俄罗斯N公司的合作，科友半导体将研发获得“无微管，低位错”完美籽晶，应用品质优异的籽晶进行晶体生长，会进一步大幅降低八英寸碳化硅晶体......
碳化硅技术再突破 烁科晶体、晶盛机电、露笑科技迎新进展(2022-03-04)
国内率先完成4、6、8英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底技术攻关。
晶盛机电6英寸碳化硅晶片已获得客户验证
晶盛机电近期在投资者关系活动记录表中披露，公司已组建一条从原料合成-晶体生长-切磨......
碳化硅需求激增，天岳先进、天科合达加快8英寸产能建设(2023-08-25)
二期扩产项目开工建设，总投资达8.3亿元人民币。该项目投产后，年产能可达16万片碳化硅晶圆。该公司已开发出第五代晶体生长炉，可满足6英寸、8英寸碳化硅制造需求，预计2024年底......
科友半导体碳化硅晶体厚度突破80mm(2024-05-31)
科友半导体碳化硅晶体厚度突破80mm;5月29日，科友半导体碳化硅晶体生长车间传来捷报，自主研发的电阻长晶炉再次实现突破，成功制备出多颗中心厚度超过80mm，薄点厚度超过60mm的导电型6英寸碳化硅......
碳化硅赛道“跑马圈地”，国产企业竞争力如何？(2022-08-02)
等消息不断传来。
原有的项目也在市场需求、技术提升等带动下，有了新的规划。其中，位于河北的天达晶阳碳化硅晶片项目将再投资7.31亿元，建设拥有400台套完整设备的碳化硅晶体生产线。届时，该项目4-8英寸碳化硅晶......
13.5亿元微芯长江半导体项目预计今年6月份生产(2022-04-28)
铜陵经济技术开发区消息，安徽微芯长江项目是FerroTec集团在第三代半导体领域的全新布局，项目占地100亩，新建碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间、研发中心等。项目建成达产后，预计年产碳化硅晶......
车规碳化硅功率模块 - 衬底和外延篇(2023-01-10)
粉到衬底的生产流程简图
图二 碳化硅衬底生产流程图
目前比较成熟的碳化硅晶体生长方法主要是PVT和CVD两种，它们都属于气象生长（vapor phase growth），而碳化硅型体主要是4H和6H两种......
国内6英寸、8英寸碳化硅衬底片迎来新进展(2023-11-07)
，此次签约项目总投资达21.2亿元。据晶盛机电介绍，公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺研发，相继成功开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片，是国内为数不多能供应8英寸衬底片的企业。目前，公司......
半导体设备厂商晶升装备成功登陆科创板(2023-04-24)
、半导体硅NPS晶体单晶炉研发：针对14-28nm工艺存储用抛光片单晶炉进行研发，开发适合NPS单晶生长的热场及工艺，升级控制硬件及策略，提高NPS晶体产出良率。
2、6-8英寸碳化硅......
晶格领域：公司液相法生长碳化硅晶圆项目开始试生产(2021-04-08)
年产值6亿元。其中，项目一期投资5000万元，租赁厂房1050平方米，建设4—6英寸液相法碳化硅晶体生长中试线。
据了解，晶格领域于2020年06月注册成立，注册资本2000万元，其主营业务为碳化硅......
车规碳化硅功率模块——衬底和外延篇(2023-01-10)
衬底生产流程图
目前比较成熟的碳化硅晶体生长方法主要是PVT和CVD两种，它们都属于气象生长（vapor phase growth），而碳化硅型体主要是4H和6H两种。
图三 碳化硅晶体生长方式
首先我们来看看晶体的生长......
南砂晶圆：补齐广东碳化硅晶片产业链衬底关键一环(2022-12-19)
器件的成本中，衬底、外延、模块分别占比46%、23%、20%，晶体生长及衬底加工环节占据了接近一半。王垚浩介绍，目前产品成本控制和产能扩大的制约主要在于人才短缺。碳化硅晶片虽然在衬底、外延片、封测......
宾夕法尼亚州立大学与安森美签署谅解备忘录以推动碳化硅研究(2023-05-17)
法尼亚州立大学则拥有世界一流的纳米制造厂和表征设施，可用于支持对半导体及其他技术中使用的薄膜、碳化硅和其他材料进行研究。安森美与宾夕法尼亚州立大学之间的这些互补能力将为研发带来重大帮助。”
宾夕法尼亚州立大学有着出色的科研能力，是安森美推进硅晶体生长......
科友半导体产出直径超过8英寸碳化硅单晶(2022-12-29)
表面光滑无缺陷，最大直径超过204mm。
这是科友半导体于今年十月在六吋碳化硅晶体厚度上实现40mm突破后，在碳化硅晶体生长尺寸上取得的又一次极具历史意义的重大突破。
在碳化硅......
晶盛机电宣布成功研发出8英寸N型SiC晶体(2022-08-16)
研发上取得的重大突破。不但成功解决了8英寸碳化硅晶体生长过程中温场不均、晶体开裂、气相原料分布等难点问题，同时还破解了碳化硅器件成本中衬底占比过高的难题，为大尺寸碳化硅衬底广泛应用打下基础。
资料......
晶盛机电：拟57亿定增加码碳化硅、半导体设备(2021-10-26)
石三大主要半导体材料设备生产商。在硅材料领域，公司开发出了应用于光伏和集成电路领域两大产业的系列关键设备，包括全自动晶体生长设备（直拉单晶生长炉、区熔单晶炉）、晶体加工设备（单晶硅滚磨机、截断机、开方机、金刚线切片机等）、晶片......
企业密集发力资本市场，6家半导体厂商开启IPO上市计划(2022-03-25)
台碳化硅晶体生长炉生长基地和年产60万片碳化硅单晶衬底加工基地，拟总投资40亿元。到2025年末实现满产运营后。
江苏富乐华半导体
2月18日，华泰......
总投资8．3亿元，天科合达碳化硅晶片二期扩产项目封顶(2024-01-03 14:05)
总投资8．3亿元，天科合达碳化硅晶片二期扩产项目封顶;据金龙湖发布官微消息，近日，天科合达碳化硅晶片二期扩产项目全面封顶。据悉，天科合达碳化硅晶片二期项目由江苏天科合达半导体有限公司投资建设，总投......
总投资50亿元，晶盛机电碳化硅衬底晶片生产项目落户银川(2022-02-28)
机电近期在投资者关系活动记录表中披露，公司已组建一条从原料合成-晶体生长-切磨抛加工的中试产线，6英寸碳化硅晶片已获得客户验证。截至2022年2月7日，客户A已与公司形成采购意向，2022年-2025年公司将优先向其提供碳化硅......
5.2亿！天科合达加码碳化硅设备(2024-09-18)
科合达本次摘牌的地块位于北方芯谷新建区，计划建设碳化硅单晶生长炉、高温CVD真空炉等装备研发制造生产基地和半导体设备高温零部件碳化物涂层等终端产品生产基地。项目预计明年初开工建设，年底前投入使用。
作为全球碳化硅......
江苏天科合达碳化硅晶片二期扩产项目预计6月投产(2024-05-08 14:49)
江苏天科合达碳化硅晶片二期扩产项目预计6月投产;目前，江苏天科合达碳化硅晶片二期扩产项目机电安装工作已进入后期收尾阶段。相关负责人称，后续重要工作将是吊顶完成，各系统的追位、调试，以及......
江苏天科合达碳化硅晶片二期扩产项目预计6月投产(2024-05-09)
标准化厂房、危化库、固体库等设施。计划购置安装单晶生长炉及配套设备合计647台（套），新建碳化硅晶片衬底制备生产线，达产后可实现年产碳化硅衬底16万片。此次二期扩产项目投产后，天科合达徐州基地碳化硅晶......
安徽微芯长江半导体项目建设工程竣工 深入布局碳化硅领域(2021-11-29)
圆片项目建设工程竣工仪式。
据悉，该项目是FerroTec集团在第三代半导体领域的全新布局，项目总投资13.5亿元，占地100亩，新建碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间、研发中心等。项目建成达产后，预计年产碳化硅晶......
徐州天科合达碳化硅晶片二期扩产项目封顶(2024-01-02)
徐州天科合达碳化硅晶片二期扩产项目封顶;12月28日，徐州经开区天科合达碳化硅晶片二期扩产项目全面封顶。
金龙湖发布消息显示，天科合达碳化硅晶......
哈尔滨科友半导体“8英寸碳化硅长晶设备及工艺”通过中国电子学会科技成果鉴定(2023-02-17)
表面光滑无缺陷，最大直径超过204mm。这是科友半导体继去年10月在6英寸碳化硅晶体厚度上实现40mm突破后，在碳化硅晶体生长尺寸和衬底尺寸上取得的又一次极具历史意义的重大突破。
哈尔......
8英寸碳化硅时代钟声渐近，国内第三代半导体领域再添喜讯(2022-08-17)
研发上取得的重大突破。
这不但成功解决了8英寸SiC晶体生长过程中温场不均、晶体开裂、气相原料分布等难点问题，同时还破解了SiC器件成本中衬底占比过高的难题，为大尺寸SiC衬底广泛应用打下基础。
8英寸碳化硅......
消息称英飞凌或在欧洲自行生产碳化硅晶体，以求供应稳定(2023-06-29)
息人士称，英飞凌很可能未来在欧洲自行生产碳化硅晶体，以求供应稳定。
碳化硅晶锭的生长、切割一直是业内公认的难题，全球仅有少数几家公司拥有大尺寸碳化硅晶......
相关企业
;山东天岳先进材料科技有限公司;;山东天岳先进材料科技有限公司是专业从事蓝宝石和碳化硅单晶生长加工的高新技术企业。公司的主要产品有2-6英寸蓝宝石和2-4英寸碳化硅单晶衬底，其产
;富阳精密仪器销售部;;富阳精密仪器厂是电桥、电感箱、电位差计、分压箱、电阻箱、电容箱、检流计、传感器、电源、标准电池、石英管微波等离子发生装置、多功能真实实验装置、程控气氛管式炉、程控晶体生长炉
;浙江宏业新能源有限公司;;浙江宏业新能源有限公司是晶体生长设备、硅晶体、太阳能组件等产品专业生产加工的私营有限责任公司,公司总部设在浙江省台州市温岭市新河镇机械工业园区,浙江
、SR92、SR93、SR94、SR23，程序调节器MR13（三 回路）、FP93、FP23（单双回路）等。适用在半导体制造，各种工业电炉、真空炉，塑料加工设备等行业广泛应用。晶体生长设备：晶体生长
;山东晶艺光电器材有限公司;;本公司专业培育高质量、大口径磷酸二氘钾（DKDP或KD*P）电光晶体。晶体生长培育系统工艺新颖，晶体产量稳定，产品质量受到欧、美国家客户好评。KD*P晶体
路）、FP93、FP23（单双回路）温控仪 岛通SHIMAX温控仪表：MAC3系列，MAC50系列等 相调压调功器：TAC16P、TAC03i、TAC60i、TAC35P 晶体生长设备：晶体生长
;唐山德意陶瓷制造有限公司;;唐山恒通碳化硅有限公司（唐山德意陶瓷制造有限公司）成立于 2000 年 10 月 1 日，位于唐山市高新技术开发区。公司是由多名青年科技专家投资兴建，集科
;常州市天龙光电设备有限公司;;常州市天龙光电设备有限公司，由常州市孟河制药化工机械厂（江苏高新技术企业）与江苏华盛天龙光电设备股份有限公司合作成立的合资公司。主要生产单晶硅晶体生长炉体、多晶
;江苏环能硅碳陶瓷有限公司;;泰州市环能硅碳棒制造有限公司是一家专业生产碳化硅制品企业，公司致力于研发高性能硅碳棒及碳化硅陶瓷，并与高等科研所合作开发新型高温电热元件，是一
;淄博兴德碳化硅有限公司;;本公司目前致力于开发｜磁性材料炉用推板 碳化硅莫来石结合新型耐火材料