资讯
中企被限制后，多个芯片巨头开始蠢蠢欲动(2022-12-22)
巨头ASML也不例外，因为这次被加入实体清单的还有我国光刻机厂商上海微电子，自然国产光刻机研发也会受到影响。
ASML目前在光刻机领域优势很大，独家垄断了EUV光刻机，占据......
国产光刻机巨头，更新上市进展？(2023-11-13)
国产光刻机巨头，更新上市进展？;近日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE，简称 “上海微电子”）IPO动态消息震动产业界，概念股乘势而起，那么实际情况究竟如何？
并未......
国产光刻机最大的希望！上海微电子上市最新进展(2023-11-15)
有报道称，上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破，预计在2023年年底向市场交付国产的第一台SSA/800-10W设备。
上海微电子的第一大股东是上海电气控股集团有限公司，持股......
俄罗斯要建 10 台超级计算机，还要自研光刻机?(2023-10-11)
得堡彼得大帝理工大学(SPbPU
)的专家表示，已经开发了两套用于生产微电子纳米结构的装置，解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题已成为可能。
据悉，第一台用于无掩模纳米光刻的设备用于在基板上获得图像，而不......
新技术加持，国产光刻机有望获得新突破(2016-12-12)
，国产光刻机技术上与之差距太大，根本无法在高端市场上参与竞争，严重制约了我国微电子信息工业的发展。根据媒体报道，近年来我国每年集成电路产品进口金额与每年原油进口金额大致相当，每年已经超过2000亿美......
(2023.3.20)半导体周要闻-莫大康(2023-03-20)
再努力出货，供应客户是长江存储（复购）、合肥长鑫、燕东微及青島芯恩，每台约9000万人民币。上海微SWEE目前每年的出货能力是6-7台。
现阶段90纳米光刻机的另部件国产化率已达70-80%，基本......
(2023.3.20)半导体周要闻－莫大康(2023-03-22)
再努力出货，供应客户是长江存储（复购）、合肥长鑫、燕东微及青島芯恩，每台约9000万人民币。上海微SWEE目前每年的出货能力是6-7台。
现阶段90纳米光刻机的另部件国产化率已达70-80%，基本......
国产半导体设备公司预计年底交付28nm制程光刻机(2023-08-03)
半导体行业分析师张宏周二对《环球时报》表示，上海微电子装备集团（以下简称，上海微电子）一直致力于研发 浸没式光刻机，预计首台国产 SSA/800-10W 光刻机将于 2023 年底交付。
这将......
上海微电子推出新一代先进封装光刻机，首台将于年内交付(2021-09-22)
上海微电子推出新一代先进封装光刻机，首台将于年内交付;据上海微电子装备集团消息，9月18日，上微举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。
图片来源：上海微电子......
上海微电子装备注册资金变更，增资52.6%(2023-09-11)
人民币变更为26612.41万元人民币，增长52.63%。
资料显示，上海微电子装备主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，是我国极少数具有光刻机整机集成研发......
华中科技大学团队成功研发计算光刻EDA软件(2022-11-30)
1998年获工学博士学位。
2002年，刘世元在学院派遣下，作为最早的几个技术骨干之一，加盟上海微电子装备有限公司（SMEE），承担国家863重大专项——“100nm光刻机”研制任务，为总......
2023年最新国产半导体设备厂商名录(2023-02-21)
和中科院光电所技术创新优势明显，位列前三位。作为半导体设备行业龙头，它们也是当前设备领域国产替代的主力军。北方华创一直致力于生产薄膜沉积、刻蚀两种核心工艺设备。上海微电子以光刻设备研发为核心，其专利布局主要集中于光刻机......
华中科技大学机械学院刘世元教授团队成功研发计算光刻EDA软件(2022-11-30 14:23)
工学博士学位。2002年，从英国访学归国后不久，刘世元在学院派遣下，作为最早的几个技术骨干之一，加盟上海微电子装备有限公司(SMEE)，承担国家863重大专项——“100nm光刻机”研制任务，为总体组成员、控制......
最近申请的一项光刻装置专利到底是什么呢？公开图纸，我们也造不出来？(2022-11-28)
上游最为核心设备分别为光学镜头、光学光源和双工件台。
上海微电子装备股份有限公司曾披露，将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机。但是，到现在也没人见过这台国产光刻机，主要原因可能就是上海微电子......
成本几十万，俄罗斯也要自研“光刻机”？(2023-10-10)
使“解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题”成为可能。引用大学代表的话写道——该设备综合体包括用于无掩模纳米光刻和硅等离子体化学蚀刻的设备。
第一种安装用于在基板上获得图像，而不使用特殊的掩模。据开......
俄罗斯：2024年将制造350nm光刻机(2023-11-06)
俄罗斯：2024年将制造350nm光刻机;根据俄罗斯媒体报道指出，俄罗斯本身正在研发生产芯片的光刻机。其工业和贸易部副部长Vasily Shpak在接受媒体访问时指出，2024年将开始生产350纳米光刻机......
俄罗斯正在开发可替代光刻机的芯片制造工具？(2023-10-10)
于蚀刻生产无掩模芯片，这将有助于俄罗斯在微电子领域技术领域获得主动权。
该设备综合体包括用于无掩模纳米光刻和等离子体化学蚀刻的设备，其中一种工具的成本为500万卢布（约36.7万元人民币），另一......
俄罗斯媒体：中国在微芯片竞争中逐渐赶上(2023-08-08)
俄罗斯媒体：中国在微芯片竞争中逐渐赶上;俄罗斯《消息报》8月7日文章，原题：重大成就：中国在微芯片竞争中逐渐赶上 据中国媒体报道，上海微电子有望年底前推出28纳米浸没式光刻机。尽管中国的新光刻机......
华为禁令起效，手机经销商却疯狂“恰”烂钱(2020-09-15)
购了ASML的EUV光刻机，这也使得这两家代工厂也受美国的管制。
当前，我国的科研机构和企业正针对光刻机积极研发和投入，代表企业/机构有上海微电装备、中电科45/48所、成都光机所等。其中，上海微电子......
持股4.76%，哈勃科技投资科益虹源(2021-06-04)
亦庄此前报道，作为北京亦庄开发区光刻机零部件技术创新中心建设的牵头单位，科益虹源自主研发的光刻用准分子激光系统打破了美国和日本的长期垄断地位。
国家财经周刊曾发文称，上海微电子将在2021年交付的28nm光刻机......
传华为徐直军跳槽国产光刻机大厂？多方表态(2021-02-01)
传华为徐直军跳槽国产光刻机大厂？多方表态;
截图自网络
若将上述两则消息联系起来，可以得到一个初步推断——“华为轮值董事长徐直军跳槽到上海微电子”。与此同时，业内还有“小道消息”称：“经国......
芯源微：前道涂胶显影机可与ASML等光刻机联机应用(2021-01-08)
芯源微：前道涂胶显影机可与ASML等光刻机联机应用;近日，芯源微披露投资者关系活动记录表指出，公司前道涂胶显影机与国际光刻机联机的技术问题已经攻克并通过验证，可以与包括ASML、佳能等国际品牌以及国内的上海微电子......
年产1100吨光刻材料，这个光刻胶项目即将投产(2021-03-23)
大UBC大学等高校科研机构合作建设了光刻材料研发实验室，成功研发出世界最先进的193纳米光刻胶单体并实现规模化生产，成为中国唯一的高端光刻胶单体材料研发和规模化生产企业。
此外，为助......
俄罗斯正在开发可替代光刻机的芯片制造工具(2023-10-10)
俄罗斯正在开发可替代光刻机的芯片制造工具;近期，国际新闻通讯社报道，在开发可以替代的工具。据悉，圣彼得堡理工大学的研究人员开发出了一种“光刻复合体”，可用于蚀刻生产无掩模芯片，这将有助于在微电子......
ASML持续布局中国，又一台光刻机进入中国工厂(2022-12-29)
是半导体芯片的核心生产部件，是芯片制造流程过程中非常重要的一项核心设备，被称为人类工业皇冠上的“明珠”。
全球光刻机行业的大佬有荷兰的ASML、日本佳能和尼康等，在国产化的浪潮下，如上海微电子......
国产光刻机巨头拟A股上市(2023-11-15)
国产光刻机巨头拟A股上市;近日，中信建投披露关于上海微电子装备（集团）股份有限公司首次公开发行股票并上市辅导工作进展情况报告（第十期），指出上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子......
DUV光刻机遭进一步限制，中国仍有破局之路(2023-01-30)
将甚至远超台积电。
此外，Patel还认为光刻胶和光刻机关键零部件目前并无出口限制，这也是一个重大的漏洞，如果目标是遏制中国在前沿节点上的能力，也必须阻止这些工具的流通，关键供应商很容易被上海微电子等本土光刻机......
“中国芯片标准”发布第6天，国产4纳米芯片传来好消息，这太快了(2022-12-22)
我们提到了已经具备了4纳米的先进封装技术，而在先进封装光刻机上，上海微电子已经做到了自研自产，所以在小芯片这个全新的赛道上，我们已经做到了全部的国产化，而且属于全球的领先水平。
不得不说，这一切太快了，标准的出现将会加速小芯片设计企业的研发......
一场“国产光刻机”的奇葩说(2022-12-29)
专家组都说了：‘该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。’这里......
工业大盘点的风吹到了半导体设备(2024-02-06)
预计将募集资金约50亿元，主要用于28nm浸润式光刻机项目、先进封装光刻机项目、光刻机关键零部件项目等。此外，上海微电子与全球多家优秀的企业和机构建立了紧密的合作关系，共同推进光刻机的核心零部件和技术的研发......
成本几十万元，俄罗斯自研光刻机又突破了？(2023-10-11)
成本几十万元，俄罗斯自研光刻机又突破了？;假期期间，俄媒CNews报道称，圣彼得堡已开发出两个用于生产微电子纳米结构的装置，可能解决俄罗斯在微电子领域方向的主权问题，包括两个设备，一个是在基板上进行无掩模的光刻......
重磅！华为进军光刻胶领域，深圳哈勃投资徐州博康(2021-08-11)
所建立了校企联盟，与复旦大学、加拿大UBC大学等高校科研机构合作建设了光刻材料研发实验室，成功研发出世界最先进的193纳米光刻胶单体并实现规模化生产，成为中国唯一的高端光刻胶单体材料研发......
北方华创、拓荆科技、芯源微中标上海积塔项目， 国内半导体设备市场持续升温(2022-05-12)
洗设备都是由北方华创供应的，此外还部分采用了北方华创与成都莱普科技的热处理设备，上海微电子装备和中科飞测的测量设备。
而统计今年至今招标平台信息可知，上海积塔半导体今年招标工艺设备超150台，值得注意的是，今年......
全球光刻机市场竞争加剧，ASML财报引发关注...(2024-10-26)
氪（KrF）以及i线三种波长的光刻机，扩展产品线并追赶竞争对手。
10月22日尼康宣布，公司正在研发一款面向半导体先进封装工艺应用、“兼具高分辨率及高生产性能”的1.0微米（即1000纳米）分辨率数字光刻机......
半导体设备和材料供应商盘点︱产业链专题(2023-01-02)
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半导体前端设备
光刻
中国大陆：
上海微电子......
清华大学科研团队新成果：有望为EUV光刻光源提供新技术路线(2021-02-26)
成电路芯片制造中最复杂和关键的工艺步骤。光刻机的曝光分辨率与波长直接相关，半个多世纪以来，光刻机光源的波长不断缩小，芯片工业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为13.5纳米光源的EUV（极紫外光源）光刻......
国产光刻机获重大突破，ASML如何应对？(2023-10-19)
必须在真空环境中传输，机械精确度要达到皮秒级，光学透镜平整度达到皮米级。
中国开展了光刻机自主研发，2000年开始，我国团队参观ASML，遭到嘲笑。2007年上海微电子制造出首台国产光刻机，ASML态度......
晶圆代工厂商疯抢光刻机设备！(2023-11-22)
市场高度集中，全球掌握该技术的只有少数几家企业，其中荷兰ASML是全球最大的光刻机企业，也是全球最先进的光刻机企业，此外，尼康、佳能、上海微电子装备等公司亦在积极布局光刻机领域。
而用于曝光半导体的极紫外光刻......
ASML：EUV光刻机已近极限 追赶技术还是另辟蹊径？(2024-06-07)
也有订购。但是由于技术本身和生态系统的复杂性，ASML 认为在可预见的未来，其EUV技术领域不会面临来自中国光刻设备公司上海微电子（SMEE）或华为的竞争。
根据数据显示，ASML先进的标准型EUV光刻机......
纳米压印光刻，能让国产绕过 ASML 吗(2023-03-20)
国内起步晚，但在纳米压印光刻的研发上也存在诸多玩家，其中不乏科研机构和公司，包括复旦大学、北京大学、南京大学、吉林大学、西安交通大学、上海交通大学、苏州大学、华中科技大学、中科院北京纳米......
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清(2023-09-20)
国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清;近期，一则“7纳米光刻机实现国产化”消息在业界刷屏，消息指出清华大学EUV项目实现了光刻机国产化，并表示该项目已在雄安新区落地。
对此，9月18日中国电子......
ASML与三星签署备忘录，预计共同在韩国建立研究中心(2023-12-13)
ASML与三星签署备忘录，预计共同在韩国建立研究中心;光刻机大厂ASML宣布，与韩国三星电子签署备忘录，将共同投资1万亿韩元在韩国建立研究中心，并将利用下一代极紫外（EUV）光刻机研......
半导体设备高光时刻来临，景气度有望拉满第三年(2022-10-08)
过科创板上市委会议，这意味着其距离上市又进了一步；上海微电子则专攻光刻机，其技术在中低端领域已达相对较领先水平，产品已实现90nm制程覆盖。
在众多设备领域中，光刻机......
国际光刻机大厂ASML上交亮眼财报！(2024-01-25)
工艺技术之后的制程节点。
去年12月，ASML宣布，与韩国三星电子签署备忘录，将共同投资1万亿韩元在韩国建立研究中心，并将利用下一代极紫外（EUV）光刻机研究先进半导体制程技术。 据消......
全球芯片正在破局...(2024-07-15)
绍，该光刻胶可通过添加感应受体实现不同的传感功能。为了实现高灵敏光电探测功能，团队在光刻胶材料中负载了具有光伏效应的核壳结构纳米粒子。光照下，纳米光伏粒子产生光生载流子，电子被内核捕获，产生......
集成电路产业规模达2500亿，上海：14nm先进工艺实现规模量产(2022-09-15)
联动”，先进工艺产能、核心芯片能级、关键设备和基础材料配套支撑能力不断提升，14纳米先进工艺规模实现量产，90纳米光刻机、5纳米刻蚀机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等实现突破。
吴金......
EUV光刻机争夺战打响，国产光刻技术难题有何解？(2021-01-29)
EUV没有直接联系的工序数也会增加。
国内设备厂芯源微日前表示，公司前道涂胶显影机与国际光刻机联机的技术问题已经攻克并通过验证，可以与包括ASML、佳能等国际品牌，以及上海微电子（SMEE）的光刻机......
ASML今年下定了几个决心(2022-11-29)
。
首先是中国的国产替代逐渐成长，ASML担心自己的市场被抢。在后道光刻机产品中，上海微电子的光刻机产品，在国内的市场占有率达到了80%，全球也拥有接近40%的市场。
中国芯片制造企业以现有的DUV......
国产半导体设备，又“爆单”(2024-09-05)
为主导。近年来，上海微电子 、北方华创、盛美上海、精测电子、中科飞测、中微公司、芯源微、屹唐半导体等国产设备商正在加速弯道超车。我国半导体设备国产化率已在逐步提高，虽在光刻机、量测检测设备、离子......
美国与荷兰日本达成“最强”对华限制协议？将倒逼中国自研半导体设备(2023-02-02)
的技术难度和成本高筑进入壁垒。
中国在不断的研究新技术，以期在光刻机上有突破，从而实现先进光刻机的独立自主，最终摆脱对ASML的依赖。
如今上海微电子已经成功研发出第一台国产28纳米DUV光刻机，且已......
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