资讯
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
组变压器冲击试验、冷却水泵带载试运、等离子体发生器拉弧均一次成功。
据介绍，新系统的成功应用，可显著提升锅炉低负荷稳燃点火能力，设备电耗降低 20％至 40%，设备重量减轻近 80%，阴阳极使用寿命周期提升 3......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
，大多数OES系统仅能覆盖紫外至可见波段，因为这是关键反应发生的波段，例如氧气峰值产生或损失的终点检测。
而在实际应用场景中，近红外波段的信号也非常重要。因为在低功率条件下，等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
辉光的存在，这是一项非常实用的功能（如图4所示）。
图4：即使在低功率设置下的等离子体，HR6光谱仪在＞700 nm波段也有较强的光谱响应。
总结
光谱学方法在测量等离子体发射光谱和监测等离子体......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，基于Ocean HDX光谱仪的模块化光谱设置用于监测引入不同气体和纳米颗粒后氩等离子体发射光谱的变化。测量......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
的研究小组成功测量了新观察到的由“表面等离子体激元”（SPP）在沉积在基板上的金属薄膜中引起的热传递，用于 世界上还是第一次。
钛（TI）薄膜热导率测量原理及钛薄膜上表面等离子体激元热导率测量原理示意图。 图片来源：韩国......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录;第122254次实验！4月12日21时，中国有“人造太阳”之称的全超导托卡马克核聚变实验装置（EAST）创造新的世界纪录，成功实现稳态高约束模式等离子体......
带负离子的高速吹风筒方案(2024-02-21)
在生活及医学界得以广泛应用。
二)负离子发生器工作原理
负离子发生器原理是通过脉冲振荡电路，将低电压通过高压模块升压为直流负高压，经过碳素纤维尖端不断产生负直流高电晕，高速的发射出大量的电子（e......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
晶圆旋转）在实验设计期间是变化的。图2a-f 显示了在不同的晶圆倾角和等离子体入射角度分布值下，电容和空气间隙的体积如何跟随刻蚀深度发生变化。随着刻蚀深度的增加，产生的空气间隙也变大（图2d）。因为......
TDK 推出紧凑型冷等离子发生器CeraPlas HF(2018-11-14)
TDK 推出紧凑型冷等离子发生器CeraPlas HF;TDK株式会社推出紧凑型冷等离子发生器CeraPlas HF。该元件采用PZT（锆钛酸铅）陶瓷材料以及塑料封装外壳，尺寸仅为47.3 mm x......
核心部件完成首件制造，中国“人造太阳”迎来高光时刻！(2022-12-02)
之所以能够持续发光发热，是因为时刻发生着核聚变反应。托卡马克是进行可控核聚变研究的主流装置，利用强磁场把上亿摄氏度的等离子体长时间控制在真空容器里，并使聚变反应稳定持续地进行。由于它产生能量的原理与太阳相似，也被......
TDK 紧凑型冷式等离子发生器 CeraPlas HF(2019-03-27)
TDK 紧凑型冷式等离子发生器 CeraPlas HF;TDK 株式会社（东京证券交易所代码：6762）推出紧凑型冷等离子发生器 CeraPlas™HF。该元件采用 PZT（锆钛酸铅）陶瓷......
疫情当下，TDK电子CeraPlas知多少？(2020-03-16)
疫情当下，TDK电子CeraPlas知多少？;目前新冠肺炎接触性传染的特性，让消毒设备设施变得尤为重要。TDK的紧凑型冷等离子发生器CeraPlas™HF可用于设备消毒和伤口处理、消毒柜、医疗......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线;4月6日消息，中微公司举行了2020年度业绩说明会。会上，中微公司董事长、总经理尹志尧表示，公司的等离子体......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前它推出的等离子体......
一场“国产光刻机”的奇葩说(2022-12-29)
波长会被极大地压缩，而压缩的比例取决于材料的电磁性质等参数。
（来源见水印）
这就意味着，利用表面等离子体波进行光刻时，从原理......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
可控核聚变的未来谈论，是否能成为我们未来的能源，第一部分(2023-02-09)
以解释为半个世纪的失败，而且确实如此。但在如此严峻的情况下，很难不抱最好的希望，追求融合力量的可能性。坦率地说，最近在融合方面有很多令人鼓舞的发展。
聚变反应堆的几个重要运行参数之一是将等离子体......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎是不可能的。相反，制造商专注于晶圆质量、可重复性和整体良率，以及提高产能。目标是满足对智能电子产品不断增长的需求，同时保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点微弱等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
EUV光刻究竟难在哪里？看完本文你就明白了(2016-11-18)
工作原理
所有的关键就是它的“源”，基于激光等离子体的EUV“源”包括几个部分，当中有二氧化碳laser，通过它给“源”提供能量，在实际使用中会被放置到Fab的地......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器(2023-10-11)
帝国理工学院）
非常规的制造方法
该推进器是在伦敦帝国理工学院帝国等离子体推进实验室（Imperial Plasma Propulsion......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
什么是可控核聚变？可控核聚变到底处于什么水平呢?(2023-01-05)
年开始在VC圈火爆的可控核聚变，一时间又成了科技圈的当红领域——无论是科技创业者，还是风险投资人，都在为这一消息一键三连。用德国马克斯·普朗克等离子体物理研究所的核聚变专家Thomas
Klinger在1......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。
据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。
整个......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。
北方......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
分子“手提钻”利用振动撕裂癌细胞，对实验室培养的人类黑色素瘤细胞疗效达99%(2023-12-27)
厘米，而用来激活纳米钻的可见光的穿透深度仅为半厘米。
这种“手提钻”其实是氨基花青分子，是一类用于医学成像的荧光合成染料。研究发现，该分子的原子在受到近红外光刺激时可一致振动，形成等离子体，从而......
基于Genesis gm5020芯片的等离子彩电的设计(2023-06-28)
基于Genesis gm5020芯片的等离子彩电的设计;摘要：gm5020是加拿大genesis公司为液晶显示器和其它点阵显示器产生的高度集成的图像处理芯片，介绍了该芯片的特点、功能、原理。并利......
Gallium Semiconductor推出首款ISM CW放大器，扩大产品组合(2023-09-19)
Transistor，HEMT）。GTH2e-2425300P可为各类工业、科学和医学（ISM）应用带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave......
华为、哈工大联手：基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布(2023-11-21)
公布。
专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域。
该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2......
村田稳定、长效的负离子／活氧发生器助力智能家电厂商打造未来健康生活空间(2023-04-20 15:33)
村田稳定、长效的负离子／活氧发生器助力智能家电厂商打造未来健康生活空间;随着现代生活水平的提高和健康意识的增强，消费者对家居生活的要求也越来越高，保持家庭、办公室以及平常所用设备、用具的清洁、干净......
村田稳定、长效的负离子/活氧发生器助力智能家电厂商打造未来健康生活空间(2023-04-20)
村田稳定、长效的负离子/活氧发生器助力智能家电厂商打造未来健康生活空间;随着现代生活水平的提高和健康意识的增强，消费者对家居生活的要求也越来越高，保持家庭、办公室以及平常所用设备、用具的清洁、干净......
可控核聚变的未来谈论，核聚变仍需要克服哪些挑战？(2023-02-09)
是你需要在中心部分做的事情，以使聚变反应发生。所以就存在挑战，好吧，等离子体是尴尬和混乱的，如果你曾经见过的话。所以我也做了很多关于北极光的工作，很漂亮。但这是另一种等离子体。如果你看过任何图像，尤其......
中微公司南昌生产研发基地项目正式建成，并投入使用(2023-07-10)
MOCVD设备主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产，同年其设备订单超100腔，并入选江西省科技成果转化十大典型案例。
中微公司开发的等离子体......
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计(2023-06-13)
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计;1 引 言
随着空间探测技术的发展，空间的等离子体成分探测显得越来越重要，尤其对现在正在进行的深空探测，如探月计划。而空间等离子......
中微公司推出12英寸薄膜沉积设备，已导入客户端进行生产线核准(2023-05-11)
已顺利导入客户端进行生产线核准。
中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。据悉，中微公司的等离子体......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
物和氮化物等材料。
第五步：蚀刻
从晶片表面去除部分材质，以产生电子元件所需的形状和结构。可以使用多种技术来进行蚀刻，包括湿式蚀刻、干式蚀刻和等离子蚀刻。这些工艺使用化学物质或等离子体......
中微半导体中标华虹半导体12台刻蚀设备(2022-04-02)
来源：全国招标投标公共服务平台公告截图
资料显示，本次中标的12台刻蚀机，分别是3台钝化层刻蚀、7台氧化膜刻蚀、2台SiN刻蚀，均为等离子体刻蚀工艺。
近日，中微半导体发布2021年年......
《流浪地球2》里的“硬科技”，科学家们这样说……(2023-01-28)
发动机依靠重核聚变产生的巨大能量。长期研究核聚变能源的中科院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所副研究员王腾介绍，核聚变反应是将两个原子核重新结合，生成一个较重的原子核的过程，其间能够产生巨大的能量，“利用......
中微公司在针对美商科林研发提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉(2023-07-11)
制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们......
相关企业
;郑州中仁臭氧技术服务有限公司;;郑州中仁臭氧技术有限公司，是依托郑州大学射频与等离子体实验室、解放军信息工程大学等院校平台组建起来的。公司以等离子体超临界电场窄隙放电产生高浓度臭氧发生器
;中岛野春科技（深圳）有限公司;;深圳市中岛野春科技有限公司系中外合作经营企业，专业研发、制造及销售高压电源、环保小家电等产品及配件。其主要产品有：负离子发生器、正负离子发生器、等离子发生器、臭氧发生器
;郑州臭氧消毒机（臭氧机、臭氧发生器）中仁研发中心;;郑州中仁臭氧技术有限公司，是在郑州中仁工贸有限公司的基础上，依托郑州大学射频与等离子体实验室、解放军信息工程大学等院校平台组建起来的。公司以等离子体超临界电场窄隙放电产生高浓度臭氧发生器
;等离子体所;;
;广州市伊恩埃半导体技术有限公司;;AENI等离子体电源亚太（上海/广州/香港）维修中心 www.aeni.com.cn 是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE（Advanced
隔离装置环流器，水负载，水冷却单元波导接头及各种弯头、磁控管头手动调谐器，自动微波调谐器、微波泄露测量设备等规格齐全，并提供长期质保。 产品应用行业： 微波等离子体CVD设备 高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD
;厦门胜凌电子有限公司;;厦门胜凌电子有限公司是集研发、 生产和销售为一体的高科技电子产品制造企业，创立于2010年3月，位于中国厦门同安工业集中区思明园180号。公司主营产品为负离子发生器、等离子发生器
２ 低温等离子体陶瓷臭氧发生器件 ５０毫克／小时－４４００毫克／小时３臭氧气水动态混合器４０吨／小时８０吨
和推广于一体高科技企业，面向等离子体设备制造公司。公司密切注视国内外等离子处理高新技术发展趋势，结合国内生产的实际情况，在行业内形成了独特的优势。 公司拥有多名专业博士、硕士从事低温及常压等离子
;宁波市江北胜源电子科支有限公司;;宁波市江北胜源电子科技有限公司，是一家集自主设计、研发、全套生产能力的有限责任公司，成立于02年。长期专注于环保事业的发展，多年来一直进行着等离子体