资讯
国内又一批半导体新军，蓄势待发(2024-11-29)
大学成立智能学部，聚集高端芯片及数字化设计等方向
11月25日，安徽大学智能学部成立大会召开。新成立的智能学部汇聚了人工智能学院、电气工程与自动化学院、计算机科学与技术学院、大数据与统计学院、集成......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
电，人类有望实现能源自由。
但要造出能实用的“人造太阳”，需要上亿摄氏度的等离子体、超过千秒的连续运行时间和1兆安的等离子体电流，挑战极大。为此，全球科学家们已努力70多年。
形如“巨炉”，一腔......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
它们产生微弱的、难以分辨的光谱特征和更紧密排列的峰值。解决方案海洋光学与半导体行业领先的设备供应商合作，共同推进终点检测技术。我们定制了光谱仪（Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
的研究小组成功测量了新观察到的由“表面等离子体激元”（SPP）在沉积在基板上的金属薄膜中引起的热传递，用于 世界上还是第一次。
钛（TI）薄膜热导率测量原理及钛薄膜上表面等离子体激元热导率测量原理示意图。 图片来源：韩国科学技术......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理;你知道《蝙蝠侠》中的大反派冰冻先生用来"冰冻"敌人的冷冻射线枪吗？弗吉尼亚大学的一位教授认为，他可能已经知道如何在现实生活中制造一把这样的枪了。这一发现令人惊讶地基于发热等离子体......
科研进展：囚禁离子量子比特的非厄米量子热机研究(2023-03-14)
科研进展：囚禁离子量子比特的非厄米量子热机研究;
近日,中国科学院精密测量科学与技术创新研究院冯芒研究团队与广州工业技术研究院、日本理化学所和美国宾州州立大学等单位合作,在国......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
。量子科学技术研究开发机构的资料显示，JT-60SA是目前世界上最大的超导托卡马克核聚变反应堆，10月23日在试验运行时首次产生了核聚变必需的等离子体。
JT-60SA计划......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。本文引用地址：
实验配置：
实验采用光学发射光谱（OES）方法，分别使用紫外波段的ST微型光谱仪、通用......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。
实验配置：
实验......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
给客户一个包罗万象的工具箱，为客户提供做出创新仪器的全套工具模块，客户用这个工具箱可以在半导体等领域进行自己的开发，实现自己的创新理念。”蚀刻终点监测：等离子体检测系统在半导体行业 , 晶圆是用光刻技术制造和操作的。其中......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%;据国家能源集团消息，最新一代 DLZ-HV-200 型高效等离子体点火及稳燃系统近日在国家能源集团江西神华九江发电公司 2 号机......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案;海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子......
可控核聚变的未来谈论，是否能成为我们未来的能源，第一部分(2023-02-09)
和这些机器的知识，这些机器可以用来控制等离子体并实现聚变。所以我们现在处于科学相当成熟的阶段。现在，这并不是说一切都解决了；还有一些我们不知道的事情和我们需要努力的事情。但科学是成熟的。所以......
Gallium Semiconductor推出首款ISM CW放大器，扩大产品组合(2023-09-19)
Transistor，HEMT）。GTH2e-2425300P可为各类工业、科学和医学（ISM）应用带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave......
分子“手提钻”利用振动撕裂癌细胞，对实验室培养的人类黑色素瘤细胞疗效达99%(2023-12-27)
厘米，而用来激活纳米钻的可见光的穿透深度仅为半厘米。
这种“手提钻”其实是氨基花青分子，是一类用于医学成像的荧光合成染料。研究发现，该分子的原子在受到近红外光刺激时可一致振动，形成等离子体，从而......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
据悉......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前它推出的等离子体......
核心部件完成首件制造，中国“人造太阳”迎来高光时刻！(2022-12-02)
人们形象地称为“人造太阳”。
作为中方参与ITER计划的重要技术支撑单位，西南物理研究院承担了中国ITER采购包中绝大部分涉核部件的研制任务。增强热负荷第一壁直接面对芯部一亿度高温等离子体，是ITER......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
应腔交付客户庆祝仪式。
据介绍，Primo nanova®是中微公司于2018年正式发布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备。该设备采用了中微公司具有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀技术，目前......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。”
消毒和灭菌方法
医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。
当今，大部分对医疗仪器灭菌的常见技术......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
传感器
实验过程：
在等离子体形成条件和流场响应机制的基础上，可以明确影响放电稳定性和等离子体风速测试技术性能的主要参数包括：激励装置的电参数、电极间距、电极宽度、电极材料、气体的成分及其热力学参数。以上......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
着中微公司在半导体领域中扩展了全新的工艺应用。
万业企业旗下凯世通半导体：离子注入机基本自主可控！
近日，万业企业旗下凯世通半导体与国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所等达成战略合作，通过......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
微公司针对先进的工艺节点与生产线的各种关键应用，基于电感耦合（ICP）技术研发的12英寸刻蚀设备，适用于先进的逻辑芯片、DRAM存储芯片以及3D NAND存储芯片的刻蚀。
中微公司开发的等离子体......
芳华十八，砥砺奋发：中微公司成立18周年(2022-08-03)
发明专利达993项；2021年，中微公司发明专利“等离子体处理装置及调节基片边缘制程速率的方法”更荣获我国专利界的最高奖项——第二十二届中国专利金奖，书写了创新实力与研发实力新篇章。
铁肩承担社会责任，科学......
国产半导体设备，传来新消息(2024-11-12)
刻蚀方法，在一等离子体处理腔内进行。据悉，该发明还提供一种等离子体刻蚀装置。北方华创方面，则公布了一项“工艺气体喷嘴及半导体工艺腔室”专利，申请公布号为CN118792637A。该此方案能解决相关技术......
什么是可控核聚变？可控核聚变到底处于什么水平呢?(2023-01-05)
装置平台。2022年，HL-2M装置创造了国内等离子体运行新纪录，等离子体电流达到115百万安培，意味着该装置未来可以在超过1兆安培的等离子体电流下常规运行，开展前沿科学研究，对我国深度参与ITER实验......
刚刚！赵海军辞任中芯国际执行董事职务，吴汉明院士出任独立非执行董事(2022-08-12)
刻蚀机研发。创建了设计 IP 核技术公共平台，支持芯片制造产业链协同发展。建立的非平衡态低温等离子体混合模型 / 整体模型作为教案被世界著名大学教科书采用。担任 973 项目首席科学......
复享光学显微角分辨光谱仪完成国家科技部科技成果入库(2022-09-28)
取光子材料色散关系，实现光学性质“全面表征”的必要装备。其中，近红外波段 ARMS 具有更强的技术新颖性，能够为相关科学研究的快速突破带来帮助。
ARMS 广泛适用于光子晶体、表面等离子体、超构材料、微腔光子材料、光......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
华创称，这标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上实现了新的突破，也为北方华创进军12英寸介质薄膜设备领域，打开百亿级市场迈出了坚实的一步。
北方华创表示，Orion Proxima作为北方华创推出的国产自研高密度等离子体......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
华为、哈工大联手：基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布(2023-11-21)
公布。
专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域。
该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
所有成功公司所追求的目标。本文引用地址：该系统主要设计用于实时监控和分析生产过程，目前能够自动管理等离子体均匀性。
据DigiTimes报道，随着时间的推移，计划在2030年之前使其工厂实现全，摆脱对人力的依赖。
整个......
1.8亿！四家国产半导体设备商成立合资公司(2024-01-04)
纳米均持股27.7624%，盛美上海持股16.6574%。
资料显示，拓荆科技主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子......
《流浪地球2》里的“硬科技”，科学家们这样说……(2023-01-28)
发动机依靠重核聚变产生的巨大能量。长期研究核聚变能源的中科院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所副研究员王腾介绍，核聚变反应是将两个原子核重新结合，生成一个较重的原子核的过程，其间能够产生巨大的能量，“利用......
一场“国产光刻机”的奇葩说(2022-12-29)
们要弄懂什么是牛？
目前来说，牛就是这件设备能彻底帮助国产芯片。而我们能靠此实现吗？显然暂时还不行。其实早在十几年前，国际上开始对表面等离子体（surface plasma......
可控核聚变的未来谈论，核聚变仍需要克服哪些挑战？(2023-02-09)
是你需要在中心部分做的事情，以使聚变反应发生。所以就存在挑战，好吧，等离子体是尴尬和混乱的，如果你曾经见过的话。所以我也做了很多关于北极光的工作，很漂亮。但这是另一种等离子体。如果你看过任何图像，尤其......
“薄膜生长”国产实验装置在武汉验收(2023-10-27)
空环形机械手”将衬底转运至功能不同的腔体，实现衬底的预处理、薄膜生长、等离子体清洗等过程。......
中国中车/东莞天域/闻泰科技等近15个半导体项目迎新进展(2023-03-24)
，是一家专门从事等离子体技术应用的半导体设备公司。公司的主要产品包括等离子体去胶机，等离子体刻蚀机（第三代半导体行业用）,等离子体清洗机，产品线广泛应用于硅基芯片制造、化合物芯片制造、LED芯片......
Gallium Semiconductor推出首款ISM CW放大器，扩大产品组合(2023-09-20 10:12)
带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave plasma chemical vapour deposition，MPCVD）设备......
GaN新技术可使散热能力提高2倍以上(2024-01-04)
基站、气象雷达、卫星通信、微波加热、等离子体处理等领域，该研究成果已发表在“Small”杂志上。本文引用地址：随着半导体技术不断发展，功率密度和散热等问题日益凸显，业界......
GaN新技术可使散热能力提高2倍以上(2024-01-04)
应用于5G通信基站、气象雷达、卫星通信、微波加热、等离子体处理等领域，该研究成果已发表在“Small”杂志上。
随着半导体技术不断发展，功率密度和散热等问题日益凸显，业界......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
内的能量大小一直是需要考虑的最重要因素之一。本文引用地址：
本文列出了常见电弧事件的电气特性，描述了可重复测得的方法，提供了一些利用先进等离子体电源通用特性来减少电弧发生时传输到工艺中量的技术......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
物和氮化物等材料。
第五步：蚀刻
从晶片表面去除部分材质，以产生电子元件所需的形状和结构。可以使用多种技术来进行蚀刻，包括湿式蚀刻、干式蚀刻和等离子蚀刻。这些工艺使用化学物质或等离子体......
中微公司南昌生产研发基地项目正式建成，并投入使用(2023-07-10)
MOCVD设备主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产，同年其设备订单超100腔，并入选江西省科技成果转化十大典型案例。
中微公司开发的等离子体......
相关企业
;广州市伊恩埃半导体技术有限公司;;AENI等离子体电源亚太（上海/广州/香港）维修中心 www.aeni.com.cn 是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE（Advanced
;等离子体所;;
和推广于一体高科技企业，面向等离子体设备制造公司。公司密切注视国内外等离子处理高新技术发展趋势，结合国内生产的实际情况，在行业内形成了独特的优势。 公司拥有多名专业博士、硕士从事低温及常压等离子表面处理技术
;陕西师大;;教学专业：应用电子技术、电子信息科学与技术
产业的发展，推进中科院合肥物质科学研究院等离子体所在国家重点大科学工程（俗称“人造小太阳”）ESAT建设过程中所形成的先进技术与科技成果的转化，支持部分长期从事产业化工作的技术
;成都纽曼和瑞微波技术有限公司;;成都纽曼和瑞微波技术有限公司（和瑞）是一家专业从事微波能和微波等离子体应用技术科研，开发和生产的股份制民营高科技企业。和瑞拥有一支集高频，微波和等离子体技术、电气自控技术
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立
客户想到，超乎期待做到，提高品牌含金量； 经营范围 ◆ 等离子体电源维修及保养； ◆ 各种新旧电源和设备的回收及销售； ◆ 为相关电源的使用、安装提供技术支持和服务； ◆ 电源、设备附件销售； 公司
完善的售后服务得到广大客户的一致好评和认可，目前已成为国内同行业知名的设备供应商之一。 公司主要从事等离子体清洗刻蚀处理设备的研发和生产，生产的设备广泛用于LCD，PCB，微电子，连接器等行业。公司目前已***了一批国内最早从事等离子体处理设备生产研发的专业技术
隔离装置环流器，水负载，水冷却单元波导接头及各种弯头、磁控管头手动调谐器，自动微波调谐器、微波泄露测量设备等规格齐全，并提供长期质保。 产品应用行业： 微波等离子体CVD设备 高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD