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EV集团为EVG®850 NANOCLEAVE™系统采用革命性的层转移技术，实现批量生产(2023-12-13)
EV集团为EVG®850 NANOCLEAVE™系统采用革命性的层转移技术，实现批量生产;
2023年12月13日，奥地利圣弗洛里安——为微机电系统（MEMS）、纳米技术......
中芯国际2016年营收29亿美元，90nm工艺是营收主力(2017-03-28)
控制器集成电路（「TCIC」）、指纹传感器、摄像头芯片（「CIS」）及微机电系统传感器（「MEMS」）。该等应用是移动计算市场、持续增长的汽车电子市场及日益增长的物联网市场的根本构件。
中芯......
武汉高德微机电与传感工研院项目开工建设，总投资额12.2亿元(2022-09-26)
与传感工业研究院（一期）项目总建筑面积约8万平方米，项目总投资额12.2亿元，建成后将成为行业先进技术研发、技术产品化和企业孵化平台，以微机电系统带动物联网、智慧城市发展，打造微机电系统......
北大教授：后摩尔时代，集成电路技术的4个发展方向(2022-05-19)
成电路进入2纳米技术代时，每平方毫米的硅片上可容纳3.3亿个晶体管。
将不同功能的芯片通过系统集成和三维封装等方式组合，以满足集成电路多功能应用需求。如将不同工艺、不同材料、不同功能的数字电路、存储......
真空技术赋能微观材料科技，推动诸多领域发展未来可期(2023-05-10)
层沉积设备已在新能源动力电池正极材料的包覆，半导体集成电路产业，微机电系统和其他纳米技术应用提供了广阔的应用平台。
MICRO-LED提升了显示技术
从显像管到LED，显示......
你真的了解中芯国际？(2017-02-11)
，优化成本结构和安全性能。
公司提供微机电系统(MEMS)传感的技术平台
公司还提供微机电系统(MEMS)传感器技术平台，能够打造集射频、基带、微处理器、嵌入式闪存、微机电系统传感器于一体的单芯片系统......
比亚迪入股MEMS陀螺仪供应商深迪半导体(2023-12-26)
合伙）、绍兴市柯桥区智城数智五号创业投资合伙企业（有限合伙）等股东，企业注册资本也从1707.2427万美元变更为1825.8303万美元。
官网资料显示，深迪半导体成立于2008年，是中国首家研发设计商用消费级和汽车级微机电系统......
留美MEMS博士阿Hong与你畅聊：MEMS设计、制作和应用 【直播|技术分享】(2016-12-22)
工艺及超净间流片实例
D. DC & RF测试
4. 近期部分MEMS科研主题
【嘉宾简介】
阿Hong，知乎专栏微机电系统（MEMS）作者，留美在读MEMS博士，主攻射频、可植......
英国Pickering公司推出新款基于MEMS（微机电系统）的射频开关模块(2023-06-26)
移动服务、卫星通讯和雷达）的商用MEMS组件。“Pickering多年来一直在密切关注MEMS（微机电系统）技术，”Pickering Interfaces的开关产品经理Steve Edwards说。“Menlo......
长飞光学与半导体石英元器件研发与产业化等项目开工(2023-09-18)
研究院西区(一期）项目将建设微机电系统设计、工艺、集成的开放性研发平台。
联特科技光电集成中心项目建设光电集成设备制造和科技平台、先进光电集成实验室及相关配套设施。
现代......
这些集成电路，免进口税！(2021-03-29)
传感、微机电系统、绝缘体上硅工艺）集成电路生产企业，进口国内不能生产或性能不能满足需求的自用生产性（含研发用，下同）原材料、消耗品，净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备（包括......
USound发布高性能ASIC线性音频放大器，提高真无线立体声装置、助听器和智能眼镜的电池寿命(2022-10-25 14:42)
电流仅0.9 mA，延长了可听戴设备和可穿戴设备的播放时间。USound是面向可听戴和可穿戴设备提供基于微机电系统(MEMS)技术的音频解决方案的领先供应商。该公司宣布推出最新的ASIC线性......
X-FAB率先向市场推出110纳米BCD-on-SOI代工解决方案(2023-06-02)
尺寸范围从1.0µm至110nm的模块化CMOS和SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统（MEMS）长寿命工艺，为全球客户打造最高的质量标准、卓越的制造工艺和创新的解决方案。X-FAB的模......
X－FAB率先向市场推出110纳米BCD－on－SOI代工解决方案(2023-06-02 16:25)
SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统（MEMS）长寿命工艺，为全球客户打造最高的质量标准、卓越的制造工艺和创新的解决方案。X-FAB的模拟数字集成电路（混合信号IC）、传感器MEMS在德国、法国、马来......
重庆集成电路产业“十四五”规划出炉：这些12英寸半导体项目被划重点(2022-03-23)
发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统（MEMS）等产品，打造全国最大的功率半导体产业基地和集成电路特色工艺技术高地，建成特色鲜明的国家级集成电路产业集群。
1、推进特色工艺生产线建设和技术......
北方华创：12英寸CCP晶边干法刻蚀设备已在客户端实现量产(2023-09-19 11:30)
全球主要国家和地区。其中，在半导体工艺装备领域，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心工艺装备，广泛应用于逻辑器件、存储器件、先进封装、第三代半导体、半导体照明、微机电系统、新型显示、新能......
北方华创：12英寸CCP晶边干法刻蚀设备已在客户端实现量产(2023-09-18)
体照明、微机电系统、新型显示、新能源光伏、衬底材料等工艺制造过程。
在精密电子元器件领域，北方华创推动元器件向小型化、轻量化、高精密方向发展，研发的石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电......
X－FAB在制造工艺上的突破为电隔离解决方案增加CMOS集成选项(2023-11-03 10:33)
是领先的模拟/混合信号和MEMS晶圆代工集团，生产用于汽车、工业、消费、医疗和其它应用的硅晶圆。X-FAB采用尺寸范围从1.0µm至110nm的模块化CMOS和SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统......
X-FAB在制造工艺上的突破为电隔离解决方案增加CMOS集成选项(2023-11-03)
SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统（MEMS）长寿命工艺，为全球客户打造最高的质量标准、卓越的制造工艺和创新的解决方案。X-FAB的模拟数字集成电路（混合信号IC）、传感器MEMS在德国、法国......
【盘点】国产传感器芯片玩家都有谁？(2021-03-03)
的物理和化学传感器只是获取外界信号，并不具备计算和处理能力。随着制造工艺技术、尺寸和成本需求的提高，基于微机电系统(MEMS)工艺的MEMS传感器越来越流行。
在传感器广泛的应用中，值得......
Microchip日前发布了DSC6000系列微机电系统（MEMS）振荡器(2016-09-27)
Microchip日前发布了DSC6000系列微机电系统（MEMS）振荡器;Microchip Technology Inc.（美国微芯科技公司）日前发布了DSC6000系列微机电系统（MEMS......
联电28nm正式授权大陆，冲击中芯国际份额(2017-03-22)
联电28nm正式授权大陆，冲击中芯国际份额;
来源：内容来自 tehnews ，谢谢。
晶圆代工厂联电获准授权28 纳米技术予中国子公司联芯集成电路制造（厦门），联芯28 纳米......
赛微电子：控股子公司MEMS微振镜启动量产(2023-09-15)
写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）工艺为某客户制造的MEMS微振镜完成了小批量试生产阶段。
2023年9月13日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署采购订单，赛莱克斯北京开始进行MEMS微振......
X－FAB推出针对近红外应用的新一代增强性能SPAD器件(2023-11-20 14:09)
块化CMOS和SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统（MEMS）长寿命工艺，为全球客户打造最高的质量标准、卓越的制造工艺和创新的解决方案。X-FAB的模拟数字集成电路（混合信号IC）、传感器MEMS在德......
科学家开发新技术 可以大规模生产生物降解微型机器人(2022-10-21)
粒子时，过程结果可能不均匀。为了解决目前微机器人生产技术的限制，DGIST教授Hongsoo Choi的研究团队创造了一种方法，通过将磁性纳米......
赛微电子：赛莱克斯北京BAW滤波器启动量产(2023-07-17)
-Electro-MechanicalSystems的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）工艺为某客户制造的系列BAW（BulkAcousticWave,带谐振腔体声波）滤波......
发改委等五部门最新税收优惠政策发布！(2024-03-27)
、射频、功率、光电集成、图像传感、微机电系统、绝缘体上硅工艺等特色芯片制造项目，固定资产总投资额超过10亿元，规划月产能超过1万片（折合8英寸）；对于工艺线宽小于0.5微米（含）的基......
TDK的下一代超声波时间飞行传感器将拓展物联网和机器人应 用的新大众市场(2024-04-24 08:31)
制单元● MEMS：微机电系统● PMUT：压电微机械超声换能器● RVC：扫地机器人主要应用● 机器人和无人机避障● 液体分配龙头和咖啡机的液位测量● 扫地机器人的表面组成/软硬......
赛微电子：子公司MEMS-IMU通过验证并启动试产(2024-01-02)
的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）-IMU（Inertial Measurement Unit的缩写，即惯性测量单元）通过了客户验证，赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单，启动首批MEMS......
一种基于微悬臂梁的电流天平的光子力测量MEMS装置(2023-03-20)
。
图1 测量光子力的实验装置：（a）具有电信号和光信号的实验装置示意图；（b）实验装置的光学部分
纳米计量学被定义为对纳米尺度现象的定量描述，需要寻求特定的计量校准标准。为此，研究人员正在利用一系列的挠度驱动和挠度检测技术来构建精确的微机电系统......
总投资60亿元 深南电路拟投建广州封装基板生产基地(2021-06-24)
电路拥有印制电路板、封装基板及电子装联三项业务。其生产的封装基板主要分为五类，分别为存储芯片封装基板、微机电系统封装基板、射频模块封装基板、处理器芯片封装基板和高速通信封装基板等，主要应用于移动智能终端、服务......
中国电科河北MEMS传感器产业创新基地竣工揭牌(2024-02-01 10:04)
源汽车、人工智能等战略性新兴产业对MEMS核心产品的需求。建成达产后，可新增2000万只（套）/年的微机电系统（MEMS）传感器生产能力。据专家介绍，目前，中国电科研制的新能源汽车用650V-1200V......
X-FAB推出针对近红外应用的新一代增强性能SPAD器件(2023-11-19)
和其它应用的硅晶圆。X-FAB采用尺寸范围从1.0µm至110nm的模块化CMOS和SOI工艺，及其特色SiC与微机电系统（MEMS）长寿命工艺，为全球客户打造最高的质量标准、卓越......
赛微电子：控股子公司MEMS生物芯片通过验证并启动试产(2023-01-11)
-Electro-MechanicalSystems的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订单，启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。
据公......
联电：汽车业务增速快，特殊制程争第一(2022-12-28)
导体芯片的需求量将非常大，我们会根据客户的需求会强化特殊制程的竞争力，包括RF（射频）、MEMS（微机电系统）、LCD Driver IC（LCD驱动芯片）、OLED Driver IC（OLED驱动芯片）等领域，联电都会有目标性地强化技术......
“五大”要素支撑浙江千亿半导体目标，绍兴打造集成电路小镇(2022-12-29)
镇到2022年形成200亿产值，到2025年形成500亿产值，成为国家级集成电路产业园示范区。在集成电路产业制造方面，以中芯国际集成电路8英寸生产线项目为载体，大力发展以微机电系统、功率......
极低损耗、创纪录速度、安全传输，基于芯片的量子密钥分发系统制成(2023-05-30)
利米兰的CNR光子学和纳米技术研究所团队则使用飞秒激光微机械加工来制造接收器。
对于发射器，使用带有光子和电子集成电路的外部激光器可以高达2.5吉赫兹的创纪录速度准确地产生和编码光子；对于接收器，低损......
晶圆代工产业规模超过500亿美元，中芯国际成长强劲(2017-01-16)
成长率分别为31%、30%与54%。TowerJazz与X-Fab都属于利基型晶圆代工业者，主力产品为射频、类比与微机电系统(MEMS)晶圆代工。
展望未来，ICinsights看好......
奥迪威MEMS超声波传感器——AW101(2023-09-25)
航天等多个重要领域。
MEMS 压电薄膜超声换能器技术近年来开拓出较为广阔的市场化应用，但由于其技术壁垒较高、研究难度较大，仍然存在增加发展速度与提高发展水平的需要。2021年国家“十四五”规划中明确提出实现微机电系统......
汽车传感器领域新突破：村田制作所与Cadence扩大合作，共创未来(2023-12-20)
将这些数据反馈给车辆的各种控制单元。这些传感器具有一系列令人难以置信的配置，其中许多配置对安全性的要求很高。如今，传感器已经成为智能汽车系统中不可或缺的组成部分。
微机电系统（MEMS）是一种能将压力或物理运动转换为电信号的传感器，而......
半导体制造技术扬声器应用，xMEMS MEMS扬声器改变未来音频发声(2023-06-15)
优势，能够为产品提供更优的用户体验。
MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）微机电系统，指采用微电子技术（半导体制造技术），在微纳米......
如何为下一代可持续应用设计电机编码器(2023-10-26)
组件分为五个主要类别：
1. 使用磁性传感器跟踪轴的位置和速度（AMR、霍尔）
2. 机器健康监测
a. 微机电系统传感器
b.温度传感器
3. 情报
一个。带/不带集成ADC的微控制器
b.旋变......
英国Pickering公司推出新款基于MEMS（微机电系统）的射频开关模块，提供300倍的操作寿命和60倍的测试系统吞吐量(2023-06-26 15:20)
英国Pickering公司推出新款基于MEMS（微机电系统）的射频开关模块，提供300倍的操作寿命和60倍的测试系统吞吐量;与Menlo Microsystems的合作将新的开关技术引入PXI射频......
财政部等三部门印发通知 这几类集成电路企业可免税(2021-03-29)
免税情形包括：
（一）集成电路线宽小于65纳米（含,下同）的逻辑电路、存储器生产企业,以及线宽小于0.25微米的特色工艺（即模拟、数模混合、高压、射频、功率、光电集成、图像传感、微机电系统、绝缘体上硅工艺）集成......
2进2出中芯国际后，蒋尚义再战半导体“江湖”(2022-11-23)
的主要产品除了SiC功率组件外，也会辅以硅晶圆的产品如微机电系统MEMS等。
同样在2021年，鸿海集团通过新加坡子公司取得马来西亚8英寸晶圆代工厂Silterra大股东DNeX约5.03%的股......
迈铸半导体正式推出MEMS芯片级线圈产品(2023-05-05)
规格可选
支持定制任意规格
上海迈铸半导体成立于2018年，是中国科学院上海微系统与信息技术研究所孵化企业。2021年获高新技术企业称号。公司致力于晶圆级微机电......
深南电路：无锡封装基板工厂预计今年可达到满产状态(2021-05-21)
共拥有深圳2家、无锡1家封装基板工厂，其中深圳封装基板工厂主要面向MEMS微机电系统封装基板、指纹模组、射频模组等封装基板产品，工厂运营成熟，订单延续去年以来的饱满状态；无锡......
日本芯片设计商Socionext将研发3nm车用芯片(2023-10-26)
%，相同性能下功耗降低32%。因此3纳米技术PPA改善，对将来电动汽车用SoC研发至关重要。
Socionext是一家无晶圆厂芯片设计企业（Fabless），由富士通和松下之前的系统LSI业务......
泛林集团发布Syndion GP，满足芯片制造商对先进功率器件的需求(2021-12-09)
功率器件都选用直径200mm的硅晶圆；不过为了满足不断增长的需求，生产正在逐步转移至300mm晶圆。
Syndion GP解决方案基于泛林集团行业领先的深硅刻蚀技术，并衍生出一系列特种技术产品。特种技术产品是指功率器件、微机电系统......
智芯MEMS智能传感器芯片生产制造项目签约安徽蚌埠(2021-11-03)
绍，北京智芯成立于2012年，是一家微机电系统（MEMS）压力传感器芯片、模组及行业解决方案提供商。该公司专注于工业、医疗、消费类电子的压力传感器研发生产，以北......
相关企业
;矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司;;矽翔微机电系统有限公司-成立于2003年，-矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片
;大华科技有限公司;;机电系统及电机智能控制
;苏州特尔纳米技术有限公司;;
站在时代的前沿，致力于纳米技术的开发与利用。天河公司已通过ISO9001、2000国际质量体系认证，并通过国家质量技术监督总局12365防伪查询系统。公司组建了自己的研发队伍，汇集了数名纳米
站在时代的前沿，致力于纳米技术的开发与利用。天河公司已通过ISO9001、2000国际质量体系认证，并通过国家质量技术监督总局12365防伪查询系统。公司组建了自己的研发队伍，汇集了数名纳米行业专家、教授，斥巨
站在时代的前沿，致力于纳米技术的开发与利用。天河公司已通过ISO9001、2000国际质量体系认证，并通过国家质量技术监督总局12365防伪查询系统。公司组建了自己的研发队伍，汇集了数名纳米行业专家、教授
有限公司和成大化工公司共同投资组建的沪台合资企业，其目标是研究开发绿色环保技术，拓展高新科技成果，倡导纳米技术和功能型材料为“普通人”服务的理念，引领和开拓中国的纳米事业，成为出色的世界级参与者。泉耀
;山东正元纳米抗菌远红外材料工程有限公司;;山东正元纳米材料工程有限公司,纳米技术是纳米（10-9m）尺度上的工程学。纳米材料是八十年代末发展起来的新材料领域。科技界认为，纳米技术
;永康驰翔工贸有限公司;;纳米杯,纳米能量杯,纳米功能杯子,纳米产品以电气石为主要原料，融合高新纳米技术为特点的新一代保健护具（部分产品己获得国家专利）。工厂推出OEM加工和小单批发服务，满足了不同层次客户的需求。
;成都市谱奥环保科技有限责任公司;;主要从事室内空气的专业治理,采用纳米技术的新型环保产品