资讯
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
TUV莱茵长三角运营中心二期盛大开业 助推区域一体化高质量发展(2024-08-02 09:00)
实验室测试容量相较原上海实验室扩大一倍，新增多台液相色谱三重串联质谱、气相色谱质谱、电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）等大型分析测试设备；轻工产品实验室实现机械安全、厨房用品、家具......
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案(2023-06-27)
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言：
锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
在封闭的反应室中进行，使用光纤和余弦校正器耦合到光谱仪，通过反应腔体中的小窗口进行观察。测量结果表明模块化光谱组件可实时获取等离子体发射光谱。通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;摘要：海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升
海洋光学（Ocean Optics）长期......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。本文引用地址：
实验配置：
实验采用光学发射光谱（OES）方法，分别使用紫外波段的ST微型光谱仪、通用......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
保持生产成本和价格竞争力。
我们的观点
微弱等离子体或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
或晶圆光谱的快速分析有助于完善蚀刻工艺参数，同时提高晶圆质量。基于光谱仪的等离子体测量与强大的软件相结合，可以说明等离子体、腔室和视口条件的变化状态，并对来自深蚀刻或薄设计特征的最微弱信号敏感。光谱有助于使终点检测更加精确，从而......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
端高温高压的环境下发生引力约束核聚变反应。
而在地球上，实现可控核聚变主要有磁约束核聚变和激光惯性约束核聚变两种方式。激光惯性约束核聚变是采用激光作为驱动器压缩氘氚燃料靶丸，在高密度燃料等离子体......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
据悉......
高效环保低成本！回收废锂离子电池活性材料新策略(2023-08-10)
)。由于PA溶液快速渗透到活性材料层中，Ni55层在5分钟内从Al箔上完全剥离(图2b)。有趣的是，得到的铝箔表面干净，没有任何残留的活性物质和损伤(图2c)。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测量......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
对热点进行电击。这种等离子体射流就像激光束，就像闪电。它可以非常局部化。
事实：等离子体的温度可以达到太阳表面的温度。但它似乎也有一个奇怪的特性--似乎违反了热力学第二定律。当等离子体撞击表面时，它实......
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计(2023-06-13)
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计;1 引 言
随着空间探测技术的发展，空间的等离子体成分探测显得越来越重要，尤其对现在正在进行的深空探测，如探月计划。而空间等离子......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.79%，毛利率达到44.29%。
【编辑注：根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP......
“一路前行，加速中国布局”——聚焦TESCAN与乾照光电合作签约仪式(2017-03-30)
束领域有多项创新，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。
FIB是Focused Ion Beam的简......
光纤光谱仪原理_光纤光谱仪的用途(2023-04-26)
测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。
......
事关光刻机！美国开发新光源：效率有望提升10倍(2025-01-08 14:03:24)
功耗分别高达1,170千瓦和1,400千瓦，高能耗来自EUV原理，也就是藉由高能激光脉冲，以每秒数万次频率蒸发锡球（约50万°C）以形成等离子体，然后发射13.5纳米波长光。这不仅需庞大雷射基础设施和冷却系统，还需......
复享光学显微角分辨光谱仪完成国家科技部科技成果入库(2022-09-28)
-激子强耦合、二维材料、有机发光、等离子体激光、纳米线激光、量子点、光学天线、纳米颗粒、SERS、光子芯片、LED/OLED等多学科领域。
ARMS发现光子晶体动量空间偏振新自由度
Physical......
美国开发新一代BAT激光器：远超现有EUV光刻 效率提升10倍！(2025-01-06)
。
如此高的能耗主要是源于EUV光刻系统的工作原理，高能激光脉以每秒数万次的频率蒸发微小的锡液滴(温度为
500,000?C)，以形成发出13.5纳米波长光光的等离子体。这一过程需要庞大的激光......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%;据国家能源集团消息，最新一代 DLZ-HV-200 型高效等离子体点火及稳燃系统近日在国家能源集团江西神华九江发电公司 2 号机......
挑战 ASML，应用材料公司重新定义了光刻和图案化市场(2023-03-13)
，半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新东西，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们......
"高端、智能、环保" ----SCIEX高端色谱质谱产品助力大规模设备更新(2024-04-26)
长25%以上。
SCIEX携20多款高质量的液相色谱质谱联用系统及毛细管电泳产品，助力大规模设备更新，为科研教学水平提升和加强优质高效医疗卫生服务体系建设做贡献。
Echo MS+ 声波激发耦合质谱仪......
使用新一代高度可调的低介电薄膜来解决串扰、隔离等制造挑战(2023-08-04)
从环栅结构内隔离层到后段介电层再到先进的光刻工艺，刻蚀选择性在许多应用中变得越来越重要。同时，等离子体对电路的损伤也越来越令人担忧。
l 那么，隔离的探索方向在哪里？
一种方向是新的沉积技术SPARC，它可......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
国际最新研究将3D NAND深孔蚀刻速度提升一倍(2025-02-07)
刻速度提高了一倍，提高了精度，为更密集、更大容量的内存存储奠定了基础。
这项研究是由来自Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校和美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室（PPPL）的科......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
等先进封装领域的薄膜沉积设备，目前北方华创的TSV刻蚀设备已广泛应用于国内主流晶圆厂和先进封装厂，是国内TSV量产线的主力机台。12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备目前已正式进入客户端验证，电容耦合等离子体、晶边......
碳化硅激光剥离设备国产化，中电科二所取得突破性进展(2022-02-11)
了突破性进展。
报道指出，目前，中电科二所科研团队已掌握激光剥离技术原理与工艺基础，并利用自主搭建的实验测试平台，结合特殊光学设计、光束整形、多因素耦合剥离等核心技术，实现了小尺寸SiC（碳化硅）单晶片的激光剥......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
利用低噪声、高速ADC增强飞行时间质谱仪性能(2023-08-30)
利用低噪声、高速ADC增强飞行时间质谱仪性能; 本文引用地址：TOF MS简介
质谱测定(MS)是一种根据分子量对样品中已知/未知分子进行量化的分析技术。先将样品中的元素和/或分子电离成带或不带碎片的气态离子......
佳能首次亮相2023 SNEC 以尖端光学与真空技术赋能中国光伏行业(2023-05-25)
耐用性高、不易损坏的优点。
佳能的真空计系列产品
佳能的静电薄膜真空计
气体分析仪系列产品——实时监控真空品质的得力助手
四极质谱仪是检测各种真空装置残留气体，并能......
奥松电子推出AS200系列质量流量控制器(2023-07-20)
电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪......
什么是可控核聚变？可控核聚变到底处于什么水平呢?(2023-01-05)
年开始在VC圈火爆的可控核聚变，一时间又成了科技圈的当红领域——无论是科技创业者，还是风险投资人，都在为这一消息一键三连。用德国马克斯·普朗克等离子体物理研究所的核聚变专家Thomas
Klinger在1......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用;实验名称：辉光放电特征及风速测量原理
研究方向：辉光放电
测试设备：信号发生器、ATA-8202射频功率放大器，热成像仪、万用表、等离子体......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
以可靠地取代传统灭菌流程。我们从一开始就坚信，我们在低温等离子体技术方面的专业知识可以制造出开创性的灭菌和消毒设备。”
消毒和灭菌方法
医疗器械灭菌和消毒的不同方法的选择取决于温度和使用的化学物质。
当今，大部......
国产半导体设备厂商，刷新成绩单(2025-01-15)
亿元至59.5亿元，同比增长32.60%至52.60%；扣除非经常性损益后的净利润为51.2亿元至58.9亿元，同比增长42.96%至64.46%。
业绩增长主要源于新产品开发成果显著，电容耦合等离子体......
2024年度中国第三代半导体技术十大进展揭晓(2024-11-22 17:57)
现面向应用的高性能氧化镓晶体管提供了新思路。该成果发表于第36届国际功率半导体器件和集成电路会议，并获得了大会唯一最佳海报奖。
（七）2英寸单晶金刚石异质外延自支撑衬底实现国产化
西安交大研究团队采用微波等离子体......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
如何选择合适的氦质谱检漏方法(2023-02-17)
/s 时, 建议使用氦质谱检漏仪由于其相对简单, 坚固的设计, 扇形场质谱仪用于使用示踪气体的泄漏检测, 通常调谐到氦气 4u 的检测质量, 气体分子通过电子轰击在离子源中离子化, 然后......
汽车线束EMC设计基本原则(2024-04-08)
的将导致车辆法规不通过、功能失效等现象，为此在整车线束设计时，要明确需遵循哪些EMC设计原则。
01 汽车线束电磁干扰机理线束间电磁干扰的耦合途径主要有公共阻抗耦合、电容耦合、电感耦合等， 整车......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
人员使用光子超材料来实现连续的时间晶态。他们使用的系统是由柔性纳米线支撑的二维等离子体元分子阵列，即促进与纳米级光相互作用的人造结构。
结果证明，用与其中所含超分子的等离子体......
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器(2023-06-09)
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器;
【导读】作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU 300A-S/LF系列电感耦合器，该系......
普莱默推出了应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器，最新MICU 300A-S/LF系列，彻底改变了高压系统监控;
作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU......
相关企业
）GC-MS 6800（气相色谱质谱联用仪）LC-MS 1000（液相色谱质谱联用仪）ICP-MS 2000（电感耦合等离子体质谱仪）等一系列元素分析仪器，致力
;宁波市鄞州天行健仪器有限公司;;宁波市 鄞州天行健仪器有限公司位于中国浙江省宁波市鄞州区古林镇包家工业区，宁波市 鄞州天行健仪器有限公司是一家XRF能量色散荧光光谱仪、ICP电感耦合等离子荧光光谱仪
,销售的上市企业，注册资本15392万，股票代码300165，主要产品包括X荧光光谱仪（XRF），电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP），气象色谱仪（GC），液相色谱仪（LC），原子荧光光谱仪（AFS
1937年成立至今，在分析化学领域不断为用户提供着世界上最先进的仪器、技术与服务。 PERKINELMER公司生产多种化学分析仪器，包括：原子吸收光谱仪、等离子体发射光谱仪、等离子体质谱仪、傅立叶变换红外光谱仪
）、气相色谱仪（GC）、电感耦合等离子发射光谱（ICP）、紫外分光光度计（UV）、原子吸收光谱仪（AAS）、红外光谱仪（FTIR）、X荧光检测仪（XRF）等。并拥有专业能力强、经验
安全检测仪,RoHs测试仪器 ,无卤检测仪器. X荧光光谱仪、ICP等仪器。 产品包括X射线荧光光谱仪（XRF）,电感耦合等离子体发射光谱仪、原子荧光光谱仪、气相色谱仪、液相色谱等。产品
-QP2010 Ultra ,X射线荧光光谱仪EDX-720 & EDX-GP ,电感耦合等离子体发射光谱仪ICPS-7510 &ICPE-9000 ,傅立叶变换红外光谱仪IRPrestige-21
｜ 超临界色谱仪 ｜ 电泳仪 ｜ 其他 ｜ 质谱仪器 有机质谱仪 ｜ 无机质谱仪 ｜ 同位素质谱仪 ｜ 离子探针 ｜ 其它 ｜ 电化学仪器 电化学传感器 ｜ 库仑分析仪 ｜ 极谱仪 ｜ 电位
市分析仪器工程技术研究中心”、“江苏省昆山市重点民营企业”、“江苏省昆山市企业技术中心”、“江苏省昆山市产品质量监督检验所RoHS检测二室”等称号。 公司产品包括X射线荧光光谱仪（含能量色散和波长色散型）（XRF）、电感耦合等离子体发射光谱仪
;等离子体所;;