如何选择合适的氦质谱检漏方法

发布时间:2023-02-17  

微流量空气检漏仪:在压力条件下使用微流量传感器进行空气泄漏测试

该技术以使用加速流的集成微型传感器为基础. 当空气从被测组单元或组件泄漏时, 通过微流量传感器补充空气损失, 以保持恒定的压力. 损耗导致电信号与体积流量, 质量流量分别成比例. 微流量传感器因此与压力容器一起运行, 并具有 5X10-4mbar l/s 的灵敏度, 压力容器用于给被测单元 (UUT) 加压. 这种测试方法通常只需要简单的固定装置.

d9fb275e-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

质量提取泄漏测试仪:使用批量提取(真空条件)进行空气泄漏测试,灵敏度可高达 6.7X10-7mbar l/s.

微流量传感器技术的一种特殊形式叫做批量提取技术. 其基本原理与微流量方法相似, 但为了达到更高的灵敏度, 在真空条件下进行测试. 该方法集成了传感器设计, 可以在连续体/滑流条件 (较低真空)和过渡/分子流状态(较高真空)下运行. 该技术可用于包装或电子机箱等密封容器的泄漏测试. 将被测单元置于压力条件低至 1 mbar 或更低的真空室中. 在真空室抽真空之后, 真空室和真空容器之间的余流可用于确定被测零件的泄漏率.

da1b84c2-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

上海伯东提供美国ATC 空气泄漏检测仪, 获得 SAE, USP (1207), 美国 FDA ASTM (F3287-17) 等认证. 专利 Micro-Flow微流空气泄漏试验技术, 通过加压或抽真空方式, 测试产品的密封性.ATC 检漏仪适用于新能源电池检漏,制药包装密封性检测 CCIT, 汽车油管, 消费电子 IP 防水等应用.

da455c0c-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

氦质谱检漏仪: 扇形场质谱仪的工作原理,当漏率要求小于 1X10-7mbar l/s 时, 建议使用氦质谱检漏仪

由于其相对简单, 坚固的设计, 扇形场质谱仪用于使用示踪气体的泄漏检测, 通常调谐到氦气 4u 的检测质量, 气体分子通过电子轰击在离子源中离子化, 然后使用电子电压加速到扇形磁场. 或者, 也可以使用质量为 2u 的氢气来进行这种检漏测试. 氦或氢分子能够通过专用狭缝以到达检测器, 而所有其它现有分子不能通过并因此被重新中和. 测量的离子电流与气体分压成正比.真空环境中的氦气检漏率为 5X10-12mbar l/s.

da64c6be-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

使用上海伯东氦质谱检漏仪, 可以进行基于真空法和吸枪法的快速检漏

真空法是氦质谱检漏仪最灵敏的检漏方法. 该方法中, 被测产品被放置在真空室内, 先抽真空然后用氦气填充. 为了定位泄漏, 需要使用氦气喷枪或吸枪. 当使用喷枪时, 被测产品连接到检漏仪, 并从外部向被测产品喷射氦气的同时抽真空.真空环境中的氦气检漏率为 5X10-12mbar l/s.

da7d8c9e-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

对于吸枪法, 被测产品用氦气加压, 并用吸枪探头在外面进行嗅探, 该探头连接到检漏仪, 吸枪法氦气检漏率为 1X10-8mbar l/s.

da916c50-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

上海伯东代理德国 Pfeiffer氦质谱检漏仪, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用.氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率5X10-12mbar l/s., 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点.氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.

dab2acee-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

如何选择合适的氦质谱检漏方法?

首先需要设定所需的气密性标准 — 即最大泄漏率. 这里面临的一个挑战是定义泄漏率, 需要考虑不同的单位. 通常, 以流速单位来规定泄漏率. 下表概述了通用流速测量单位及其转换.


Pa m3 s-1 mbar · l s-1 Torr · l s-1 atm cm3 s-1 sccm slm 分子 s-1
Pa m3 s-1 1 10 7.5 9.87 5.92X102 5.92X10-2 2.651X1020
mbar · l s-1 1X10-1 1 7.5X10-1 9.87X10-1 5.92X101 5.92X10-2 2.651X1019
Torr · l s-1 1.33X10-1 1.333 1 1.32 7.89X101 7.89X10-2 3.535X1019
atm cm3 s-1 1.01X10-1 1.01 7.5X10-1 1 5.98X101 5.98X10-2 2.679X1019
sccm 1.69X10-3 1.69X10-2 1.27X10-2 1.67 X10-2 1 1X10-3 4.486X1017
slm 1.69 1.69X101 1.27X101 1.67X101 1 X103 1 4.486X1014
分子 s-1 3.77X10-21 3.77X10-20 2.83X10-20 3.72X10-20 2.23X1016 2.23X1019 1

常见泄漏流量测量单位及其转换

定义应用所需气密性的另一种方法是确定最大缺陷尺寸 (针孔或微通道类型). 泄漏测试需要确保不超过该值. 当漏率要求小于 1X10-7 mbar l/s 时, 建议使用氦质谱检漏仪. 如果所需的泄漏率超过该值, 可以考虑的技术数量就会增加.下图概述了潜在的泄漏测试方法及一些重要的特征.

dad818bc-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg

在选择合适的泄漏测试方法之前, 建议考虑以下几个方面

气流量和节拍时间:如果泄漏测试程序在对 100% 的零件进行泄漏测试的生产环境中, 气流量或节拍时间是重要的参数. 不过对于样品测试和实验室应用, 循环时间则是不太重要的参数.

泄漏测试条件:在许多情况下, 产品的设计和特定的密封设定了所施加压力和泄漏测试过程 (零件内部或外部) 的要求. 一些密封件更适合于更高的压力, 另一些则适合用于真空下的泄漏. 因此, 这里的泄漏测试通常包括将零件加压至最大工作压力, 以确保零件在最大工作条件下的完整性.

环境因素:环境条件可影响多种泄漏测试方法, 例如压力衰减测试. 此时, 稳定时间和温度控制对于确保可靠的测量至关重要. 为了测试产生热量的产品 (例如钎焊/焊接后), 或者在温度变化较快的环境下进行试验, 可以采用真空空气测试 (如批量提取) 或氦气测试方法.

大多数应用可以通过上海伯东空气检漏仪或氦质谱检漏仪进行泄漏测试. 在下表中, 不同的应用具有不同的泄漏率要求. 可以为检漏应用选择更合适测试方法进行参考.

daf1ac28-a3c1-11ed-bfe3-dac502259ad0.jpg


文章来源于:电子工程世界    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

相关文章

    率为 5X10-12mbar l/s. 使用上海伯东氦质谱检漏仪, 可以进行基于真空法和吸枪法的快速检漏真空法是氦质谱检漏仪最灵敏的检漏方法. 该方法中, 被测产品被放置在真空......
    舱内的储氢瓶内充入体积分数X的氦氮混合气至公称工作压力。若储氢瓶存在泄漏点,氦气会透过泄漏处逸散至真空舱中。通过高精度的氦质谱检漏仪检测真空舱内氦气漏率,便可......
    行业最高水平。 中科科仪是国内尖端科学仪器设备及真空技术领军者。业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空应用设备等产业设备及核心零部件,产品广泛应用于科学研究、航空航天、半导体、汽车......
    在展会上亮相了其在半导体以及其他先进制造业和科研领域的整体解决方案。 半导体器件的生产离不开洁净的真空环境。普发真空在展会现场展示了其明星产品,包括ASM 392检漏仪、A 3004多级......
    。抽真空时间和真空度比例可调。比如设置真空抽为-50kpa,抽气速率为10kpa/min。这个测试的难点在于要求气密性测试仪或检漏仪可以设定负压抽取的初始压力,比如从0开始,当然......
    和工艺过程中的气体构成,并且还是一款能够清晰分辨气体H2的高灵敏度气体分析仪。   佳能的高压四极质谱仪(残余气体分析仪)M-201TDM 佳能在本次展会展出的其他气体检测设备还包括紧凑型、可移动型、吸枪专用的三种氦气检漏仪......
    真空衰减法密封检漏仪与水检法相比的优势是什么;济南三泉中石实验仪器生产的Leak-S微泄露密封测试仪适用于药品包装冻干粉针剂瓶、西林瓶、安瓿瓶等针剂注射剂瓶密封性测试。不同于以往的水检法,对试......
    超声波检漏仪和红外热像仪为什么不能作为测量的定量方法;逸散性介质是通过油气处理装置中的设备或管道排放或泄漏到大气中的物质。炼油......
    像上即可快速对泄漏点进行排查,并可将泄漏点以JEPG照片或MP4视频格式进行保存。 原先检测压缩空气泄漏使用那些方法? 一般使用涂肥皂水或使用超声波检漏仪。 这些......
    德国普发真空亚洲检漏应用实验室盛大开幕;本文引用地址:●   助力本地创新链产业链融合发展 ●   更好满足中国乃至亚洲客户的需求 普发真空亚洲检漏应用实验室 普发真空的亚洲检漏......

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>