【导读】气体流量的测量值是许多工艺生产的重要参数之一。由于气体的可压缩性，决定了它的流量测量比液体复杂，仪表的输出信号除了与输入信号有关，还与气体密度、温度和压力等因素有关。所以，气体的流量测量普遍存在温压补偿问题。

奥松电子研发制造的AS200系列质量流量控制器，无需温压补偿，不但具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量。用户根据生产需要进行流量设定后，AS200自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS技术研发，在传感器的驱动，零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性，是目前市场上一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。

与众不同 性能出色

1、适用于多种常规气体、混合气体及腐蚀性气体，实现精准的测量控制，精度高达±1.0% S.P. (≥35% F.S）；±0.35% F.S. (<35% F.S.)；

2、产品通过十万次重复性测试，重复精度高达±0.2%F.S.；

3、耐压强度为3MPa，最大工作压力可达0.45MPa（可定制0.6MPa），能满足市面上大部分的客户需求；

4、1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，气密性好，保障生产安全；

5、无需预热，快速响应，流量控制稳定；

6、流量范围覆盖多个量程，从5SCCM到200SLM（可定制），能适应多种场景需求；

7、可同时支持数字信号，0～5V 模拟信号，4～20mA或 0~20mA 模拟信号，方便客户选择；

8、使用双电源（±15 VDC）或单电源（+15～+28 VDC）；

9、提供功能强大的免费客户端上位机软件；

10、定制化解决方案，支持自动故障报警；

11、标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利

多领域多场景应用广泛

气体质量流量控制器（AS200系列）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。

气体质量流量控制器

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