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中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付(2021-06-10)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付;中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反......
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运(2024-03-21)
中微公司ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运;3月21日，中微公司宣布，公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®系列第500台反......
受益于半导体设备市场发展，中微公司2021年新签订单量暴增(2022-02-24)
利等国家和地区。
从上面的业绩报告来看，2021年中微公司的新签订单大幅增加也是净利润增长的主要因素之一。
据官方披露，2021年6月，中微公司宣布电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo......
助力晶圆生产工艺改进，海洋光学参加2022中国半导体设备年会(2022-10-25 13:18)
在封闭的反应室中进行，使用光纤和余弦校正器耦合到光谱仪，通过反应腔体中的小窗口进行观察。测量结果表明模块化光谱组件可实时获取等离子体发射光谱。通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体的......
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案(2023-06-27)
ICP-6800电感耦合等离子体发射光谱仪锂电池检测方案;引言：
锂离子电池是一种大容量、可充电反复使用、无环境污染的新型蓄电池。迈入90年代后，LIB成为相对较新的商用化蓄电池，并被......
美国空军"冷冻射线"技术背后的科学原理(2023-08-03)
却是宇宙中最常见的物质形式。事实上，恒星就是由它构成的。
霍普金斯说，当气体通电时就会产生等离子体。气体的类型和其他条件不同，等离子体的特性也不同。但所有等离子体的共同点是最初的化学反应，这种......
使用新一代高度可调的低介电薄膜来解决串扰、隔离等制造挑战(2023-08-04)
具有更好的热稳定性和化学稳定性。
重要的是，这些优点是在非等离子体环境中实现的。流入的基态自由基只与选定的前驱体分子中的特定键相互作用，因此断键具有选择性，这使得前驱体自由基粘附系数低，从而获得台阶覆盖性极高的薄膜。在沉......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
据悉......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层......
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰(2023-10-17)
基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰;摘要：海洋光谱仪基于光学发射光谱，助力半导体制程良率提升
海洋光学（Ocean Optics）长期......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
年上半年刻蚀设备收入为8.58亿元，较去年同期增长约83.79%，毛利率达到44.29%。
【编辑注：根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)和电感性等离子体刻蚀(ICP......
国家能源集团：新型等离子体稳燃技术首次应用百万机组，可节电超 20%(2022-08-15)
稳燃技术改造而成。
国家能源集团表示，新系统在技术上采用直流空气等离子体作为点火源，实现锅炉冷态启动无油点火燃烧，具有设备轻量化、可靠性高、经济性好等特点。新系统安装完成后，2 号机......
挑战 ASML，应用材料公司重新定义了光刻和图案化市场(2023-03-13)
，半导体和金融行业的人们对这个工具有很多不屑一顾的地方。有人争辩说，这并不是什么新东西，它只是一种非常昂贵的电感耦合等离子体形式，用于进行反应离子蚀刻，这在大批量制造中已经存在了数十年。对此，人们......
改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案(2022-10-18)
蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。
客户面临的挑战随着全球对半导体的需求迅速增长，该行......
403秒，我国人造太阳创造新世界纪录(2023-04-14)
端高温高压的环境下发生引力约束核聚变反应。
而在地球上，实现可控核聚变主要有磁约束核聚变和激光惯性约束核聚变两种方式。激光惯性约束核聚变是采用激光作为驱动器压缩氘氚燃料靶丸，在高密度燃料等离子体的......
三星计划在其芯片工厂实现100%的机器人化：告别人工劳动？(2024-01-04)
至关重要的，因为半导体制造中的蚀刻、沉积和清洗等过程的结果在很大程度上取决于等离子体的均匀性，因此准确测量和管理这一方面是至关重要的。
该系统的开发是一个团队努力的结果，涉及合作伙伴和学术机构。这些新传感器的一个重要特点......
改进半导体制造，海洋光学为晶圆蚀刻提供全光谱等离子监测解决方案(2022-09-15)
监测解决方案。
客户面临的挑战
海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。
客户面临的挑战
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随着全球对半导体的......
TUV莱茵长三角运营中心二期盛大开业 助推区域一体化高质量发展(2024-08-02 09:00)
实验室测试容量相较原上海实验室扩大一倍，新增多台液相色谱三重串联质谱、气相色谱质谱、电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）等大型分析测试设备；轻工产品实验室实现机械安全、厨房用品、家具......
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热(2023-07-04)
改善半导体的导热性的新方法：使用表面等离子体激元进行传热;工程师们发现了一种使用表面等离子体激元 (SPP) 的新传热模式，在半导体热管理方面取得了重大突破。 这种新颖的方法将散热提高了 25......
使医疗器械低温灭菌成为标准规程：relyon plasma 团队的远大抱负(2024-07-24)
气中的环境氧、氮和湿度为原料，通过应用低温等离子体生成过氧化氢、臭氧和氮氧化物。通过调整输入气体的量和系统的操作点可以定制输出气体的组合。
MediPlas 尺寸紧凑，可集成到各种器械中，用于......
射频功率放大器在辉光放电特征及风速测量原理中的应用(2023-03-13)
传感器
实验过程：
在等离子体形成条件和流场响应机制的基础上，可以明确影响放电稳定性和等离子体风速测试技术性能的主要参数包括：激励装置的电参数、电极间距、电极宽度、电极材料、气体的成分及其热力学参数。以上......
采用TDC-GP1和FPGA器件实现纳秒量级时间间隔测量系统的设计(2023-06-13)
三种测量方式，各自都有自己的特点，适用于不同的条件，测量的分辨率也有很大不同。在具体应用中，可以根据所测等离子体的能量范围和通道个数以及所要求的分辨率，来具体的选择适用哪种模式。
在该测量系统中，需要......
Tokamak Energy 正在研究使用球形托卡马克和高温超导 (HTS) 磁体的组合进行聚变(2022-12-24)
降低了未来聚变发电厂的成本——这对于商业化和规模化至关重要技术。
超导磁体在托卡马克系统中用于集中和隔离等离子体，使其能够达到聚变所需的高温。低温......
理解电弧能的测量、对比和控制方法(2023-03-09)
理解电弧能的测量、对比和控制方法;随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体......
光子超材料表现出新物质态特征，符合连续“时间晶体”属性(2023-05-10)
模式共振的光连续且相干地照射这种光子超材料，会导致自发相变到具有连续时间晶体关键特性的状态。这种状态的特征是超分子之间的多体相互作用导致的连续振荡。
研究人员之一尼古拉·哲鲁德夫解释说，光子超材料，即一种用等离子体......
基于Genesis gm5020芯片的等离子彩电的设计(2023-06-28)
基于Genesis gm5020芯片的等离子彩电的设计;摘要：gm5020是加拿大genesis公司为液晶显示器和其它点阵显示器产生的高度集成的图像处理芯片，介绍了该芯片的特点、功能、原理。并利......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-29)
工艺流程。可视性沉积的步骤通过在顶端夹止的方式产生空气间隙，然后进行CMP步骤除去多余的氮化硅。空气间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体......
引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容(2023-03-28)
间隙减少了栅极和源极/漏极之间的寄生电容。空气间隙的大小可以通过改变刻蚀反应物的刻蚀深度、晶圆倾角和等离子体入射角度分布来控制。
使用SEMulator3D的虚拟测量功能测量以下指标：
1 栅极金属和源极/漏极......
高效环保低成本！回收废锂离子电池活性材料新策略(2023-08-10)
)。由于PA溶液快速渗透到活性材料层中，Ni55层在5分钟内从Al箔上完全剥离(图2b)。有趣的是，得到的铝箔表面干净，没有任何残留的活性物质和损伤(图2c)。电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测量......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
等先进封装领域的薄膜沉积设备，目前北方华创的TSV刻蚀设备已广泛应用于国内主流晶圆厂和先进封装厂，是国内TSV量产线的主力机台。12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备目前已正式进入客户端验证，电容耦合等离子体、晶边......
半导体制造工艺——挑战与机遇(2024-01-12)
层沉积（ALD）等。同时新技术也在不断的发展，包括金属有机化学气相沉积（MOCVD）、等离子体增强沉积、卷对卷沉积等。
蚀刻
蚀刻包括去除半导体材料的特定部分以产生图案或结构。蚀刻......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26)
半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星......
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能(2023-12-26 10:26)
三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能;三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而......
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示(2022-05-17)
北大集成电路学院PEALD设备采购项目中标结果公示;5月9日，北京大学集成电路学院等离子体增强原子层沉积设备采购项目中标结果公示。该项目中标供应商为西安思密康电子科技有限公司，中标货物为1套等离子体......
世界最大核聚变实验装置在日本运行！(2023-12-05)
运行的纪念仪式，这台六层楼高的机器位于东京北部那珂市的一个机库内，包括一个圆环形的“托卡马克”容器，旨在容纳加热至2亿摄氏度的旋转等离子体。
随着中央控制室内的按钮被按下，数秒钟后装置内就产生了超高温等离子体......
欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器(2023-10-11)
帝国理工学院）
非常规的制造方法
该推进器是在伦敦帝国理工学院帝国等离子体推进实验室（Imperial Plasma Propulsion......
汽车线束EMC设计基本原则(2024-04-08)
的将导致车辆法规不通过、功能失效等现象，为此在整车线束设计时，要明确需遵循哪些EMC设计原则。
01 汽车线束电磁干扰机理线束间电磁干扰的耦合途径主要有公共阻抗耦合、电容耦合、电感耦合等， 整车......
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器(2023-06-09)
普莱默推出应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器;
【导读】作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU 300A-S/LF系列电感耦合器，该系......
普莱默推出了应用于电动汽车嗅探/ CCS监听器的最新电感耦合器，最新MICU 300A-S/LF系列，彻底改变了高压系统监控;
作为电感元件的领先制造商，普莱默推出了最新开发的突破性产品–MICU......
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线(2024-01-11)
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线;近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。
北方......
分子“手提钻”利用振动撕裂癌细胞，对实验室培养的人类黑色素瘤细胞疗效达99%(2023-12-27)
厘米，而用来激活纳米钻的可见光的穿透深度仅为半厘米。
这种“手提钻”其实是氨基花青分子，是一类用于医学成像的荧光合成染料。研究发现，该分子的原子在受到近红外光刺激时可一致振动，形成等离子体，从而......
核心部件完成首件制造，中国“人造太阳”迎来高光时刻！(2022-12-02)
之所以能够持续发光发热，是因为时刻发生着核聚变反应。托卡马克是进行可控核聚变研究的主流装置，利用强磁场把上亿摄氏度的等离子体长时间控制在真空容器里，并使聚变反应稳定持续地进行。由于它产生能量的原理与太阳相似，也被......
仪表电路干扰的耦合方式(2023-01-10)
仪表电路干扰的耦合方式;在现场，各类干扰信号会通过不同途径与仪表电路耦合。干扰的耦合方式常有耦合、电阻耦合、电感耦合、差模干扰、共模干扰和计算机供电电路上引入的干扰这六种。
1、电容耦合(也称静电耦合......
Gallium Semiconductor推出首款ISM CW放大器，扩大产品组合(2023-09-19)
Transistor，HEMT）。GTH2e-2425300P可为各类工业、科学和医学（ISM）应用带来全新的效率水平，其中包括半导体等离子体源和用于生产合成金刚石的微波等离子体化学气相沉积（microwave......
华为、哈工大联手：基于硅和金刚石的三维集成芯片专利公布(2023-11-21)
公布。
专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域。
该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2......
可控核聚变的未来谈论，是否能成为我们未来的能源，第一部分(2023-02-09)
以解释为半个世纪的失败，而且确实如此。但在如此严峻的情况下，很难不抱最好的希望，追求融合力量的可能性。坦率地说，最近在融合方面有很多令人鼓舞的发展。
聚变反应堆的几个重要运行参数之一是将等离子体......
疫情当下，TDK电子CeraPlas知多少？(2020-03-16)
可用于加工热敏材料。凭借紧凑结构和低功耗的特点，CeraPlas技术非常适用于各种电池供电的手持设备。 除了发生器，TDK还可提供各种评估套件，除了CeraPlas HF元件以外，还包括能使等离子......
中微公司南昌生产研发基地项目正式建成，并投入使用(2023-07-10)
MOCVD设备主要用于氮化镓（GaN）基Mini LED外延片量产，同年其设备订单超100腔，并入选江西省科技成果转化十大典型案例。
中微公司开发的等离子体......
TDK 推出紧凑型冷等离子发生器CeraPlas HF(2018-11-14)
系统高压无需采取任何特殊的安全措施进行保护。新型等离子发生器在常压下即可电离包括空气在内的不同气体。其等离子温度始终保持在50°C以下，因此可用于加工热敏材料。凭借紧凑结构和低功耗的特点，CeraPlas技术......
华为公布全新芯片制造技术专利！(2023-11-29)
热应力增加，从而影响键合强度，不适用于硅/金刚石的三维异质集成等问题中的至少一种。
专利摘要显示，该方法包括：制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体......
相关企业
;宁波市鄞州天行健仪器有限公司;;宁波市 鄞州天行健仪器有限公司位于中国浙江省宁波市鄞州区古林镇包家工业区，宁波市 鄞州天行健仪器有限公司是一家XRF能量色散荧光光谱仪、ICP电感耦合等离子
吸收光谱仪）GC-MS 6800（气相色谱质谱联用仪）LC-MS 1000（液相色谱质谱联用仪）ICP-MS 2000（电感耦合等离子体质谱仪）等一系列元素分析仪器，致力
,销售的上市企业，注册资本15392万，股票代码300165，主要产品包括X荧光光谱仪（XRF），电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP），气象色谱仪（GC），液相色谱仪（LC），原子荧光光谱仪（AFS
;等离子体所;;
;广州市伊恩埃半导体技术有限公司;;AENI等离子体电源亚太（上海/广州/香港）维修中心 www.aeni.com.cn 是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE（Advanced
和推广于一体高科技企业，面向等离子体设备制造公司。公司密切注视国内外等离子处理高新技术发展趋势，结合国内生产的实际情况，在行业内形成了独特的优势。 公司拥有多名专业博士、硕士从事低温及常压等离子
安全检测仪,RoHs测试仪器 ,无卤检测仪器. X荧光光谱仪、ICP等仪器。 产品包括X射线荧光光谱仪（XRF）,电感耦合等离子体发射光谱仪、原子荧光光谱仪、气相色谱仪、液相色谱等。产品
部分长期从事产业化工作的技术研发人员及硕、博研究生与企业合作，共同创建的以光机电一体化高新技术为主，集智能化电力电子新产品研发、制造、销售于一体的高新技术企业。中科院合肥物质科学研究院等离子体所从事受控聚变工程研究，是集等离子体
;成都纽曼和瑞微波技术有限公司;;成都纽曼和瑞微波技术有限公司（和瑞）是一家专业从事微波能和微波等离子体应用技术科研，开发和生产的股份制民营高科技企业。和瑞拥有一支集高频，微波和等离子体技术、电气
-QP2010 Ultra ,X射线荧光光谱仪EDX-720 & EDX-GP ,电感耦合等离子体发射光谱仪ICPS-7510 &ICPE-9000 ,傅立叶变换红外光谱仪IRPrestige-21