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聚集集成电路领域，嘉芯半导体与嘉善复旦研究院达成战略合作(2023-08-18)
2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备......
首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶，计划2024年6月投产(2024-01-19)
首芯半导体薄膜沉积设备项目主体封顶，计划2024年6月投产;据中电二公司消息，近日，江苏首芯半导体项目生产厂房主体结构封顶仪式举行。江苏首芯半导体薄膜沉积设备研发及生产项目位于无锡江阴高新区，为集半导体前道制程薄膜沉积高端设备......
中微公司推出12英寸薄膜沉积设备，已导入客户端进行生产线核准(2023-05-11)
中微公司推出12英寸薄膜沉积设备，已导入客户端进行生产线核准;近日，中微公司推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。
Preforma......
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制(2023-08-28)
传日本更可能实施对光刻/薄膜沉积设备的出口管制;据电子时报报道，随着日本对华半导体设备出口禁令于7月23日正式生效，业内普遍想知道这将对中国半导体行业产生的影响。此次出口管制共计23品类半导体设备......
微导纳米拟募资不超11.7亿元投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂等(2024-05-30)
微导纳米拟募资不超11.7亿元投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂等;5月29日，微导纳米发布公告称，公司拟向不特定对象发行可转换公司债券拟募集资金总额不超过11.7亿元，扣除发行费用后募集资金净额将用于半导体薄膜沉积设备......
16.7亿元中微临港产业化基地正式启用(2024-08-05)
公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据优势地位。中微公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备......
总投资5亿元 衍梓智能科技薄膜沉积设备项目落户青岛(2022-04-12)
总投资5亿元 衍梓智能科技薄膜沉积设备项目落户青岛;据莱西经济开发区消息，4月7日，青岛莱西经济开发区管委会与上海衍梓智能科技有限公司（以下简称“衍梓智能科技”）薄膜沉积设备......
募资10亿，国产设备厂商微导纳米科正式闯关科创板(2022-03-04)
（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。
ALD设备系集成电路先进制程晶圆制造的关键设备，在28nm及以......
先锋精科科创板IPO成功过会(2024-08-19)
握的核心技术平台基础上，公司紧贴客户需求，将跨学科知识、多实验工艺方法、多方产业链资源加以整合，形成了关键工艺部件、工艺部件和结构部件三大类主要产品，重点应用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等半导体核心设备......
又一半导体设备公司上市，首日开盘涨652%(2024-12-13)
模组生产与装配基地项目、无锡先研精密制造技术研发中心项目、补充流动资金项目。
资料显示，是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家，公司形成了关键工艺部件、工艺部件和结构部件三大类主要产品，重点应用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等半导体核心设备......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW(2023-05-09)
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW;
【导读】近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex CW(2023-05-10)
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex CW;
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积......
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW(2023-05-09)
中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW;中国上海，2023年5月9日—— 近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，）推出......
芯屏高科技产业园开园，半导体薄膜沉积设备等5项目集中签约(2023-12-04)
芯屏高科技产业园开园，半导体薄膜沉积设备等5项目集中签约;近日，蓝科·新站芯屏高科技产业园开园，现场5个入园项目集中签约、3家投资基金签订战略合作。
现场，半导体刻蚀机用陶瓷材料、半导体薄膜沉积设备......
拓荆科技拟投资2.5亿元建设高端半导体设备产业化基地建设项目(2024-03-04)
科技已形成 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD 等薄膜设备产品系列，广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。
拓荆科技表示，公司本次新建项目通过提升公司半导体薄膜沉积设备的产能，可以......
半导体设备高光时刻来临，景气度有望拉满第三年(2022-10-08)
基本可以覆盖到半导体制造的各阶段所需，在制造实力上，我国在刻蚀、清洗、薄膜沉积设备方面较为突出，尤其是我国的刻蚀设备，已经成长为我国最具优势的半导体设备领域，逐渐进入到成熟期。而在CMP、光刻、离子注入等设备上，我国......
国内半导体设备频传佳音：签单、合作…(2023-09-05)
等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（Metal......
中微公司在TechInsights 2023年客户满意度调查 榜单中位列两项第一(2023-05-19)
to Specialty Chip Makers）和薄膜沉积设备（Deposition Equipment）两个榜单中位列第一。
除在上述两个榜单中赢得客户的最高评价外，中微公司还荣获了以下四个奖项：
十大芯片制造设备......
应用材料停止收购日本国际电气(2021-03-30)
KKR收购。其以制造薄膜沉积设备闻名，薄膜沉积工序是在硅晶圆上添加薄膜层，以便形成电路。
封面图片来源：拍信网......
北方华创、拓荆科技、芯源微中标上海积塔项目， 国内半导体设备市场持续升温(2022-05-12)
，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备......
持续突破，中微公司超过十年平均年营收增长率超过35%(2024-01-31 10:13)
已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线；薄膜沉积设备已付运客户端验证评估，已如期完成多道工艺验证；MOCVD设备......
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司(2021-09-02)
尹志尧：打造全方位高质量的，有国际竞争力的半导体设备公司;中微半导体设备公司在刻蚀领域和薄膜沉积领域深耕已久，并曾制造出中国第一台电解质刻蚀机。目前它推出的等离子体刻蚀设备......
上海交大无锡光子芯片研究院光子芯片中试线5月将全线贯通(2024-01-09)
迈入全新发展阶段。
2023年10月项目主体结构正式封顶，仅仅三个月时间便再度迎来首批设备正式入场的重大节点。本次入场的22台设备是薄膜泥酸理光子芯片中试线的关键组成部分，主要用于光刻干法刻蚀、薄膜沉积、湿法......
攀登勇者，志在巅峰 | 中微公司二十载风华正茂，临港基地落成共启新篇章(2024-08-05)
的领先企业，也是国际半导体设备产业冉冉升起的一颗新星。
创新驱动，持续攀登
正是基于这样的创新能力，中微公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等领域均取得了显著成就。在刻蚀设备......
攀登勇者，志在巅峰 中微公司二十载风华正茂，临港基地落成共启新篇章(2024-08-05 11:02)
的领先企业，也是国际半导体设备产业冉冉升起的一颗新星。创新驱动，持续攀登正是基于这样的创新能力，中微公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等领域均取得了显著成就。在刻蚀设备方面，凭借行业首创的刻蚀设备......
大基金持股26.48%，这家半导体设备厂商拟冲刺IPO(2021-02-20)
海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业，专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。
该公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维......
半导体CVD设备国产化进行到哪步了？(2023-07-24)
半导体CVD设备国产化进行到哪步了？;近日，微导纳米发布官方消息，公司的首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货。
CVD设备需求提升
薄膜沉积分为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积......
1.8亿！四家国产半导体设备商成立合资公司(2024-01-04)
技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。
据官方信息，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备......
目标全球第一半导体设备制造商！东京电子豪掷1.5万亿日元、新招万名员工(2024-07-01)
于荷兰的阿斯麦(ASML)、美国的应用材料公司和泛林集团。
该公司在多个关键设备领域占据市场领导地位，包括涂布显影、气体化学蚀刻、扩散炉和批量沉积设备，同时在清洗、等离子蚀刻、金属薄膜沉积、探针台等设备......
攀登勇者，志在巅峰 | 中微公司二十载风华正茂，临港基地落成共启新篇章(2024-08-04)
的领先企业，也是国际半导体设备产业冉冉升起的一颗新星。
创新驱动，持续攀登
正是基于这样的创新能力，中微公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等领域均取得了显著成就。在刻蚀设备......
工业大盘点的风吹到了半导体设备(2024-02-06)
MOCVD设备收入受到终端市场波动影响营收下降34.0%，2022年收入7亿元，约占总收入的14.77%，2023年则预计收入4.6亿元。
总体来看，中微公司也有往平台型企业发展的趋势。当前正从刻蚀设备拓展到薄膜沉积......
焕芯启程，聚势腾飞：中微公司南昌新厂落成仪式隆重举行(2023-07-07 16:23)
户满意度调查 (CSS) 中荣获六大奖项，其中在专用芯片制造设备供应商和薄膜沉积设备两个榜单中位列第一。“在不断提升自身能力的同时，南昌中微持续落实科学管理运营体系，提高全员、全过程、全方......
焕芯启程，聚势腾飞：中微公司南昌新厂落成仪式隆重举行(2023-07-07)
户满意度调查 (CSS) 中荣获六大奖项，其中在专用芯片制造设备供应商和薄膜沉积设备两个榜单中位列第一。
“在不断提升自身能力的同时，南昌中微持续落实科学管理运营体系，提高全员、全过程、全方位质量控制水平，不断......
拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目封顶(2024-04-29)
知识产权产品并实施产业化。
资料显示，拓荆科技（上海）有限公司成立于2020年12月，是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司。主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售。公司聚焦半导体薄膜沉积设备......
设备业繁荣期冲进世界前十，ASM的ALD和EPI有何特色？(2023-01-07)
1999年就开始研制ALD设备。但由于ALD工艺对均匀度要求高，生长薄膜的速度较慢，所以成本很高，过去在半导体制造中被接受度不高。不过随着先进工艺发展对薄膜沉积质量、厚度和精度要求的提高，ALD需求......
焕芯启程，聚势腾飞：中微公司南昌新厂落成仪式隆重举行(2023-07-07)
的2023年客户满意度调查 (CSS) 中荣获六大奖项，其中在专用芯片制造设备供应商和薄膜沉积设备两个榜单中位列第一。
“在不断提升自身能力的同时，南昌中微持续落实科学管理运营体系，提高全员、全过程、全方......
在爱旭、隆基的BC类电池生产线中，他的ALD占比保持领先(2024-01-03 09:29)
在手订单同比增长244.32%。
二、主要交流问题及回复
1、目前半导体领域内的订单和趋势如何？
在半导体制造过程中，ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）等薄膜沉积设备是前道工艺的核心设备......
半导体设备，烽烟四起(2024-11-29)
、清洗和金属化，所对应的专用设备主要包括氧化/扩散设备、光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、机械抛光设备等；后道设备包括减薄、划片、打线、Bonder、FCB、BGA 植球、检查......
半导体专用设备商拓荆科技拟5亿设立全资子公司(2023-01-29)
）有限公司（以最终实际投资金额为准），主要围绕公司现有主营业务开展相关经营活动，从事高端半导体薄膜沉积设备的研发、生产、销售与技术服务。
拓荆科技（沈阳）有限公司经营范围包括技术服务、技术......
国产半导体设备实现关键突破！(2024-09-12)
是在净加仓规模还是加仓幅度方面，都名列前茅。
技术研发上，目前，北方华创面向300mm晶圆厂的12英寸产品不断突破，TSV硅通孔金属化设备是针对2.5D/3D立体封装和Chiplet芯粒等先进封装领域的薄膜沉积设备......
大基金持股26.48%，设备厂商拓荆科技科创板首发过会(2021-11-01)
。
△Source：拓荆科技公告截图
资料显示，拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备......
中国半导体设备产业正经历“四大挑战”(2016-10-18)
现了中国政府直面挑战的决心和大国魄力。
巨头垄断，设备推广面临挑战：相对于中国产光刻机的步履维艰，中国产氧化炉、刻蚀机与薄膜沉积设备已初现活力，中国产设备正逐渐打入中芯国际、华力微电子、三安光电、武汉......
半导体设备需求增长 拓荆科技净利1.08亿元，同比扭亏为盈(2022-08-29)
收入较上年同期增长364.87%，主要原因为，受益于国内半导体行业良好的发展态势，国内晶圆厂扩产带动半导体设备需求增长，公司作为国内半导体薄膜沉积设备主要厂商，持续保持高强度的研发投入，产品竞争力和客户认可度不断提升，销售......
工业重点行业领域设备更新和技术改造指南(电子元器件和电子材料行业 )(2024-11-07 08:30:45)
机、钉卷机、卷绕机、含浸机、排版机、充磁机、键合机、 雕刻机、光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机、分选机、探针台、涂布机、固晶机、划片机、叠层机、冷却设备、换热器、表面处理设备、3D打印......
半导体不景气？不慌，先拿下那台设备(2022-07-11)
国产化率有所提高。
据悉，2022 年上半年大陆主要晶圆厂共开标765台工艺设备。按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，前五名分别炉管设备（119台）、薄膜沉积设备（142台）、刻蚀设备（90台）、清洗设备（86台......
5家半导体企业科创板IPO迎来新进展！(2022-04-08)
公开发行后总股本为12,647.8797万股。招商证券为其保荐机构。
拓荆科技是国内半导体薄膜沉积设备领军企业之一，也是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD. SACVD设备厂商。公司主要从事高端半导体专用设备......
原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程(2023-08-31)
研究员许勋表示：“我们开发出了可以在任何时间点观察和分析CVD腔室的薄膜沉积过程的设备”，“不仅可以在半导体领域使用，还可以在OLED材料、二次电池用电极材料、太阳能电池用电极材料等多个领域使用。”
研究组利用拉曼光谱作为分析薄膜材料沉积......
佰维上市/联芸获受理...6家半导体企业IPO上市迎新进展(2022-12-30)
电路高端装备产业化应用中心项目、补充流动资金。
微导纳米成立于2015年，公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备......
中微公司：MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证(2022-08-23)
正在开发用于氮化镓和碳化硅功率器件和制造Micro-LED的MOCVD专用设备。除此以外，公司也在开发低压化学气相沉积设备（LPCVD）和外延设备（EPI）。
封面图片来源：拍信网......
中微公司尹志尧：公司12英寸刻蚀设备已进入5纳米芯片生产线(2021-04-06)
，中微公司是一国内知名的半导体设备公司，目前产品以半导体前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积等关键设备为主，并逐步开发后道先进封装、MEMS、蓝绿光及紫外LED、Mini LED、Micro LED......
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高品质的产品，先进的技术，过硬的质量和周到的技术服务，DE公司正在稳步向前发展。 十几年来，DE已成功地为国内近百家企业、高校实验室和科研院所提供了全球最先进的真空镀膜沉积设备和优质的技术服务。
的石英晶体膜厚控制仪,传感器。其主要产品有：SC系列石英晶片（5MHz，6MHz）,S,D,B,R系列晶振传感头(单晶,双晶,6晶,可烘烤,可调节),TM-100,TM-350,TM-400薄膜沉积监测仪,MDC-360C
闭状态容器内部活动多余物的检测，此产品获得过科工委科学进步奖； （二）代理国际知名品牌的半导体材料制备和分析检测设备，例如: 超高真空薄膜沉积系统;分子束外延系统；脉冲激光沉积系统；感应耦合等离子刻蚀设备
设备 磁控溅射镀膜及PECVD设备 在PECVD沉积室主要用于射频增强等离子气相沉积的方法制备各种薄膜。真空烘干陶瓷工业橡胶硫化化学制剂/制药
：等离子刻蚀、耦合感应刻蚀、激光刻蚀等 5、爆光机系列：包括KARL-SUSS MA56光罩爆光系统、MA750爆光机 6、旋转涂膜机：KARL-SUSS RC8涂膜机、自制涂膜机系列 7、化学气象沉积设备
子刻蚀、耦合感应刻蚀、激光刻蚀等 5、爆光机系列：包括KARL-SUSS MA56光罩爆光系统、MA750爆光机 6、旋转涂膜机：KARL-SUSS RC8涂膜机、自制涂膜机系列 7、化学气象沉积设备
：等离子刻蚀、耦合感应刻蚀、激光刻蚀等 5、爆光机系列：包括KARL-SUSS MA56光罩爆光系统、MA750爆光机 6、旋转涂膜机：KARL-SUSS RC8涂膜机、自制涂膜机系列 7、化学气象沉积设备
高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉， 同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立
;普光科技（番禺）有限公司;;普光科技（番禺）有限公司成立于1999年，由香港普基集团投资设立的高新技术企业。公司吸引了国内外擅长光电材料成长和研发等方面的人才，并采用先进的金属有机物化学气相沉积
巴克、梅兰日兰、西门子、海尔、长岭、阿继、许继等国内外产品配套。我厂是真正在激烈市场竞争中脱颖而出的优秀企业，是薄膜开关专业制造厂家，我厂技术力量雄厚，从薄膜开关电路、面膜设计、出片全部采用CAD/CAM