技术咨询
代买器件
商务客服
研发客服7月14日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司(以下简称“盛美上海”)，宣布推出新型化学机械研磨后（Post-CMP）清洗设备。
据悉，这是盛美上海的第一款Post-CMP清洗设备，用于制造高质量衬底化学机械研磨(CMP)工艺之后的清洗。该清洗设备6英寸和8英寸的配置适用于碳化硅（SiC）衬底制造；8英寸和12英寸配置适用于硅片制造。该设备有湿进干出（WIDO）和干进干出（DIDO）两种配置，并可选配2、4或6个腔体，拥有每小时60片晶圆的最大产能（WPH）。
盛美上海的Post-CMP清洗设备提供多种配置，包括新型WIDO在线预清洗设备，可以直接与现有的CMP设备对接；新型DIDO预清洗独立设备，适用于CMP产线具有内置清洗腔的客户；WIDO离线预清洗设备，适用于晶圆厂占地面积较小的情况。
盛美上海董事长王晖表示，全球设备供应链的交付时间继续延长，这为盛美上海提供了一个绝佳时机，公司可以凭借在半导体清洗工艺技术方面的丰富经验进入清洗市场，进一步扩大清洗产品组合。Post-CMP清洗设备为盛美上海的客户提供了一种稳定、可靠且具有成本效益的解决方案，同时还能缩短交货时间，大大缓解短缺的现状。
封面图片来源：拍信网
文章来源于:全球半导体观察 原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关文章
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线(2021-07-09)
中电科8英寸抛光设备进入中芯国际、华虹宏力等大线;7月8日，在北京亦庄创新发布会上，中电科电子装备集团有限公司发布了离子注入机、化学机械抛光设备、湿法设备等多项技术上的创新成果，为国内外芯片制造企业......
半导体设备企业晶亦精微科创板IPO成功过会(2024-02-06)
液供给、精密压力控制、抛光垫修整等技术。2015年，四十五所作为国家 02 专项“28-14nm 抛光设备及工艺、配套材料产业化”子课题“CMP 后清洗与光学终点检测系统研发”的责任单位，掌握......
再破“卡脖子”难题！国内集成电路装备添重器(2021-10-08)
再破“卡脖子”难题！国内集成电路装备添重器;近日，由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机（Versatile-GP300）正式出机，发往国内某集成电路龙头企业......
盛美半导体：收到美国客户和研发中心的晶圆级封装设备订单(2024-09-05)
特定对象发行股票募集资金总额不超45亿元，扣除发行费用后，募集资金净额拟投入研发和工艺测试平台建设项目、高端半导体设备迭代研发项目、补充流动资金。
其中，根据公告，研发和工艺测试平台建设项目将借鉴国际半导体设备龙头企业......
SEMICON2024收官，第三代半导体赛道竞争激烈！(2024-03-25)
半导体产业高质量发展。
北方华创
北方华创是我国设备龙头企业，也是目前唯一的平台级半导体设备厂商（设备类型覆盖ICP刻蚀（ICP+CCP）、沉积设备（PVD+CVD+ALD）、清洗、氧化、退火、MFC（气体......
SEMICON2024收官，第三代半导体赛道竞争激烈！(2024-03-26)
材料的技术研发、生产及销售的高新技术企业。尤其在第三代半导体晶圆研磨抛光应用领域，公司取得多项关键性技术突破。
二设备：龙头企业颇多，国产设备厂商加速追赶
展会现场许多全球知名设备......
半导体设备厂商吉姆西已开启辅导备案登记(2024-11-21)
平台型公司。公司主要从事各类半导体工艺设备、工艺辅助设备、CMP耗材等的研发、制造、销售及服务。企业自主品牌设备类产品主要为前道主工艺设备，如化学机械抛光设备（CMP）、湿法制程设备......
半导体设备厂商“幸福的烦恼”：订单饱满但零部件交付延迟“拖后腿”(2022-06-01)
饱满
“目前公司在手订单较为充足，生产经营正常，预计上半年业绩将保持增长。”北方华创副总裁、董秘王晓宁近日表示。
北方华创是国内综合半导体设备龙头企业，产品主要服务于国内主流半导体企业......
华海清科：12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货(2023-05-22)
华海清科：12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货;5月21日，华海清科发布公告称，公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。
公告......
逾10个，国内半导体产业项目遍地开花！(2024-10-30)
经济开发区聚力打造以半导体产业为代表的“153”现代产业集群，培育了以扬杰科技、友润微电子等为代表的一批半导体产业骨干龙头企业，产品涉及大功率芯片、封装半导体材料等多个细分领域，去年半导体开票规模已突破百亿，占园......