微纳电子技术做为信息技术的基石，推动了无线通信技术不断向前发展。随着亚纳米时代的到来，器件小型化的不断发展和集成度的不断提高，传统的硅基半导体器件已经逼近了其极限尺寸。

与此同时，随着实验制备工艺和合成技术的发展，越来越多的纳米材料和纳米结构不断涌现。得益于微小的结构和敏感的量子效应，微纳电子器件在信息感知、物质探测等方面具有先天的优势。相比于传统器件，其具有灵敏度高、能耗低、尺寸小、易集成的优点，具有非常广阔的市场前景。

本课程详细介绍了微纳电子器件的物理特性，相关可靠性分析和失效数据分析等概念内容以及应用之中需要主要的问题等等，以飨读者。