泛林集团推出先进介电质填隙技术,推动下一代器件的发展

发布时间:2020-09-22  

今日,全球半导体产业创新晶圆制造设备及服务主要供应商泛林集团(Nasdaq:LRCX)宣布推出一款全新的工艺方案——先进的Striker®FE平台——用于制造高深宽比的芯片架构。Striker FE平台采用了业界首创的ICEFill™技术,以填充新节点下3D NAND、DRAM和逻辑存储器的极端结构。不仅如此,该系统还具备更低的持续运行成本和更好的技术延展性,以满足半导体产业技术路线图的发展。

全新的工艺方案——先进的Striker® FE平台

半导体制造行业一直以来使用的填隙方法包括传统的化学气相沉积(CVD)、扩散/熔炉和旋涂工艺。然而,由于这些技术需要在质量、收缩率和填充率之间权衡取舍,因此已无法满足当前3D NAND的生产要求。相比之下,泛林集团的Striker ICEFill采用其独有的表面改性技术,可以实现高选择性自下而上及无缝的填隙,并保持原子层沉积(ALD)固有的成膜质量。 ICEFill技术能够解决3D NAND器件普遍存在的高深宽比填隙面临的限制,避免DRAM和逻辑器件结构倒塌的问题。

泛林集团高级副总裁兼沉积产品事业部总经理Sesha Varadarajan表示:“我们致力于为客户提供最好的ALD技术。在单一工艺系统中,这项技术不仅能够以优异的填隙性能生产高质量氧化膜,还整合了泛林集团行业领先的四位一体的模块架构带来的生产率优势。”

Striker FE平台的ICEFill技术属于泛林集团Striker ALD产品系列,
文章来源于:ECCN    原文链接
本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

相关文章

    说其他拥有关键供应商的国家也采取类似限制措施。在美国压力下,荷兰此前已经禁止ASML向中国出口所有最先进的EUV光刻机,接着DUV又成为目标。 对此,中国驻荷兰大使馆发言人表示,这是对出口管制措施的滥用,是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离,中方......
    公司现有的许可证仍能够允许其在2023年底前继续将NXT:2000i 和更先进的DUV光刻机运送到中国。 “我们的客户了解出口管制法规,因此他们知道,自 2024 年 1 月 1 日起,我们不太可能获得向中国......
    ASML否认特供版DUV:没有面向中国推出特别版光刻机; 日前有报道称,将面向中国市场推出特别版DUV,不过此事已经辟谣,ASML表示一直以来ASML都遵守所适用的法律条例,公司并没有面向中国市场推出特别版的光刻机......
    司更新的前景并不表明人工智能增长故事有任何变化。” 此外,公司最先进的光刻机仍没有打动台积电,后者希望能够以更合理的价格购入(当前每台是25亿左右),毕竟英特尔、三星在先进工艺方面生产和推进上非行业主流。 当然了,如果可以卖最先进的给中国......
    双方在科技产业的关系急转直下,上个月美国表示和日本、荷兰就限制措施达成共识。 在美国的压力下,荷兰政府不得不实施限制措施,现在除了最先进的光刻机 EUV,DUV 也被美国限制,DUV 和......
    。 尖端制程严重依赖EUV光刻机 总部位于荷兰的ASML是目前全球最大的光刻机厂商,同时也是全球唯一的极紫外光刻设备供应商。EUV光刻机是目前世界上最先进的芯片制造设备,每台......
    突破了纳米材料应用的极限,二是不需要光刻机。 首先,传统的芯片是基于硅打造的,目前量产的最先进的硅基芯片是5nm,而即使未来能够做到1nm,那也就是极限了。但量子是已知物理中最小的单位,如果要追求更小、更精......
    机器,包括最先进的极紫外光刻机(EUV)。 ASML不装了 为了让中国不能获取先进光刻机和芯片,美国绞尽了脑汁。而这一次,他们又把目光锁定在台积电厂房内的光刻机和产线。 据外......
    AI芯片制造方面,英特尔努力重新取得优势。消息人士还表示,另一对手三星2025年第一季将安装第一套High NA EUV光刻机。 取得ASML最先进的光刻机并不意味着代表企业就能顺利的进入“埃米......
    主要被用于45nm以下成熟制程的生产。 依据ASML在声明中所言,主要关注成熟制程的客户,使用不太先进的浸没式光刻工具也能够得到很好的服务。 TWINSCAN NXT: 2000i 是ASML生产的一款用于半导体制造的光刻机......

我们与500+贴片厂合作,完美满足客户的定制需求。为品牌提供定制化的推广方案、专属产品特色页,多渠道推广,SEM/SEO精准营销以及与公众号的联合推广...详细>>

利用葫芦芯平台的卓越技术服务和新产品推广能力,原厂代理能轻松打入消费物联网(IOT)、信息与通信(ICT)、汽车及新能源汽车、工业自动化及工业物联网、装备及功率电子...详细>>

充分利用其强大的电子元器件采购流量,创新性地为这些物料提供了一个全新的窗口。我们的高效数字营销技术,不仅可以助你轻松识别与连接到需求方,更能够极大地提高“闲置物料”的处理能力,通过葫芦芯平台...详细>>

我们的目标很明确:构建一个全方位的半导体产业生态系统。成为一家全球领先的半导体互联网生态公司。目前,我们已成功打造了智能汽车、智能家居、大健康医疗、机器人和材料等五大生态领域。更为重要的是...详细>>

我们深知加工与定制类服务商的价值和重要性,因此,我们倾力为您提供最顶尖的营销资源。在我们的平台上,您可以直接接触到100万的研发工程师和采购工程师,以及10万的活跃客户群体...详细>>

凭借我们强大的专业流量和尖端的互联网数字营销技术,我们承诺为原厂提供免费的产品资料推广服务。无论是最新的资讯、技术动态还是创新产品,都可以通过我们的平台迅速传达给目标客户...详细>>

我们不止于将线索转化为潜在客户。葫芦芯平台致力于形成业务闭环,从引流、宣传到最终销售,全程跟进,确保每一个potential lead都得到妥善处理,从而大幅提高转化率。不仅如此...详细>>