基于EUV光刻机,三星宣布率先量产12nm DRAM

2023-05-24  

【导读】近日据BusinessKorea消息,三星电子已开始量产12纳米级的16Gb DDR5 DRAM,成为业内首家大规模量产12nm线宽DRAM的公司,而距去年12月成功开发该技术仅五个月。


基于EUV光刻机,三星宣布率先量产12nm DRAM

图:12nm制造的16Gb DDR5 DRAM


据三星电子公布的消息,这批12nm DRAM使用EUV光刻设备量产,较14nm DRAM生产效率提升了约20%,功耗也降低了23%。


与此同时,SK海力士计划年内量产12nm级DRAM,在数个独立DRAM单元堆叠的High Bandwidth Memory(HBM)领域,甚至已经超越三星。


业界将12-13nm DRAM归类为同代 (1b) 产品。然而,第一个推出1b制程的是美光,而不是三星,美光于2022年使用DUV光刻设备成功开发出13nm DRAM。


一位业内人士评论说,“直到2020年,三星在DRAM方面被评估为领先竞争对手几个月,但现在竞争已经接近平局。”


而作为存储器的另一块板图——NAND闪存领域的竞争更加激烈,NAND市场的焦点已经从20nm的精细加工转变为三维 (3D) 堆叠竞赛。尽管3D NAND最初是由三星引领,但中国的长江存储(排名第6,232层)和美光(排名第5,232层)率先堆叠突破200层大关。而三星随后推出了236层NAND,但SK海力士(排名第3)宣布已成功开发出更高的238层NAND。


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