近日,中电科半导体材料有限公司所属山西烁科晶体有限公司成功研制出12英寸(300mm)高纯半绝缘碳化硅单晶衬底,并同期研制成功12英寸(300mm)N型碳化硅单晶衬底。
据了解,烁科晶体坚持聚焦碳化硅材料研发及生产,开拓碳化硅材料更广阔的应用场景,先后攻克了大尺寸扩径工艺、高纯半绝缘碳化硅衬底关键工艺和低缺陷N型衬底的生长工艺。全球首片12英寸高纯半绝缘碳化硅衬底的成功研制,将加速碳化硅材料在VR眼镜、热沉等新应用场景的进一步拓展。
未来,烁科晶体将继续聚焦大尺寸碳化硅单晶衬底的产业化技术,持续加大研发投入,充分发挥技术创新引领作用,打造核心竞争优势,从而带动创新链、产业链、生态链的创新与重构,引领行业向更高端化方向发展。
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