近年来,各大碳化硅衬底厂商持续加码产能,有多个碳化硅衬底项目在近期披露了最新进展,包括天科合达碳化硅衬底产业基地二期项目、重庆三安8英寸碳化硅衬底厂、博蓝特年产15万片碳化硅衬底产业化项目等。
而在近日,国内又有一个碳化硅衬底项目通过了竣工验证,步入投产阶段。近日据山西转型综合改革示范区消息,中国电科旗下烁科晶体碳化硅二期项目已顺利通过竣工验收。
据悉,烁科晶体碳化硅二期项目位于山西转型综合改革示范区潇河产业园太原起步区(北区)。从建设进度来看,该项目在2023年8月完成备案,同年10月提交建设申请,并在2023年9月开始建设,11月主体封顶。项目于2024年3月进入机电与设备安装阶段,并计划于同年4月开始试运行。目前,项目已圆满完成验收。
产能方面,二期项目的建成,预计将为烁科晶体带来每年新增20万片6-8英寸碳化硅衬底的产能,其中包括N型碳化硅单晶衬底20万片/年、高纯衬底2.5万片/年、莫桑晶体1.3吨/年。
8英寸进展方面,烁科晶体于2021年8月研制出8英寸碳化硅晶体,随后在2022年1月,烁科晶体实现8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产。
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